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本实用新型提供一种高精度可移动真空吸附平台及高精度检测设备。高精度可移动真空吸附平台包括真空吸附台、真空腔体和移动支撑件,真空吸附台位于真空腔体上方,真空吸附台为板状,并与真空腔体之间形成真空腔,真空腔体设置有限位孔,移动支撑件包括支撑柱,...该专利属于深圳宜美智科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳宜美智科技股份有限公司授权不得商用。
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