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本发明在被研磨物的研磨加工时防止终点检测用窗自研磨层脱落。具有终点检测用窗3B的研磨层3C如以下那样制造。首先，将成为终点检测用窗的聚合物与硬化剂混合后，使两者的混合物流入模具99中来制作柱状原材料100(图4(a))。其次，调整柱状原材料...
该专利属于富士纺控股株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过富士纺控股株式会社授权不得商用。

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