检测装置的调节组件、方法及自动物料搬送系统制造方法及图纸

本公开提供一种检测装置的调节组件、方法及自动物料搬送系统，检测装置的调节组件包括：感测件和处理模块，感测件接收检测光线并生成感测信息，处理模块对比预设的基准信息和感测信息，根据对比结果调节检测装置的位姿，和/或，调节检测装置的发射部所发出的检测光线的强度。本公开中，设置感测件覆盖检测装置的接收部，以接收反射部反射的检测光线并生成感测信息，处理模块根据感测信息和预设的基准信息，确定检测装置是否处于基准状态，基准状态包括检测装置的位姿和/或发射部所发出的检测光线的强度，若检测装置没有处于基准状态，则处理模块根据对比结果调节检测装置，实现自动、快速调节检测装置，从而提高调节的速度和准确率。准确率。准确率。

【技术实现步骤摘要】
检测装置的调节组件、方法及自动物料搬送系统


[0001]本公开涉及半导体
，尤其涉及一种检测装置的调节组件、方法及自动物料搬送系统。

技术介绍

[0002]在半导体制程中，需要在不同工序之间转移晶圆，为避免晶圆被污染或损坏，通常是将晶圆放入晶圆盒中，以晶圆盒承载晶圆，实现晶圆的转移。
[0003]自动物料搬送系统(AMHS，Automated Material Handling System)是一种用于转移晶圆的设备，其包括自动化天车(OHT，Overhead Hoist Transfer)、二重搬入传感器及存储货架(OHB，Overhead Buffer)。
[0004]二重搬入传感器在安装完成后，需要进行调试才能够正常使用，相关技术中，二重搬入传感器的固定方式为紧固件固定，需要工作人员根据经验对相应的紧固件进行微调，导致调节精度低且耗费时间长、效率低。

技术实现思路

[0005]以下是对本公开详细描述的主题的概述。本概述并非是为了限制权利要求的保护范围。
[0006]本公开提供一种检测装置的调节组件、方法及自动物料搬送系统。
[0007]本公开的第一方面，提供了一种检测装置的调节组件，所述检测装置包括发射部和接收部，所述接收部用于接收所述发射部发出并由反射部反射的检测光线，所述检测装置的调节组件包括：
[0008]感测件，覆盖所述接收部，用于接收所述检测光线，并根据所述检测光线生成感测信息；
[0009]处理模块，与所述感测件相连，所述处理模块用于接收所述感测信息，对比预设的基准信息和所述感测信息，并根据对比结果调节所述检测装置的位姿，和/或，调节所述发射部所发出的检测光线的强度。
[0010]在一些实施例中，所述调节组件包括安装结构，所述感测件固定于所述安装结构，所述安装结构与所述检测装置形成可拆卸连接。
[0011]在一些实施例中，所述安装结构包括安装板以及设置于所述安装板第一表面上的槽体，所述感测件固定于所述安装板的第二表面，所述槽体用于与所述检测装置插接配合。
[0012]在一些实施例中，所述槽体包括槽侧壁，所述槽侧壁与所述第一表面围合形成供所述检测装置插入的安装空间，所述槽侧壁和/或所述第一表面上设置有第一卡接结构，所述第一卡接结构用于与所述检测装置卡接。
[0013]在一些实施例中，所述调节组件包括调节机构，所述调节机构与所述检测装置连接，用于调节所述检测装置的位姿；
[0014]所述处理模块与所述调节机构相连，所述处理模块用于根据所述对比结果控制所
述调节机构调节所述检测装置的位姿。
[0015]在一些实施例中，所述调节机构包括：
[0016]第一调节部，用于对所述检测装置进行第一方向上的位置调节；
[0017]第二调节部，用于对所述检测装置进行第二方向上的位置调节，所述第二方向与所述第一方向呈夹角设置；
[0018]第三调节部，用于调节所述检测装置的倾斜角度。
[0019]在一些实施例中，所述第一调节部包括：
[0020]第一基体；
[0021]第一驱动电机，设置于所述第一基体上；
[0022]丝杆，与所述第一驱动电机连接，所述丝杆的轴线沿所述第一方向延伸；
[0023]滑块，与所述丝杆螺纹连接，所述第二调节部与所述滑块固定连接。
[0024]在一些实施例中，所述第二调节部包括：
[0025]第二基体，与所述第一调节部连接；
[0026]驱动部，设置于所述第二基体上；
[0027]第一齿轮部，所述驱动部能够驱动所述第一齿轮部转动；
[0028]第二齿轮部，与所述第一齿轮部啮合，所述第二齿轮部上设置有传动轴，所述传动轴与所述第三调节部连接；
[0029]摇杆，所述摇杆的一端与所述第二齿轮部固定连接，所述摇杆的另一端与所述第二基体转动连接。
[0030]在一些实施例中，所述第二齿轮部上设置有第一弧形槽，所述第三调节部上设置有与所述第一弧形槽对应的第二弧形槽，所述第一弧形槽以及所述第二弧形槽的圆心均与所述第二齿轮部的转动中心重合，所述第二基体上设置有限位销，所述限位销与所述第一弧形槽、所述第二弧形槽滑动配合。
[0031]在一些实施例中，所述驱动部包括：
[0032]第二驱动电机；
[0033]锥齿轮，与所述第二驱动电机连接；
[0034]其中，所述第一齿轮部包括盘状结构、设置于所述盘状结构一侧的第一齿形结构以及设置于所述盘状结构外周上的第二齿形结构，所述第一齿形结构为锥齿并与所述锥齿轮啮合，所述第二齿形结构与所述第二齿轮部啮合。
[0035]在一些实施例中，所述第三调节部包括：
[0036]第三基体；
[0037]固定座，设置于所述第三基体上；
[0038]转轴，可转动地支撑于所述固定座，所述转轴用于与所述检测装置连接；
[0039]第三驱动电机，与所述转轴连接，以驱动所述转轴转动。
[0040]在一些实施例中，所述检测装置包括二重搬入传感器，和/或，
[0041]所述感测件包括电荷耦合器件图像传感器。
[0042]本公开的第二方面，提供了一种检测装置的调节方法，所述检测装置的调节方法包括：
[0043]获取覆盖所述检测装置的接收部的感测件所生成的感测信息；
[0044]对比预设的基准信息和所述感测信息，得到对比结果；
[0045]基于所述对比结果，调节所述检测装置的位姿，和/或，向所述检测装置发送控制指令，以调节所述检测装置的发射部所发出的检测光线的强度。
[0046]在一些实施例中，所述感测信息包括反射光线的光斑位置信息和光斑形状信息；所述基准信息包括基准位置信息和基准形状信息，
[0047]所述对比预设的基准信息和所述感测信息，得到对比结果，包括：
[0048]对比所述光斑形状信息和所述基准形状信息，确定所述检测装置的倾斜角度与预设的基准角度的角度差信息；
[0049]对比所述光斑位置信息和所述基准位置信息，确定所述检测装置的位置与预设的基准位置的位置差信息；
[0050]将所述角度差信息和所述位置差信息作为所述对比结果。
[0051]在一些实施例中，所述基于所述对比结果，调节所述检测装置的位姿，包括：基于所述对比结果，向调节机构发送控制指令，以调节所述检测装置的位姿，其中：
[0052]根据所述位置差信息，确定第一方向的第一移动信息和第二方向的第二移动信息；
[0053]基于所述第一移动信息生成第一控制指令，并将所述第一控制指令发送至所述调节机构的第一调节部，以对所述检测装置进行所述第一方向上的位置调节；
[0054]基于所述第二移动信息生成第二控制指令，并将所述第二控制指令发送至所述调节机构的第二调节部，以对所述检测装置进行所述第二方向上的位置调节；
[0055]基于所述角度差信息生成本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种检测装置的调节组件，所述检测装置包括发射部和接收部，所述接收部用于接收所述发射部发出并由反射部反射的检测光线，其特征在于，所述检测装置的调节组件包括：感测件，覆盖所述接收部，用于接收所述检测光线，并根据所述检测光线生成感测信息；处理模块，与所述感测件相连，所述处理模块用于接收所述感测信息，对比预设的基准信息和所述感测信息，并根据对比结果调节所述检测装置的位姿，和/或，调节所述发射部所发出的检测光线的强度。2.根据权利要求1所述的检测装置的调节组件，其特征在于，所述调节组件包括安装结构，所述感测件固定于所述安装结构，所述安装结构与所述检测装置形成可拆卸连接。3.根据权利要求2所述的检测装置的调节组件，其特征在于，所述安装结构包括安装板以及设置于所述安装板第一表面上的槽体，所述感测件固定于所述安装板的第二表面，所述槽体用于与所述检测装置插接配合。4.根据权利要求3所述的检测装置的调节组件，其特征在于，所述槽体包括槽侧壁，所述槽侧壁与所述第一表面围合形成供所述检测装置插入的安装空间，所述槽侧壁和/或所述第一表面上设置有第一卡接结构，所述第一卡接结构用于与所述检测装置卡接。5.根据权利要求1所述的检测装置的调节组件，其特征在于，所述调节组件包括调节机构，所述调节机构与所述检测装置连接，用于调节所述检测装置的位姿；所述处理模块与所述调节机构相连，所述处理模块用于根据所述对比结果控制所述调节机构调节所述检测装置的位姿。6.根据权利要求5所述的检测装置的调节组件，其特征在于，所述调节机构包括：第一调节部，用于对所述检测装置进行第一方向上的位置调节；第二调节部，用于对所述检测装置进行第二方向上的位置调节，所述第二方向与所述第一方向呈夹角设置；第三调节部，用于调节所述检测装置的倾斜角度。7.根据权利要求6所述的检测装置的调节组件，其特征在于，所述第一调节部包括：第一基体；第一驱动电机，设置于所述第一基体上；丝杆，与所述第一驱动电机连接，所述丝杆的轴线沿所述第一方向延伸；滑块，与所述丝杆螺纹连接，所述第二调节部与所述滑块固定连接。8.根据权利要求6所述的检测装置的调节组件，其特征在于，所述第二调节部包括：第二基体，与所述第一调节部连接；驱动部，设置于所述第二基体上；第一齿轮部，所述驱动部能够驱动所述第一齿轮部转动；第二齿轮部，与所述第一齿轮部啮合，所述第二齿轮部上设置有传动轴，所述传动轴与所述第三调节部连接；摇杆，所述摇杆的一端与所述第二齿轮部固定连接，所述摇杆的另一端与所述第二基体转动连接。9.根据权利要求8所述的检测装置的调节组件，其特征在于，所述第二齿轮部上设置有
第一弧形槽，所述第三调节部上设置有与所述第一弧形槽对应的第二弧形槽，所述第一弧形槽以及所述第二弧形槽的圆心均与所述第二齿轮部的转动中心重合，所述第二基体上设置有限位销，所述限位销与所述第一弧形槽、所述第二弧形槽滑动配合。10.根据权利要求8所述的检测装置的调节组件，其特征在于，所述驱动部包括：第二驱动电机；锥齿轮，与所述第二驱动电机连接；其中，所述第一齿轮部包括盘状结构、设置于所述盘状结构一侧的第一齿形结构以及设置于所述盘...

【专利技术属性】
技术研发人员：袁俊怡，
申请(专利权)人：长鑫存储技术有限公司，
类型：发明
国别省市：