研磨垫及其制造方法技术

本发明专利技术在被研磨物的研磨加工时防止终点检测用窗自研磨层脱落。具有终点检测用窗3B的研磨层3C如以下那样制造。首先，将成为终点检测用窗的聚合物与硬化剂混合后，使两者的混合物流入模具99中来制作柱状原材料100(图4(a))。其次，调整柱状原材料100的外周面的粗糙度，在外周面形成多个凹凸(图4(b))。继而，在将柱状原材料100收容于模框101内的状态下，使将预聚物与硬化剂混合而成的混合物流入模框101中并凝固，而制作聚氨基甲酸酯聚脲树脂成形体102(图4(c))。继而，若将聚氨基甲酸酯聚脲树脂成形体102以成为所需的厚度的方式水平地切断来制作片状构件103，则所述片状构件103成为具有终点检测用窗(3B)的研磨层(3C)(图4(d))。有终点检测用窗(3B)的研磨层(3C)(图4(d))。有终点检测用窗(3B)的研磨层(3C)(图4(d))。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】研磨垫及其制造方法


[0001]本专利技术涉及一种研磨垫及其制造方法，更详细而言，本专利技术涉及一种在研磨层的规定位置包括透明的终点检测用窗的研磨垫及其制造方法。

技术介绍

[0002]以往，已知有一种用于对作为被研磨物的晶片进行研磨的研磨垫，进而，已知有一种为了检测对晶片进行研磨加工时的终点，而包括使检查光透过的透明的终点检测用窗的研磨垫(例如专利文献1～专利文献3)。
[0003]在此种以往的研磨垫中成为如下的结构：在成为本体部的研磨层设置贯穿孔，并且为了防止用于研磨的研磨液(浆料)的漏出，而在贯穿孔安装成为终点检测用窗的透明的窗用构件。具体而言，在专利文献1的研磨垫中，将成为终点检测用窗的窗用构件嵌入研磨层的贯穿孔中并利用光硬化性粘着剂进行粘着，在专利文献2的研磨垫中，将成为终点检测用窗的窗用构件无粘着剂地嵌合于研磨层的贯穿孔。进而，在专利文献3的研磨垫中，在研磨层的贯穿孔的内周面形成单一的环状凹部，另一方面，在成为终点检测用窗的窗用构件的外周面形成与所述环状凹部卡合的环状凸部。
[0004]现有技术文献
[000本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种研磨垫，包括：研磨层，具有对被研磨物进行研磨的研磨面；以及终点检测用窗，设置于所述研磨层的贯穿孔，使检查光及来自被研磨物的反射光透过，所述研磨垫的特征在于：在所述终点检测用窗的侧部，在与所述研磨面正交的方向上形成有多个凸部，在所述研磨层的贯穿孔的内周面，形成有与所述终点检测用窗的凸部卡合的多个凹部，所述多处凸部与凹部卡合。2.根据权利要求1所述的研磨垫，其特征在于，在所述研磨层的研磨面形成有保持和/或排出浆料的沟，至少一个凸部与凹部以在比所述沟的底部的高度更下方卡合的状态来设置。3.根据权利要求2所述的研磨垫，其特征在于，所述凸部包含形成于终点检测用窗的侧部的膨出部，所述凹部包含形成于研磨层的贯穿孔的内周面的凹部。4.根据权利要求2所述的研磨垫，其特征在于，所述凸部为外螺纹，所述凹部为内螺纹。5.根据权利要求2所述的研磨垫，其特征在于，所述凸部的间距为0.2mm～0.5mm。6.根据权利要求2所述的研磨垫，其特征在于，所述凸部的高度为0.15mm～0.5mm。7.一种研磨垫的制造方法，是包括具有对被研磨物进行研磨的研磨面的研磨层，及设置于所述研磨层，使检查光及来自被研磨物的反射光透过的终点检测用窗的研磨垫的制造方法，其特征在于包括：第一混合步骤，将成为...

【专利技术属性】
技术研发人员：松冈立马，栗原浩，鸣岛早月，高见沢大和，
申请(专利权)人：富士纺控股株式会社，
类型：发明
国别省市：