一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺，属于无蜡垫技术领域，包括基垫层，所述基垫层的下方连接有抛光层，基垫层与抛光层中间开设有中空槽，中空槽的内部设置有松紧调整组件，所述基垫层的上方内设置有吸附层，基垫层上端开设有与中空槽互通的六角调整螺孔。本发明专利技术一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺，有效提高抛光层内部强度，增加其使用寿命，转杆底端从而对每组弹力绳两端进行收卷，边缘处拉伸后在多组弹力绳提拉力的作用下，边缘向上翘，由多组加固杆进行支撑加固，有效保证抛光层表面平整度，防止表面松弛抛光时挤压导致崩角，增加无蜡垫的质量，有效对转杆限位，提高转杆调整后的稳定性，有效防止杆体脱位。止杆体脱位。止杆体脱位。

【技术实现步骤摘要】
一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺


[0001]本专利技术涉及到无蜡垫
，特别涉及一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺。

技术介绍

[0002]无蜡抛光模板又叫吸附垫、背附垫、无蜡抛光垫，主要用于半导体硅晶体材料、宝石晶体片、硅片外延片等产品的单面抛光。
[0003]现有的无蜡垫其本身结构没有内部支撑，导致其强度差，容易损坏，使用寿命低，其次在长期抛光后，无蜡垫的抛光面在摩擦的作用下，导致表面松弛，再次抛光摩擦，在挤压的力作用下，容易使无蜡垫的抛光面上发生崩角或者损坏，导致其无法使用，大大降低其使用寿命。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于提供一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺，多组环形金属条包覆式设置，对抛光层环形进行加固，有效提高抛光层内部强度，增加其使用寿命，转杆底端从而对每组弹力绳两端进行收卷，在弹力绳收紧的同时带动抛光层内部向边缘拉伸，保证抛光层表面绷紧的状态，且边缘处拉伸后在多组弹力绳提拉力的作用下，边缘向上翘，由多组加固杆进行支撑加固，有效保证抛光层表面平整度，防止表面松弛抛光时挤压导致崩角，增加无蜡垫的质量，也提高整个无蜡垫的使用寿命，有效对转杆限位，提高转杆调整后的稳定性，有效防止杆体脱位，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
[0005]为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：
[0006]一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫，包括基垫层，所述基垫层的下方连接有抛光层，基垫层与抛光层中间开设有中空槽，中空槽的内部设置有松紧调整组件，所述基垫层的上方内设置有吸附层，基垫层上端开设有与中空槽互通的六角调整螺孔。
[0007]进一步地，松紧调整组件包括加强组件、弹性组件、加固组件和收卷组件，加强组件设置在抛光层与基垫层连接处上表面，加强组件之间交错处的抛光层上设置有弹性组件，加固组件设置在加强组件上方的中空槽内，加强组件中间处设置有与弹性组件连接的收卷组件。
[0008]进一步地，加强组件包括环形金属条和条形金属条，条形金属条设置多组，且多组以抛光层圆心处为中心环形对称分布，环形金属条设置多组，且多组环形金属条以抛光层中心为圆心从小到大包覆式设置，环形金属条和条形金属条均压制固定在抛光层上表面。
[0009]进一步地，弹性组件由多组弹力绳交错设置组成，多组弹力绳中心重复交错设置在加强组件之间，每组弹力绳的两端均穿透加固组件反向缠绕设置在收卷组件上。
[0010]进一步地，加固组件包括中心环座、加固杆、穿透孔和互通槽，中心环座的外侧壁上环绕设置有多组加固杆，加固杆的数量与弹力绳两端的数量相匹配，且每两组加固杆以中心环座为中心对称设置，加固杆内开设有用于弹力绳穿透的穿透孔，中心环座内开设有
与多组穿透孔互通的互通槽，中心环座上安装有收卷组件。
[0011]进一步地，收卷组件包括上套座、转孔、转杆、六角螺杆套管和卡位装置，上套座固定在中心环座上方，上套座内开设有与互通槽贯通的转孔，转孔内设置有转杆，转杆上缠绕有弹性组件，转杆的上方设置有六角螺杆套管，上套座的内壁上开设有对转杆限位的卡位装置。
[0012]进一步地，卡位装置包括限位杆、活动轴杆、挤压弹簧和内置槽，内置槽开设在上套座内壁上，限位杆设置在内置槽内，且限位杆一端通过活动轴杆与轴接在内置槽内，活动轴杆两端固定在内置槽上下端的上套座内，限位杆另一端后方通过挤压弹簧与内置槽内壁对接，转杆设置在卡位装置的中心，卡位装置设置多组，多组卡位装置以上套座的圆心为中心环绕分布，且多组卡位装置结构为顺时针分布，转杆上开设有与限位杆配合的卡位凹槽。
[0013]进一步地，加固杆与中心环座连接的一端上设置有插接环，插接环的外侧面上设置有多组插接板，中心环座上开设有与插接环对应的插接口，插接口内壁上开设有与插接板对应的插槽，插槽底端延伸开设有弧形卡槽，每组插接板顺时针方向一侧的端口小于插接板另一侧端，插接板顺时针方向呈梯形状，弧形卡槽延伸开设在插槽顺时针方向，弧形卡槽内顺时针底端槽口小于弧形卡槽与插槽连接口，弧形卡槽顺时针方向呈梯形槽状，插接板与弧形卡槽限位卡合，且插接板表面上包覆有摩擦垫。
[0014]本专利技术提供另一种技术方案：一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫的防崩角方法，包括如下步骤：
[0015]步骤一：取树脂材料为原料，加入磨料、改性固化剂在反应釜内搅拌3
‑
6小时，然后注模固化成型，制得抛光用基垫层与抛光层；
[0016]步骤二：通过铣槽机在基垫层下端面上铣出圆形的中空槽，在通过打孔工件对基垫层上端加工出与中空槽互通的六角调整螺孔；
[0017]步骤三：将松紧调整组件内的加强组件、弹性组件、加固组件和收卷组件分别对应的固定在基垫层、中空槽和抛光层上，再通过粘黏剂将基垫层与抛光层之间固定；
[0018]步骤四：当抛光层表面松弛时，取出对应的六角扳手，插入到六角螺杆套管内，通过顺时针转动，带动转杆转动，从而对弹力绳进行收集，保证抛光层表面拉紧。
[0019]进一步地，针对步骤四中，在转杆转动时，顺势针转动，转杆表面对限位杆一端挤压，使限位杆和挤压弹簧收力缩回内置槽内，当停止转动时，挤压弹簧带动限位杆弹出对转杆卡住限位。
[0020]与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
[0021]1、本专利技术提出的晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺，条形金属条设置多组，且多组以抛光层圆心处为中心环形对称分布，环形金属条设置多组，且多组环形金属条以抛光层中心为圆心从小到大包覆式设置，环形金属条和条形金属条均压制固定在抛光层上表面，多组条形金属条交错式设置在抛光层上，对抛光层横向和纵向进行进行加固，且多组环形金属条包覆式设置，对抛光层环形进行加固，有效提高抛光层内部强度，增加其使用寿命。
[0022]2、本专利技术提出的晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺，上套座内开设有与互通槽贯通的转孔，转孔内设置有转杆，转杆上缠绕有弹性组件，转杆的上方设置有六角螺杆套管，上套座的内壁上开设有对转杆限位的卡位装置，当无蜡垫长期使用导致其抛光面松
弛后，取出对应的六角扳手，插入到六角螺杆套管内，通过顺时针转动，带动转杆在转孔内转动，转杆底端从而对每组弹力绳两端进行收卷，在弹力绳收紧的同时带动抛光层内部向边缘拉伸，保证抛光层表面绷紧的状态，且边缘处拉伸后在多组弹力绳提拉力的作用下，边缘向上翘，由多组加固杆进行支撑加固，有效保证抛光层表面平整度，防止表面松弛抛光时挤压导致崩角，增加无蜡垫的质量，也提高整个无蜡垫的使用寿命。
[0023]3、本专利技术提出的晶片抛光用防崩角的无蜡垫及其生产工艺，多组卡位装置以上套座的圆心为中心环绕分布，且多组卡位装置结构为顺时针分布，转杆上开设有与限位杆配合的卡位凹槽，在转杆转动时，顺势针转动，转杆表面对限位杆一端挤压，使限位杆和挤压弹簧收力缩回内置槽内，当停止转动时，挤压弹簧带动限位杆弹出对转杆卡住限位，有效保证转杆转动带动弹力绳收紧后不会回转，有效对转杆限位，提高转杆调整后的稳定性，有效防止杆体本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫，其特征在于：包括基垫层(1)，所述基垫层(1)的下方连接有抛光层(11)，基垫层(1)与抛光层(11)中间开设有中空槽(12)，中空槽(12)的内部设置有松紧调整组件(2)，所述基垫层(1)的上方内设置有吸附层(13)，基垫层(1)上端开设有与中空槽(12)互通的六角调整螺孔(14)。2.根据权利要求1所述的一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫，其特征在于：所述松紧调整组件(2)包括加强组件(21)、弹性组件(22)、加固组件(23)和收卷组件(24)，加强组件(21)设置在抛光层(11)与基垫层(1)连接处上表面，加强组件(21)之间交错处的抛光层(11)上设置有弹性组件(22)，加固组件(23)设置在加强组件(21)上方的中空槽(12)内，加强组件(21)中间处设置有与弹性组件(22)连接的收卷组件(24)。3.根据权利要求2所述的一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫，其特征在于：所述加强组件(21)包括环形金属条(211)和条形金属条(212)，条形金属条(212)设置多组，且多组以抛光层(11)圆心处为中心环形对称分布，环形金属条(211)设置多组，且多组环形金属条(211)以抛光层(11)中心为圆心从小到大包覆式设置，环形金属条(211)和条形金属条(212)均压制固定在抛光层(11)上表面。4.根据权利要求2所述的一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫，其特征在于：所述弹性组件(22)由多组弹力绳(221)交错设置组成，多组弹力绳(221)中心重复交错设置在加强组件(21)之间，每组弹力绳(221)的两端均穿透加固组件(23)反向缠绕设置在收卷组件(24)上。5.根据权利要求2所述的一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫，其特征在于：所述加固组件(23)包括中心环座(231)、加固杆(232)、穿透孔(233)和互通槽(234)，中心环座(231)的外侧壁上环绕设置有多组加固杆(232)，加固杆(232)的数量与弹力绳(221)两端的数量相匹配，且每两组加固杆(232)以中心环座(231)为中心对称设置，加固杆(232)内开设有用于弹力绳(221)穿透的穿透孔(233)，中心环座(231)内开设有与多组穿透孔(233)互通的互通槽(234)，中心环座(231)上安装有收卷组件(24)。6.根据权利要求5所述的一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫，其特征在于：所述收卷组件(24)包括上套座(241)、转孔(242)、转杆(243)、六角螺杆套管(244)和卡位装置(245)，上套座(241)固定在中心环座(231)上方，上套座(241)内开设有与互通槽(234)贯通的转孔(242)，转孔(242)内设置有转杆(243)，转杆(243)上缠绕有弹性组件(22)，转杆(243)的上方设置有六角螺杆套管(244)，上套座(241)的内壁上开设有对转杆(243)限位的卡位装置(245)。7.根据权利要求6所述的一种晶片抛光用防崩角的无蜡垫，其特征在于：所述卡位装置(245)包括限位杆(2451)、活动轴杆(2452)、挤压弹簧(2453)和内...

【专利技术属性】
技术研发人员：李加海，杨慧明，李元祥，
申请(专利权)人：安徽禾臣新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：