高精度可移动真空吸附平台及高精度检测设备制造技术

本实用新型专利技术提供一种高精度可移动真空吸附平台及高精度检测设备。高精度可移动真空吸附平台包括真空吸附台、真空腔体和移动支撑件，真空吸附台位于真空腔体上方，真空吸附台为板状，并与真空腔体之间形成真空腔，真空腔体设置有限位孔，移动支撑件包括支撑柱，支撑柱穿过限位孔与真空吸附台连接。高精度检测设备包括前述的高精度可移动真空吸附平台及导轨，该高精度可移动真空吸附平台连接在导轨上。本实用新型专利技术提供的高精度可移动真空吸附平台通过支撑柱穿过限位孔直接与移动支撑件连接，仅移动支撑件和真空吸附台这两个部件需要很高的精确度，真空腔体的精度要求降低，从而降低了加工成本，更容易实现高精度。更容易实现高精度。更容易实现高精度。

【技术实现步骤摘要】
高精度可移动真空吸附平台及高精度检测设备


[0001]本技术涉及检测设备领域，特别涉及一种高精度可移动真空吸附平台及高精度检测设备。

技术介绍

[0002]现有设计中，在高精度检测场合，真空吸附平台装配后的台面的平面度以及相对于底座的平行度要求很高，为保证装配后的精确度，对影响精确度的零件都有很高的加工要求，组装的难度及零件加工成本都直线上升。
[0003]传统真空吸附平台由真空吸附台、真空腔体及移动支撑件三者叠加而成，组装精度由这三个部件决定，其中由于真空腔体为腔体结构，容易变形，在精确度方面更难以保证。

技术实现思路

[0004]本技术提供一种高精度可移动真空吸附平台，能够降低零件加工成本、且更容易实现高精度。
[0005]本技术的技术方案为：
[0006]一方面，本技术提供了高精度可移动真空吸附平台，包括真空吸附台、真空腔体和移动支撑件；
[0007]所述真空吸附台位于所述真空腔体上方，所述真空吸附台为板状，并与与所述真空腔体之间形成真空腔；
[0008]所述真空腔体设置有限位孔；
[0009]所述移动支撑件包括支撑柱，所述支撑柱穿过所述限位孔与所述真空吸附台连接。
[0010]其中，所述支撑柱与所述限位孔之间密封连接。
[0011]其中，所述支撑柱的周面设置有台阶，所述限位孔的边缘位于所述台阶上；
[0012]其中，所述台阶为环绕所述支撑柱的环状，所述台阶上设置有密封圈，所述密封圈压紧在所述台阶与所述限位孔的边缘之间。
>[0013]其中，所述真空腔体包括底板和挡条，所述挡条沿所述底板的边缘围成环形，所述底板、所述挡条及所述真空吸附台围合形成所述真空腔，所述限位孔设置在所述底板上。
[0014]其中，所述真空腔体的表面设置凹槽，所述真空吸附台位于所述凹槽开口处，并在所述凹槽内形成所述真空腔。
[0015]其中，所述真空吸附台设置有吸附孔；所述吸附孔连通所述真空吸附台的上下表面，所述支撑柱上位于所述真空腔内的部分设置有连通孔，所述连通孔连通所述吸附孔与所述真空腔。
[0016]其中，所述连通孔包括竖向连通孔及横向连通孔，所述支撑柱上与所述真空吸附台接触的顶面设置有所述竖向连通孔，所述支撑柱位于真空腔内的部分的侧壁设置有所述
横向连通孔，所述竖向连通孔与所述横向连通孔连通。
[0017]其中，所述高精度可移动真空吸附平台还包括真空接口，所述真空接口位于所述真空腔外，并通过真空通道连通至所述真空腔，所述真空接口用于排出所述真空腔内气体；
[0018]所述真空接口设置于所述真空腔体的外壁，所述真空通道设置于所述真空腔体；或者，所述真空接口设置于所述支撑柱，所述真空通道设置于所述支撑柱。
[0019]另一方面，本技术提供了一种高精度检测设备，包括导轨和前述的高精度可移动真空吸附平台，所述高精度可移动真空吸附平台连接在导轨上。
[0020]本技术相较于现有技术，其有益效果为：本技术提供的高精度可移动真空吸附平台及高精度检测设备，移动支撑件通过支撑柱穿过设置在真空腔体上的限位孔，直接与真空吸附台连接，原本移动支撑件、真空吸附台和真空腔体这三个部件需要很高的精确度，现变成了移动支撑件和真空吸附台这两个部件需要很高的精确度，真空腔体的精度要求降低，从而降低了加工成本，更容易实现高精度。
附图说明
[0021]为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面对实施例中所需要使用的附图作简单的介绍，下面描述中的附图仅为本技术的部分实施例相应的附图。
[0022]图1为本技术第一实施例提供的高精度可移动真空吸附平台的结构示意图。
[0023]图2为图1中高精度可移动真空吸附平台的分解示意图。
[0024]图3为图1中高精度可移动真空吸附平台的结构剖视图。
[0025]图4为图3中的A处放大图；
[0026]图5为本技术第二实施例提供的高精度可移动真空吸附平台的结构剖视图。
[0027]图6为本技术优选实施例提供的高精度检测设备的结构示意图。
[0028]其中，1、真空吸附台，11、吸附孔，111、第一吸附孔，112、第二吸附孔；
[0029]2、真空腔体，20、真空腔，21、限位孔，22、挡条，23、底板；
[0030]3、移动支撑件，31、支撑柱，32、底座，310、连通孔，311、横向连通孔，312、竖向连通孔，313、台阶，314、密封圈；
[0031]4、真空接口，40、真空通道；
[0032]5、导轨；
[0033]6、滑块。
具体实施方式
[0034]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0035]本技术中所提到的方向用语，例如「上」、「下」、「前」、「后」、「左」、「右」、「内」、「外」、「侧面」、「顶部」以及「底部」等词，仅是参考附图的方位，使用的方向用语是用以说明及理解本技术，而非用以限制本技术。
[0036]本技术术语中的“第一”“第二”等词仅作为描述目的，而不能理解为指示或暗示相对的重要性，以及不作为对先后顺序的限制。
[0037]在本技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。
[0038]请参照图1、图2及图3，本技术第一实施例提供的一种高精度可移动真空吸附平台，包括真空吸附台1、真空腔体2和移动支撑件3；真空吸附台1位于真空腔体2上方，真空吸附台1为板状，并与与真空腔体2之间形成真空腔20，移动支撑件3位于真空腔体2下方。
[0039]请参照图2及图3，真空腔体2设置有限位孔21；移动支撑件3包括支撑柱31，支撑柱31穿过限位孔21与真空吸附台1连接。限位孔21的设置用于确定支撑柱31穿过真空腔体2的位置。支撑柱31的设置将真空吸附台1直接与移动支撑件3连接，原本移动支撑件3、真空吸附台1和真空腔体2这三个部件需要很高的精确度，现变成了仅移动支撑件3和真空吸附台1这两个部件需要很高的精确度，真空腔体的精度要求降低，从而降低了对零件的加工精度要求，节省了成本，同时也降低了组装难度。
[0040]进一步的，移动支撑件3还包括底座32，支撑柱31的底端与底座32固定连接。作为优选，底座3本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种高精度可移动真空吸附平台，其特征在于：包括真空吸附台、真空腔体和移动支撑件；所述真空吸附台位于所述真空腔体上方，所述真空吸附台为板状，并与所述真空腔体之间形成真空腔；所述真空腔体设置有限位孔；所述移动支撑件包括支撑柱，所述支撑柱穿过所述限位孔与所述真空吸附台连接。2.根据权利要求1所述的高精度可移动真空吸附平台，其特征在于：所述支撑柱与所述限位孔之间密封连接。3.根据权利要求1所述的高精度可移动真空吸附平台，其特征在于：所述支撑柱的周面设置有台阶，所述限位孔的边缘位于所述台阶上。4.根据权利要求3所述的高精度可移动真空吸附平台，其特征在于：所述台阶为环绕所述支撑柱的环状，所述台阶上设置有密封圈，所述密封圈压紧在所述台阶与所述限位孔的边缘之间。5.根据权利要求1所述的高精度可移动真空吸附平台，其特征在于：所述真空腔体包括底板和挡条，所述挡条沿所述底板的边缘围成环形，所述底板、所述挡条及所述真空吸附台围合形成所述真空腔，所述限位孔设置在所述底板上。6.根据权利要求1所述的高精度可移动真空吸附平台，其特征在于：所述真空腔体的表面设置凹槽，所述真空吸附台位于所述凹槽开口处，并在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：王征华，
申请(专利权)人：深圳宜美智科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：