【技术实现步骤摘要】
一种厌氧环境烤胶机
[0001]本技术涉及一种厌氧环境烤胶机,属于半导体制造
技术介绍
[0002]涂覆光刻胶的半导体硅片需要进行烘烤除去多余的溶剂,现有烤胶机在加热烘烤过程中半导体硅片暴露在空气中,由于光阻内的光引发剂含有苯环,苯环会被氧化成醌,造成黄变,影响半导体硅片的透过率。
[0003]不能直接用抽真空加热方式,否则会造成表面破膜和厚薄不均;若选择直接通氮气排出空气,因为烘烤机空间较大,需要较长的通气时间和氮气量,且在此过程中会先涉及到稀释,因此没法全部排除空气;若改小烘烤机空间,则半导体硅片会因为离热板较近而提前加热,影响质量。
[0004]因此需要一种能够提供厌氧环境的烤胶机。
技术实现思路
[0005]为了解决上述技术问题,本技术提供一种厌氧环境烤胶机,其具体技术方案如下:
[0006]一种厌氧环境烤胶机,包括烘烤腔,所述烘烤腔内设置有隔板和托盘,所述隔板将烘烤腔分成上腔体和下腔体,所述隔板开设有通孔,所述通孔形状与托盘一致,大小不小于托盘,所述托盘下方通过升降杆连接有电缸,所述烘烤腔接设有氮气管路,所述氮气管路另一端连接有氮气瓶,所述下腔体还接设有抽气管路,抽气管路与抽气泵连接,所述下腔体下方设置有加热板。
[0007]进一步的,所述氮气管路分出上腔体支管和下腔体支管两条支路,所述上腔体支管设置有阀门I,所述下腔体支管设置有阀门II。
[0008]进一步的,所述加热板下方设置有加热丝。
[0009]进一步的,所述下腔体高度大于上腔体 ...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种厌氧环境烤胶机,其特征在于:包括烘烤腔(1),所述烘烤腔(1)内设置有隔板(16)和托盘(3),所述隔板(16)将烘烤腔(1)分成上腔体(2)和下腔体(4),所述隔板(16)开设有通孔(17),所述通孔(17)形状与托盘(3)一致,大小不小于托盘(3),所述托盘(3)下方通过升降杆(10)连接有电缸(12),所述烘烤腔(1)接设有氮气管路(14),所述氮气管路(14)另一端连接有氮气瓶(13),所述下腔体(4)还接设有抽气管路(7),抽气管路与抽气泵(8)连接,所述下腔体(4)下方设置有加热板(5)。2.根据权利要求1所述的厌氧环境烤胶机,其特征在于:所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:康凯,陈旺,康威,覃伯成,
申请(专利权)人:深圳迪道微电子科技有限公司,
类型:新型
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。