本实用新型专利技术涉及一种光刻胶生产自动过滤装置，包括反应釜、滤芯和管路，反应釜底部通过管路与滤芯连接，管路上设置有液体泵I，滤芯下游接设有电磁阀I，电磁阀I下游接设返回管路和收集管路，返回管路与反应釜连接，收集管路下游接设合格液腔，滤芯和电磁阀I之间设置有颗粒计数仪I。本实用新型专利技术通过将取样口设置在过滤器后，避免了混合时间差对异物检测结果产生影响；并将取样口与颗粒计数仪连接，提高过滤效率，解放人力，实现实时取样检测，解决了数据检测的滞后性问题；在过滤器后增加一条管路，实现合格液的自动收集，不合格液自动返回循环；对合格液进行复测，保证含量检测的准确性。保证含量检测的准确性。保证含量检测的准确性。
【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶生产自动过滤装置
[0001]本技术涉及一种光刻胶生产自动过滤装置，属于光刻胶生产
技术介绍
[0002]光刻胶生产中对于异物的含量管控非常严格，当前光刻胶生产技术方案需要人为从取样口取光刻胶并送样检测，数据检测具有滞后性；将整个反应釜的光刻胶进行循环过滤，效率低、时间久，过滤效果较差；且取样口通常设置在反应釜，异物含量检测存在混合的时间差，取样的记过与整体含量存在误差。
[0003]因此需要一种光刻胶生产自动过滤装置。
技术实现思路
[0004]为了解决上述技术问题，本技术提供一种光刻胶生产自动过滤装置，其具体技术方案如下：
[0005]一种光刻胶生产自动过滤装置，包括反应釜、滤芯和管路，所述反应釜底部通过管路与滤芯连接，所述管路上设置有液体泵I，滤芯下游接设有返回管路和收集管路，返回管路和收集管路交汇处设置有电磁阀I，返回管路与反应釜连接，收集管路下游接设有合格液腔，所述滤芯和电磁阀I之间设置有颗粒计数仪I，所述颗粒计数仪I与滤芯下游之间接设有取样管I，颗粒计数仪I与电磁阀I之间连接有电磁阀连线I。
[0006]进一步的，反应釜顶部接设有循环管路，所述循环管路与合格液腔顶部连通并向下延伸至底部，所述循环管路上设置有电磁阀II和液体泵II。
[0007]进一步的，所述合格液腔与电磁阀II之间设置有颗粒计数仪II，颗粒计数仪II接设有取样管II和电磁阀连线II，取样管II与合格液腔底部连接，电磁阀连线II与电磁阀II连接。
[0008]进一步的，所述电磁阀I和电磁阀II通过PLC控制。
[0009]进一步的，所述滤芯孔径为0.2μm。
[0010]本技术的有益效果是：本技术通过将取样口设置在过滤器后，避免了混合时间差对异物检测结果产生影响；并将取样口与颗粒计数仪连接，提高过滤效率，解放人力，实现实时取样检测，解决了数据检测的滞后性问题；在过滤器后增加一条管路，实现合格液的自动收集，不合格液自动返回循环；对合格液进行复测，保证含量检测的准确性；合格液及时收集，减少反应釜中液含量，提升过滤效率。
附图说明
[0011]图1是本技术的结构示意图，
[0012]图中：1—反应釜，2—光刻胶，3—颗粒计数仪I，4—管路，5—液体泵I，6—滤芯，7—取样管I，8—电磁阀接线I，9—颗粒计数仪II，10—取样管II，11—电磁阀接线II，12—电磁阀II，13—合格液腔，14
‑
循环管路，15
‑
返回管路，16—电磁阀I，17—收集管路，18—液
体泵II。
具体实施方式
[0013]现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。
[0014]如图1所示，本技术的光刻胶生产自动过滤装置，包括反应釜1、滤芯6和管路4，反应釜1底部通过管路4与滤芯6连接，滤芯6的孔径为0.2μm，管路4上设置有液体泵I5，滤芯6下游接设有返回管路15和收集管路17，返回管路15和收集管路17交汇处设置有电磁阀I16，返回管路15与反应釜1连接，收集管路17下游接设有合格液腔13，滤芯6和电磁阀I16之间设置有颗粒计数仪I3，颗粒计数仪I3与滤芯6下游之间接设有取样管I7，颗粒计数仪I3与电磁阀I16之间连接有电磁阀连线I8。
[0015]将取样口设置在滤芯6下游，改善了取样口设在反应釜1时，异物含量检测存在的混合时间差问题，减小了取样结果与整体含量的误差。
[0016]反应釜1顶部接设有循环管路14，循环管路14与合格液腔13顶部连通并向下延伸至底部，循环管路14上设置有电磁阀II12和液体泵II18。
[0017]为避免因颗粒计数仪I3发生误差造成结果误测，合格液腔13与电磁阀II12之间设置有颗粒计数仪II9，颗粒计数仪II9接设有取样管II10和电磁阀连线II10，取样管II10与合格液腔13底部连接，电磁阀连线II10与电磁阀II12连接。
[0018]工作时，液体泵I5驱动反应釜1中合成的光刻胶2通过管路4输送到滤芯6进行过滤，过滤后的光刻胶2通过滤芯6下游端的采样管7进入颗粒计数仪I3进行检测，并将检测结果与设定值进行对比，判断产品是否合格，并将检测结果通过电磁阀接线I传达至电磁阀I16，若不合格，则调节电磁阀I16向返回管路15一侧打开，不合格产品通过返回管路15流回反应釜1中重新加工，若合格，则调节电磁阀I16向收集管路17一侧打开，合格产品通过收集管路17流入合格液腔13，合格液及时收集，减少反应釜中液含量，提升过滤效率，10t液的循环时间可缩短2h左右，
[0019]流入合格液腔13的产品通过取样管II10流入颗粒计数仪II9进行复测，若复测结果不合格，则调节打开电磁阀II12，通过液体泵II18将不合格液体输送回反应釜1继续加工。
[0020]颗粒计数仪I3和颗粒计数仪II9检测以及电磁阀I16和电磁阀II12的调节过程通过PLC进行控制。
[0021]以上述依据本技术的理想实施例为启示，通过上述的说明内容，相关工作人员完全可以在不偏离本项技术技术思想的范围内，进行多样的变更以及修改。本项技术的技术性范围并不局限于说明书上的内容，必须要根据权利要求范围来确定其技术性范围。
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【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种光刻胶生产自动过滤装置，其特征在于：包括反应釜（1）、滤芯（6）和管路（4），所述反应釜（1）底部通过管路（4）与滤芯（6）连接，所述管路（4）上设置有液体泵I（5），滤芯（6）下游接设有返回管路（15）和收集管路（17），返回管路（15）和收集管路（17）交汇处设置有电磁阀I（16），返回管路（15）与反应釜（1）连接，收集管路（17）下游接设有合格液腔（13），所述滤芯（6）和电磁阀I（16）之间设置有颗粒计数仪I（3），所述颗粒计数仪I（3）与滤芯（6）下游之间接设有取样管I（7），颗粒计数仪I（3）与电磁阀I（16）之间连接有电磁阀连线I（8）。2.根据权利要求1所述的光刻胶生产自动过滤装置，其特征在于：反应釜（1）顶部接设有循环管路...
【专利技术属性】
技术研发人员：康凯，陈旺，康威，覃伯成，
申请(专利权)人：深圳迪道微电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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