晶圆键合对准装置制造方法及图纸

一种晶圆键合对准装置，涉及芯片加工技术领域，该装置包括基座及多个托柱；所述基座的中部固定有托架，基座上设有能同步转动的主动轴、从动轴，从动轴上固定有从动凸轮；所述托架上设有多个滑柱，各个滑柱的内端分别抵住从动凸轮；各个托柱围绕托架对称布设，并且各个托柱分别固定在各个滑柱的外端，托架上设有用于驱使各个托柱向内移动的回位弹簧；所述基座上设有多个分隔垫片，及用于驱动各个分隔垫片滑动的驱动部件，各个分隔垫片围绕托架对称布设。本实用新型专利技术提供的装置，用于晶圆与载片实施键合前的对位。施键合前的对位。施键合前的对位。

【技术实现步骤摘要】
晶圆键合对准装置


[0001]本技术涉及芯片加工技术，特别是涉及一种晶圆键合对准装置的技术。

技术介绍

[0002]晶圆与载片实施键合前需要先相互对准，现有的键合对准装置都采用的都是图像识别方式，该方式需要在晶圆与载片上分别印制特定的对位标记，对位时通过图像识别来控制专用治具动作，使晶圆上的对位标记与载片上的对位标记相互对准。
[0003]现有键合对准装置结构复杂，操作步骤繁复，存在着设备成本高，及作业效率低的缺陷。

技术实现思路

[0004]针对上述现有技术中存在的缺陷，本技术所要解决的技术问题是提供一种设备成本低，且作业效率高的晶圆键合对准装置。
[0005]为了解决上述技术问题，本技术所提供的一种晶圆键合对准装置，其特征在于：包括基座，及N个托柱，并且N≥3；
[0006]所述基座的中部固定有托架，并且在基座上设有能同步转动的主动轴、从动轴，其中的从动轴布设在托架的中心部位，从动轴上固定有从动凸轮，主动轴上固定有控制旋柄；
[0007]所述从动凸轮上具有N个对称分布的弧形凸出部，托架上设有N个能本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆键合对准装置，其特征在于：包括基座，及N个托柱，并且N≥3；所述基座的中部固定有托架，并且在基座上设有能同步转动的主动轴、从动轴，其中的从动轴布设在托架的中心部位，从动轴上固定有从动凸轮，主动轴上固定有控制旋柄；所述从动凸轮上具有N个对称分布的弧形凸出部，托架上设有N个能沿从动凸轮的径向滑动的滑柱，及用于导引各个滑柱滑动的滑槽，各个滑柱的内端以活动配...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨震，吕琳，周曙华，高学朋，
申请(专利权)人：尼西半导体科技上海有限公司，
类型：新型
国别省市：