一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备制造技术

本发明专利技术公开了一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备，包括机座和设置在机座上的晶圆抓取机构、良品移送机构、次品移送机构、料箱输送机构、装箱机构、隔板移送机构及贴标机构；所述晶圆抓取机构用于从检测设备上抓取已测晶圆放置于所述良品移送机构或次品移送机构；所述良品移送机构用于输送已测良品晶圆；所述次品移送机构用于输送已测次品晶圆；所述料箱输送机构用于输送料箱；所述装箱机构用于从所述良品移送机构上抓取已测良品晶圆放置到料箱内；所述隔板移送机构用于抓取隔板放置到料箱中分隔已测良品晶圆；所述贴标机构用于在料箱上贴附标签。贴附标签。贴附标签。

【技术实现步骤摘要】
一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备


[0001]本专利技术涉及光学检测
，具体涉及一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备。

技术介绍

[0002]晶圆是指制作显示模组中硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅。高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅。对晶圆的检测是显示模组制程中重要的一环，现有晶圆表面缺陷的检测过程中通常采用人工进行出料，该方式速度慢、效率低、且容易损伤晶圆。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的在于提供一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备用于解决上述问题。
[0004]为实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：
[0005]一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备，包括机座和设置在机座上的晶圆抓取机构、良品移送机构、次品移送机构、料箱输送机构、装箱机构、隔板移送机构及贴标机构；
[0006]所述晶圆抓取机构用于从检测设备上抓取已测晶圆放置于所述良品移送机构或次品移送机构；
[0007]所述良品移送机构用于输送已测良品晶圆；
[0008]所述次品移送机构用于输送已测次品晶圆；
[0009]所述料箱输送机构用于输送料箱；
[0010]所述装箱机构用于从所述良品移送机构上抓取已测良品晶圆放置到料箱内；
[0011]所述隔板移送机构用于抓取隔板放置到料箱中分隔已测良品晶圆；
[0012]所述贴标机构用于在料箱上贴附标签。
[0013]优选地，所述晶圆抓取机构包括移送模组、横移架、抓取升降模组及晶圆抓取头，所述移动模组设置在机座上驱动所述横移架沿水平横向移动，所述抓取升降模组固设在所述横移架上驱动所述晶圆抓取头沿竖直方向升降，所述晶圆抓取头用于从检测设备上抓取已测晶圆放置于所述良品移送机构或次品移送机构上。
[0014]优选地，所述良品晶圆移送机构包括良品移送台和良品移送模组，所述良品移送模组用于驱动所述良品移送台在若干组所述晶圆抓取机构的末端下方之间移动；
[0015]优选地，所述次品晶圆移送机构设置在所述良品移送台的下方，其包括移动滑轨、安装基架、皮带驱动辊、传送皮带、驱动电机及防掉板，所述移动滑轨固设在所述机座上，所述安装基架的底侧设有滑动卡设在所述移动滑轨上的滑动底座，所述安装基架的两端分别设有一所述皮带驱动辊用于配合带动所述传送皮带传送，所述驱动电机的输出轴与其中一组所述皮带驱动辊连接，所述防掉板固设在所述传送皮带的上下层之间，所述防掉板上沿皮带传送方向间隔设有若干晶圆传感器用于监测传送皮带上是否放置有晶圆，所述安装基
架的一端还设有拉手；
[0016]优选地，所述料箱输送机构包括第一料箱输送辊组、第二料箱输送辊组、第三料箱输送辊组及料箱升降模组，所述第一料箱输送辊组和第二料箱输送辊组上下相邻设置分别用于输送料箱和空箱，且输送方向相反，所述料箱升降模组驱动所述第三料箱输送辊组沿竖直方向升降用于衔接所述第一料箱输送辊组或第二料箱输送辊组，所述第三料箱输送辊组两侧设有料箱导向板，所述第三料箱输送辊组上方设有料箱定位相机用于获取料箱的位置信息。
[0017]优选地，所述装箱机构包括机械手臂、良品晶圆抓取头及晶圆定位相机，所述良品抓取头用于抓取良品移送台上的良品晶圆，并通过所述机械手臂带动至所述料箱输送机构上的料箱内放置，所述晶圆定位相机设置在所述良品移送台上方用于获取良品晶圆的位置信息。
[0018]优选地，所述隔板移送机构包括隔板输送台、输送台升降模组、隔板抓取头、隔板抓取升降模组、隔板移送架及隔板移送模组，所述第三料箱输送辊组的两侧分别设有一所述输送台升降模组，所述输送台升降模组用于驱动所述隔板输送台沿竖直方向升降，所述隔板输送台用于放置隔板，所述隔板移送模组驱动所述隔板移送架在所述第三料箱输送辊组和隔板输送台的上方之间移动，所述隔板抓取升降模组固设在所述隔板移送架上驱动所述隔板抓取头沿竖直方向升降，所述隔板抓取头用于抓取隔板。
[0019]优选地，所述贴标机构包括标签打印机、标签中转组件、标签移送组件及标签读码相机；
[0020]所述标签中转组件包括双轴驱动模组和标签中转台，所述双轴驱动模组用于驱动所述标签中转台在水平XY双轴方向上移动，所述标签打印机打印标签放置于所述标签中转台，所述标签读码相机设置在所述标签中转台的上方用于获取标签的产品信息；
[0021]所述标签移送组件用于抓取所述标签中转台上方的料箱标签并移送至料箱输送机构进行贴标，所述标签移送组件包括三轴驱动模组、贴标基架、贴标旋转轴、贴标旋转电机及标签吸取头，所述三轴驱动模组用于驱动所述贴标基架在空间XYZ三轴方向上移动，所述贴标基架上设有贴标旋转轴承，所述贴标旋转轴转动设置在所述贴标旋转轴承上，且其通过贴标旋转电机驱动，所述贴标吸取头固定连接在所述贴标旋转轴上用于吸取标签。
[0022]采用上述技术方案后，本专利技术与
技术介绍
相比，具有如下优点：
[0023]本专利技术提供一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备，自动化程度高，取代人力，减小劳动强度，节省成本排除人为参与对晶圆接触的不良影响，不会对晶圆造成损伤，有效的保证产品的品质。
附图说明
[0024]图1为本专利技术结构示意图；
[0025]图2为本专利技术去除晶圆抓取机构结构示意图；
[0026]图3为本专利技术良品移送机构、次品移送机构及装箱机构结构示意图；
[0027]图4为本专利技术料箱输送机构结构示意图；
[0028]图5为本专利技术隔板移送机构结构示意图；
[0029]图6为本专利技术贴标机构结构示意图。
具体实施方式
[0030]为了使本专利技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本专利技术进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。
[0031]在本专利技术中需要说明的是，术语“上”“下”“左”“右”“竖直”“水平”“内”“外”等均为基于附图所示的方位或位置关系，仅仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示本专利技术的装置或元件必须具有特定的方位，因此不能理解为对本专利技术的限制。
[0032]实施例
[0033]配合图1至图6所示，本专利技术公开了一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备，包括机座和设置在机座上的晶圆抓取机构1、良品移送机构2、次品移送机构3、料箱输送机构4、装箱机构5、隔板移送机构6及贴标机构7；
[0034]晶圆抓取机构1用于从外部的检测设备8上抓取已测晶圆放置于良品移送机构2或次品移送机构3；
[0035]良品移送机构2用于输送已测良品晶圆；
[0036]次品移送机构3用于输送已测次品晶圆；
[0037]料箱输送机构4用于输送料箱；
[0038]装箱机构5用于从良品移送机构2上抓取已测良品晶圆放置到料箱内；
[0039]隔板移送机构6用于抓取隔板放置到料箱中分隔已测良品晶圆；
[0040]贴标机构7用于在料箱上本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备，其特征在于：包括机座和设置在机座上的晶圆抓取机构、良品移送机构、次品移送机构、料箱输送机构、装箱机构、隔板移送机构及贴标机构；所述晶圆抓取机构用于从检测设备上抓取已测晶圆放置于所述良品移送机构或次品移送机构；所述良品移送机构用于输送已测良品晶圆；所述次品移送机构用于输送已测次品晶圆；所述料箱输送机构用于输送料箱；所述装箱机构用于从所述良品移送机构上抓取已测良品晶圆放置到料箱内；所述隔板移送机构用于抓取隔板放置到料箱中分隔已测良品晶圆；所述贴标机构用于在料箱上贴附标签。2.如权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备，其特征在于：所述晶圆抓取机构包括移送模组、横移架、抓取升降模组及晶圆抓取头，所述移动模组设置在机座上驱动所述横移架沿水平横向移动，所述抓取升降模组固设在所述横移架上驱动所述晶圆抓取头沿竖直方向升降，所述晶圆抓取头用于从检测设备上抓取已测晶圆放置于所述良品移送机构或次品移送机构上。3.如权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备，其特征在于：所述良品晶圆移送机构包括良品移送台和良品移送模组，所述良品移送模组用于驱动所述良品移送台在若干组所述晶圆抓取机构的末端下方之间移动。4.如权利要求3所述的一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备，其特征在于：所述次品晶圆移送机构设置在所述良品移送台的下方，其包括移动滑轨、安装基架、皮带驱动辊、传送皮带、驱动电机及防掉板，所述移动滑轨固设在所述机座上，所述安装基架的底侧设有滑动卡设在所述移动滑轨上的滑动底座，所述安装基架的两端分别设有一所述皮带驱动辊用于配合带动所述传送皮带传送，所述驱动电机的输出轴与其中一组所述皮带驱动辊连接，所述防掉板固设在所述传送皮带的上下层之间，所述防掉板上沿皮带传送方向间隔设有若干晶圆传感器用于监测传送皮带上是否放置有晶圆，所述安装基架的一端还设有拉手。5.如权利要求1所述的一种晶圆表面缺陷检测的智能出料设备，其特征在于：所述料箱输送机构包括第一料箱输送辊组、第二料箱输送辊组、第三料箱输送辊组及料箱升降模组，所述第一料箱输送辊组和第二料箱输送辊组上下相邻设置分别...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪亚德，林中龙，王士奇，李瑞晟，
申请(专利权)人：厦门福信光电集成有限公司，
类型：发明
国别省市：