一种用于化学气相沉积炉的可变径吊具制造技术

本实用新型专利技术属于吊具领域，具体公开一种用于化学气相沉积炉的可变径吊具，包括变径盘、多个与变径盘滑动连接的变径杆，变径杆中间偏下处可拆卸连接有变径盘，所述变径杆底端设置有用于起吊支撑的卡凸，所述卡凸卡进待吊起工件的卡槽中实现对待吊起件的卡紧，变径盘紧箍在变径杆外。本吊具可以根据产品的直径尺寸灵活调整变径杆的位置，适用范围更广，在应对多种尺寸产品时更加方便快捷；与气动吊具相比较，采用全手动的操作方式，操作方式更安全，设备维护更加简单方便；本吊具的发明专利技术减少了吊具的生产投入，缩短了吊装时吊具更换的时间，提高了工作效率。高了工作效率。高了工作效率。

【技术实现步骤摘要】
一种用于化学气相沉积炉的可变径吊具


[0001]本技术属于吊具领域，具体地说涉及一种用于化学气相沉积炉的可变径吊具。

技术介绍

[0002]随着单晶硅片、单晶硅棒尺寸的逐步提升，单晶炉内所有的碳碳功能部件尺寸也发生相应变化。目前单晶硅片的尺寸从最初的2英寸到目前的12英寸多种规格，就决定了单晶硅棒、单晶硅拉晶炉、单晶炉热场功能部件存在多种规格。单晶炉的热场部件通常使用通过化学气相沉积技术致密后的碳碳复合材料。
[0003]所以气相化学沉积生产过程中会存在多种规格的产品同时装炉，在吊装时需要根据产品尺寸频繁更换吊具，给沉积炉拆装作业及吊装作业带来诸多不便。并且不同尺寸的吊具制作成本较高，不利于生产。
[0004]因此，现有技术还有待于进一步发展和改进。

技术实现思路

[0005]针对现有技术的种种不足，为了解决上述问题，现提出一种用于化学气相沉积炉的可变径吊具。本技术提供如下技术方案：
[0006]一种用于化学气相沉积炉的可变径吊具，包括变径盘、多个与变径盘滑动连接的变径杆，变径杆中间偏下处可拆卸连接有变径盘，所述变径杆底端设置有用于起吊支撑的卡凸，所述卡凸卡进待吊起工件的卡槽中实现对待吊起件的卡紧，变径盘紧箍在变径杆外。
[0007]进一步的，所述变径盘上设置有多个变径孔，所述变径孔为长条形通孔，变径孔沿其长度方向相对变径盘中心的距离不断变化。
[0008]进一步的，所述变径杆在变径盘上下两侧分别设置有限位板和第一限位孔，变径孔上端面设置有与限位板对应的限位凹槽，第一限位孔中可拆卸连接限位插销。
[0009]进一步的，所述变径杆靠近下端处设置有限位凸，所述限位凸延伸方向垂直于变径杆轴线。
[0010]进一步的，沿变径环周向方向设置有多个第二限位孔，所述第二限位孔为长条形孔，限位凸穿过第二限位孔与变径环滑动连接。
[0011]进一步的，所述变径盘为等边三角形，变径杆在三角形一角和三角形中心之间来回滑动。
[0012]进一步的，所述变径盘上设置有吊环，所述吊环设置在变径盘中间。
[0013]进一步的，所述变径杆上端设置有旋转操作把，所述旋转操作把为长条状。
[0014]进一步的，所述变径杆、变径孔成对设置有三对，相邻两对之间间隔120度。
[0015]进一步的，所述变径杆为可伸缩圆柱杆，其伸缩部分设置多个固定孔，通过螺栓或销轴穿过固定孔固定伸缩长度。
[0016]有益效果：
[0017]1、本吊具可以根据产品的直径尺寸灵活调整变径杆的位置，适用范围更广，在应对多种尺寸产品时更加方便快捷；
[0018]2、与气动吊具相比较，采用全手动的操作方式，操作方式更安全，设备维护更加简单方便；
[0019]3、本吊具的专利技术减少了吊具的生产投入，缩短了吊装时吊具更换的时间，提高了工作效率。
附图说明
[0020]图1是本技术具体实施例中吊具的立体结构示意图；
[0021]图2是图1中A处的局部放大图；
[0022]图3是本技术具体实施例中变径盘的立体结构示意图；
[0023]图4是本技术具体实施例中变径杆的立体结构示意图；
[0024]图5是本技术具体实施例中另一视角的吊具立体结构示意图；
[0025]附图中，100、变径盘；110、变径孔；120、限位凹槽；200、吊环；310、变径杆；320、旋转操作把；330、限位板；340、限位插销；350、限位凸；360、卡凸；410、变径环；420、第二限位孔。
具体实施方式
[0026]为了使本领域的人员更好地理解本技术的技术方案，下面结合本技术的附图，对本技术的技术方案进行清楚、完整的描述，基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动的前提下所获得的其它类同实施例，都应当属于本申请保护的范围。此外，以下实施例中提到的方向用词，例如“上”“下”“左”“右”等仅是参考附图的方向，因此，使用的方向用词是用来说明而非限制本技术创造。
[0027]如图1
‑
5所示，一种用于化学气相沉积炉的可变径吊具，包括变径盘100、多个与变径盘100滑动连接的变径杆310，多个变径杆310呈圆周分布，变径杆310中间偏下处可拆卸连接有变径盘100，所述变径杆310底端设置有用于起吊支撑的卡凸360，所述卡凸360卡进待吊起工件的卡槽中实现对待吊起件的卡紧，变径盘100紧箍在变径杆310外。
[0028]进一步的，所述变径盘100上设置有多个变径孔110，所述变径孔110为长条形通孔，变径孔110沿其长度方向相对变径盘100中心的距离不断变化。
[0029]通过调节变径杆310在变径板中的位置，可以调整多个变径杆310所在圆周的半径尺寸，从而适应多种规格的化学气象沉积炉。
[0030]进一步的，所述变径杆310在变径盘100上下两侧分别设置有限位板330和第一限位孔，变径孔110上端面设置有与限位板330对应的限位凹槽120，第一限位孔中可拆卸连接限位插销340。具体的，限位板330为圆饼状，第一限位孔垂直于所在的变径杆310，限位插销340的长度大于变径孔110的宽度；通过限位板330和限位插销340可以将变径杆310的上端的位置限定住，防止吊具承载工作时晃动。
[0031]进一步的，所述变径杆310靠近下端处设置有限位凸350，所述限位凸350延伸方向垂直于变径杆310轴线。
[0032]进一步的，沿变径环410周向方向设置有多个第二限位孔420，所述第二限位孔420
为长条形孔，限位凸350穿过第二限位孔420与变径环410滑动连接。具体来说，第二限位孔420为弯曲的长条孔，线位凸可以在第二限位孔420中旋转滑动。
[0033]进一步的，所述变径盘100为等边三角形，变径杆310在三角形一角和三角形中心之间来回滑动。具体来说，变径盘100中间为一圆形内板，外部为三角形框体，圆形内板与三角形框体之间连接有多个肋板，可以在减轻变径盘100的重量的同时保证变径盘100的强度。
[0034]进一步的，所述变径盘100上设置有吊环200，所述吊环200设置在变径盘100中间。在吊机工作时，主要抓取吊环200即可，方便操作。
[0035]进一步的，所述变径杆310上端设置有旋转操作把320，所述旋转操作把320为长条状。通过旋转操作把320手可以实现对变径杆310的便捷操作，方便对变径杆310进行旋转或者提升。
[0036]进一步的，所述变径杆310、变径孔110成对设置有三对，相邻两对之间间隔120度。均匀设置可以将载重平均，提高起吊时的稳定性。
[0037]进一步的，所述变径杆310为可伸缩圆柱杆，其伸缩部分设置多个固定孔，通过螺栓或销轴穿过固定孔固定伸缩长度。通过可伸缩圆柱杆式的结构，可以根据化学气象沉积炉的高度相应地对变径杆310的高度进行调整，从而进一步提本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于化学气相沉积炉的可变径吊具，其特征在于，包括变径盘、多个与变径盘滑动连接的变径杆，变径杆中间偏下处可拆卸连接有变径盘，所述变径杆底端设置有用于起吊支撑的卡凸，所述卡凸卡进待吊起工件的卡槽中实现对待吊起件的卡紧，变径盘紧箍在变径杆外。2.根据权利要求1所述的一种用于化学气相沉积炉的可变径吊具，其特征在于，所述变径盘上设置有多个变径孔，所述变径孔为长条形通孔，变径孔沿其长度方向相对变径盘中心的距离不断变化。3.根据权利要求2所述的一种用于化学气相沉积炉的可变径吊具，其特征在于，所述变径杆在变径盘上下两侧分别设置有限位板和第一限位孔，变径孔上端面设置有与限位板对应的限位凹槽，第一限位孔中可拆卸连接限位插销。4.根据权利要求3所述的一种用于化学气相沉积炉的可变径吊具，其特征在于，所述变径杆靠近下端处设置有限位凸，所述限位凸延伸方向垂直于变径杆轴线。5.根据权利要求4所述的一种用于化学气相沉积炉的可变径吊...

【专利技术属性】
技术研发人员：霍红星，杨荣清，段玉，牛虎亮，
申请(专利权)人：青岛晶易新材料科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：