一种PLC控制的实验室用集成式涂胶烘烤机制造技术

本实用新型专利技术涉及一种PLC控制的实验室用集成式涂胶烘烤机，包括装置本体，装置本体顶部外接有排气管，装置本体内水平方向设置有传动装置I，传动装置I一侧沿传动方向依次设置有花篮、旋转涂胶装置、烘烤装置和冷却装置，传动装置I上设置有操作装置，操作装置包括机械手和设置在机械手下方的吸盘。通过设置传动装置和增加机械手，并通过PLC控制，实现了半导体硅片从涂胶到烘烤的自动传片，提高了效率，减少了人力成本，同时减少了人工操作差异对结果带来的影响；通过集中的排气管路限制溶剂挥发后的发散，统一处理，降低了环境污染和对人体的损害。害。害。

【技术实现步骤摘要】
一种PLC控制的实验室用集成式涂胶烘烤机


[0001]本技术涉及一种PLC控制的实验室用集成式涂胶烘烤机，属于半导体制造


技术介绍

[0002]半导体合成过程中，在清洗和旋转涂胶后，需要进行软烤和冷却，旋转涂胶通过涂胶机进行，软烤通过烤胶机进行，然而现有的涂胶机和烤胶机均为单体式，每次只能测试单片半导体，效率较低；同时还需要工作人员在现场变更条件，浪费人力；另外单体式涂胶机和烤胶机工作时，光刻胶挥发的溶剂直接分散到空气中，对人体有害。
[0003]因此需要一种PLC控制的实验室用集成式涂胶烘烤机。

技术实现思路

[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供一种PLC控制的实验室用集成式涂胶烘烤机，其具体技术方案如下：
[0005]一种PLC控制的实验室用集成式涂胶烘烤机，包括装置本体，所述装置本体顶部外接有排气管，所述装置本体内水平方向设置有传动装置I，所述传动装置I包括电缸I、丝杆I和轴套I，所述丝杆I一端设置在电缸I内，所述轴套I套设在丝杆I上，所述传动装置I一侧沿传动方向依次设置有花篮、旋转涂胶装置、烘烤装置和冷却装置，所述轴套I上设置有操作装置，所述操作装置包括机械手和设置在机械手下方的吸盘。
[0006]进一步的，所述传动装置I与操作装置之间还依次设置有竖直方向的传动装置II和水平方向的传动装置III，所述传动装置II包括电缸II、丝杆II和轴套II，所述传动装置III包括电缸III、丝杆III和轴套III，所述电缸II固定在轴套I上，所述电缸III固定在轴套II上，所述操作装置固定在轴套III上。
[0007]进一步的，所述操作装置还包括旋转支撑架，所述操作装置通过旋转支撑架设置在轴套III上，所述吸盘接设有抽真空管。
[0008]进一步的，所述花篮、烘烤装置和冷却装置均设置为多层结构，且层数一致，所述花篮包括外框和硅片支架，所述烘烤装置包括箱体和设置在箱体中的热板，所述冷却装置包括硅片支座和设置在硅片支座下方的冷却板。
[0009]进一步的，所述排气管出气端设置有气体收集装置，所述排气管中设置有排风扇。
[0010]本技术的有益效果是：通过设置传动装置和增加机械手，并通过PLC控制，实现了半导体硅片从涂胶到烘烤的自动传片，提高了效率，减少了人力成本，同时减少了人工操作差异对结果带来的影响；通过集中的排气管路限制溶剂挥发后的发散，统一处理，降低了环境污染和对人体的损害。
附图说明
[0011]图1是本技术的结构示意图，
[0012]图2是本技术的花篮结构示意图，
[0013]图3是本技术的烘烤装置示意图，
[0014]图4是本技术的冷却装置示意图，
[0015]图5是本技术的传动装置结构示意图，
[0016]图中：1—花篮，12—硅片支架，13—外框，2—旋转涂胶装置，3—烘烤装置，31—热板，32—箱体，4—排气管，5—冷却装置，51—冷却板，52—硅片支座，6—传动装置I，61—电缸I，62—丝杆I，63—轴套I，7—传动装置II，71—电缸II，72—丝杆II，73—轴套II，8—传动装置III，81—电缸III，82—丝杆III，83—轴套III，9—操作装置，91—旋转支撑架，92—机械手，93—吸盘，94—抽真空管，10—硅片，11—装置本体。
具体实施方式
[0017]现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。
[0018]如图1所示，本技术的PLC控制的实验室用集成式涂胶烘烤机，包括装置本体11，装置本体11内水平方向设置有传动装置I6，传动装置I6包括电缸I61、丝杆I62和轴套I63，丝杆I62一端设置在电缸I61内，轴套I63套设在丝杆I62上，装置本体11中还设置有传动装置II7和传动装置III8，传动装置II7包括电缸II71、丝杆II72和轴套II73，传动装置III8包括电缸III81、丝杆III82和轴套III83，传动装置II7竖直设置，通过电缸II71固定在轴套I63上，传动装置III8水平设置，通过电缸III81固定在轴套II73上，传动装置III8上设置有操作装置9，操作装置9包括旋转支撑架91、机械手92和吸盘93，旋转支撑架91与轴套III83连接，操作装置9通过旋转支撑架91绕轴套III83水平旋转，吸盘93设置在机械手92下方，吸盘93底部连接有抽真空管94；
[0019]装置本体11内在传动装置I6一侧沿传动方向依次设置有花篮1、旋转涂胶装置2、烘烤装置3和冷却装置5，其中花篮1、烘烤装置3和冷却装置5均设置为三层结构，花篮1包括外框13和三组硅片支架12，烘烤装置3包括箱体32和设置在箱体32中的三组热板31，冷却装置5包括三组冷却板51和三组硅片支座52；
[0020]装置本体11顶部外接有排气管4，排气管4出气端设置有气体收集装置，排气管4中设置有排风扇；
[0021]装置工作过程中，机械手92通过吸盘93从花篮1中取出半导体硅片10，电缸I61驱动丝杆I62运动，使机械手92完成从花篮1到旋转涂胶机2的水平距离传动，通过电缸II71和电缸III81进行微调，使机械手92的高度和位置更加准确，将半导体硅片10放到旋转涂胶机2上，进行旋转涂胶，完成后机械手92将半导体取出，重复传动操作，将半导体硅片10放在烘烤装置3内进行烘烤，烘烤完毕后取出并放入冷却装置5内进行冷却，冷却后再由机械手92取出放回花篮1，整个过程通过PLC进行逻辑控制，期间由排气管路4不断将挥发物质排除，并通过气体收集装置统一收集处理。
[0022]以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种PLC控制的实验室用集成式涂胶烘烤机，其特征在于：包括装置本体（11），所述装置本体（11）顶部外接有排气管（4），所述装置本体（11）内水平方向设置有传动装置I（6），所述传动装置I（6）包括电缸I（61）、丝杆I（62）和轴套I（63），所述丝杆I（62）一端设置在电缸I（61）内，所述轴套I（63）套设在丝杆I（62）上，所述传动装置I（6）一侧沿传动方向依次设置有花篮（1）、旋转涂胶装置（2）、烘烤装置（3）和冷却装置（5），所述轴套I（63）上设置有操作装置（9），所述操作装置（9）包括机械手（92）和设置在机械手（92）下方的吸盘（93）。2.根据权利要求1所述的PLC控制的实验室用集成式涂胶烘烤机，其特征在于：所述传动装置I（6）与操作装置（9）之间还依次设置有竖直方向的传动装置II（7）和水平方向的传动装置III（8），所述传动装置II（7）包括电缸II（71）、丝杆II（72）和轴套II（73），所述传动装置III（8）包括电缸III（81）、丝杆III（82）和...

【专利技术属性】
技术研发人员：康凯，陈旺，康威，覃伯成，
申请(专利权)人：深圳迪道微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：