气化清洗液回收装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供气化清洗液回收装置，其能够抑制清洗液的蒸汽向废气回收槽外排出。气化清洗液回收装置包括：废气回收槽，其贮存有作为回收对象的清洗液能够溶解的贮存液；第1气体排出通路，其一端连接于清洗液的蒸汽的产生源，另一端在废气回收槽内的第1位置处开口；第1泵，其设于第1气体排出通路，使产生源的气体排出；第2气体排出通路，其一端在废气回收槽内的比第1位置靠上的第2位置处开口，另一端处于废气回收槽外；第2泵，其设于第2气体排出通路，使废气回收槽内的气体排出；以及开闭阀，其设于第2气体排出通路的比第2泵靠前的位置，在废气回收槽内的压力达到预定的第1值以上时打开，在该压力达到预定的第2值以下时关闭。在该压力达到预定的第2值以下时关闭。在该压力达到预定的第2值以下时关闭。

【技术实现步骤摘要】
气化清洗液回收装置


[0001]本专利技术涉及一种用于回收蒸汽清洗、蒸汽清洗后的真空干燥所产生的清洗液的蒸汽(气体)、浸渍清洗所使用的清洗液蒸发而得到的气体的装置。

技术介绍

[0002]以往，对工件进行将蒸汽清洗和真空干燥组合而成的处理。在蒸汽清洗中，在将工件收纳于真空容器并使真空容器内成为真空的基础之上向真空容器导入清洗液的蒸汽，从而在比蒸汽低温的工件的表面使蒸汽液化，由此清洗该表面。在蒸汽的压力下降的时刻再次向真空容器内导入蒸汽，清洗工件的表面。若重复这样的动作，则工件表面被充分地清洗，并且工件的温度上升，接近蒸汽的温度。最后，通过使真空槽内的压力急速地下降，从而使附着于工件的表面的清洗液爆沸、气化，使该表面干燥(真空干燥)。
[0003]在蒸汽清洗时，通常而言，在1次的操作中供给到真空容器内的清洗液的蒸汽不是全部在工件的表面液化，而是一部分仍以蒸汽(气体)的状态残留。由于残留的蒸汽的温度下降，因此在清洗效率这一点上优选在下一次蒸汽清洗的操作之前从真空容器排出该残留的蒸汽。此外，在真空干燥时，工件的表面的清洗液气化，由此产生的气体被从真空容器排出。由于这样产生的清洗液的气体会导致污染环境，因此需要不向环境中排出而是进行回收。
[0004]在专利文献1中记载了一种装置，其包括：第1排出管，其用于排出进行蒸汽清洗和真空干燥的真空槽内的气体；真空泵，其设于第1排出管，用于从真空槽抽吸气体；废气回收槽，其贮存有能够使清洗液溶解的液体(或者溶解有与该清洗液相同的成分的液体。以下将这些液体称为“贮存液”)，所述第1排出管的一端(与真空泵侧相反的一侧的端)插入到该贮存液内；第2排出管，其一端连接于废气回收槽，其另一端向大气开放；以及排气风扇，其设于第2排出管。在该装置，通过使利用真空泵从真空槽内抽吸来的清洗液的蒸汽溶解于废气回收槽内的贮存液来进行回收。在利用真空泵抽吸来的气体中，除了清洗液的蒸汽之外也含有残留于真空容器内的空气等。抽吸来的气体中的、不溶解于贮存液的气体利用排气风扇从第2排出管向废气回收槽外排出。
[0005]现有技术文献
[0006]专利文献
[0007]专利文献1：日本特开2014
‑
109425号公报

技术实现思路

[0008]专利技术要解决的问题
[0009]但是，在专利文献1所记载的装置中，清洗液的蒸汽仍会被向废气回收槽外排出。
[0010]至此以蒸汽清洗和真空干燥的情况为例进行了说明，但在通过浸渍于在清洗槽内贮存的清洗液来清洗工件的浸渍清洗中，在回收因清洗液蒸发而产生的气体时也会发生同样的问题。
[0011]本专利技术要解决的问题在于，提供一种能够抑制清洗液的蒸汽向废气回收槽外排出的气化清洗液回收装置。
[0012]用于解决问题的方案
[0013]为了解决上述问题而完成的本专利技术的气化清洗液回收装置的特征在于，该气化清洗液回收装置包括：
[0014]a)废气回收槽，其贮存有作为回收对象的清洗液能够溶解的贮存液；
[0015]b)第1气体排出通路，其一端连接于所述清洗液的蒸汽的产生源，其另一端在所述废气回收槽内的第1位置处开口；
[0016]c)第1泵，其设于所述第1气体排出通路中，用于使所述产生源的气体排出；
[0017]d)第2气体排出通路，其一端在所述废气回收槽内的比所述第1位置靠上的第2位置处开口，其另一端处于所述废气回收槽外；
[0018]e)第2泵，其设于所述第2气体排出通路中，用于使所述废气回收槽内的气体排出；以及
[0019]f)开闭阀，其设于所述第2气体排出通路的比所述第2泵靠前(靠近所述废气回收槽)的位置，在所述废气回收槽内的压力达到预定的第1值以上时该开闭阀打开，在该压力达到预定的第2值以下时该开闭阀关闭。
[0020]对于本专利技术的气化清洗液回收装置，在将贮存液贮存至废气回收槽的第1位置和第2位置之间的高度的状态下，利用第1泵将由产生源产生的蒸汽经由第1气体排出通路向贮存液导入。由此，清洗液的蒸汽溶解于贮存液。除了清洗液的蒸汽之外，空气等除该蒸汽之外的气体也能从产生源向贮存液导入。利用第2泵将除该蒸汽之外的气体中的不溶解于贮存液的气体经由第2气体排出通路向外部排出。
[0021]在废气回收槽内，利用第1泵导入含有所述蒸汽的气体为导致压力的上升的原因，而另一方面，利用第2泵将不溶解于贮存液的气体向外部排出为导致压力的下降的原因。基于这两个原因结合得到的结果，在废气回收槽内的压力下降时，贮存液内的清洗液易于气化，并且从产生源导入到贮存液的清洗液的蒸汽难以溶解于贮存液。其结果，有可能利用第2泵将清洗液的蒸汽从废气回收槽向外部排出。
[0022]于是，在第2气体排出通路的位于第2泵之前(即排气的方向上的上游侧)的部分设置开闭阀，在废气回收槽内的压力达到预定的第1值以上时该开闭阀打开，在该压力达到预定的第2值以下时该开闭阀关闭。在此，第1值和第2值均设为贮存液内的清洗液(几乎)不会气化的值。此外，第1值和第2值既可以是相同的值，也可以是互不相同的值。
[0023]本专利技术的气化清洗液回收装置通过具备这样的开闭阀，在废气回收槽内的压力达到清洗液(几乎)不会气化的第1值以上时开闭阀打开，从而使不溶解于贮存液的气体从废气回收槽向外部排出。另一方面，在废气回收槽内的压力达到第2值以下时开闭阀关闭，从而使废气回收槽内的压力不会下降至清洗液会发生气化的压力，防止清洗液的蒸汽从废气回收槽向外部排出。
[0024]所述开闭阀例如能够使用将如下构件组合而成的装置：设于第2气体排出通路的阀主体、用于使所述阀主体开闭的驱动源、用于测量废气回收槽内的压力的压力计、以及基于所述压力计的测量值来控制所述驱动源的控制部。
[0025]此外，能够使用止回阀作为所述开闭阀。止回阀是如下这样的阀：在该止回阀的上
游侧的压力达到第1值以上时该止回阀在该压力的作用下开放，之后在上游侧的压力达到第2值以下时该止回阀在下游侧的压力、阀芯的自重等的作用下关闭。由于止回阀不使用驱动源、压力计及控制装置就能够工作，因此能够使装置简化、低成本化。
[0026]对于本专利技术的气化清洗液回收装置，优选的是，在所述废气回收槽内的压力达到所述第1值以上时，该压力越大，所述开闭阀的开度越大。由此，能够防止在废气回收槽内的压力比较低时因开闭阀的开度过大而使废气回收槽内的清洗液易于气化，并且能够防止在废气回收槽内的压力上升时开闭阀的开度不足而使废气回收槽内成为加压状态。就这样的开闭阀的开度的调整而言，在具备包括前述的阀主体、驱动源、压力计及控制部的开闭阀的结构中，控制部进行控制从而基于压力计的测量值来调整阀主体的开度即可。此外，对于使用在盖体的自重的作用下开闭的开闭阀的情况，废气回收槽内的压力越大，推起盖体的力越大，由此开度也变得越大，因此能够自然地进行开度的调整。
[0027]对于本专利技术的气化清洗液回收装置，优选的是，在所述第1气体排出通路的开口处具备设有多个孔的喷嘴。孔本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种气化清洗液回收装置，其特征在于，该气化清洗液回收装置包括：a)废气回收槽，其贮存有作为回收对象的清洗液能够溶解的贮存液；b)第1气体排出通路，其一端连接于所述清洗液的蒸汽的产生源，其另一端在所述废气回收槽内的第1位置处开口；c)第1泵，其设于所述第1气体排出通路中，用于使所述产生源的气体排出；d)第2气体排出通路，其一端在所述废气回收槽内的比所述第1位置靠上的第2位置处开口，其另一端处于所述废气回收槽外；e)第2泵，其设于所述第2气体排出通路中，用于使所述废气回收槽内的气体排出；以及f)开闭阀，其设于所述第2气体排出通路的比所述第2泵靠前的位置，在所述废气回收槽内的压力达到预定的第1值以上时该开闭阀打开，在该压力达到预定的第2值以下时该开闭阀关闭。2.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：石井郁男，
申请(专利权)人：爱阔特株式会社，
类型：发明
国别省市：