检测系统中的部件温度技术方案

提供了一种检测用于半导体加工设备的支持系统的部件的温度的方法，该方法包括：将射频识别标签施加于部件，射频识别标签具有序列号；用读取器读取射频识别标签，读取器被布置成读取射频识别标签的序列号并识别射频识别标签的谐振频率；以及将射频标签的谐振频率转换为射频识别标签的温度。换为射频识别标签的温度。换为射频识别标签的温度。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检测系统中的部件温度


[0001]本专利技术涉及检测用于半导体加工设备的工艺管线的支持系统（support system）的部件的温度的方法、用于检测用于半导体加工设备的支持系统的部件的温度的读取器、用于检测用于半导体加工设备的支持系统的部件的温度的射频识别标签（radio frequency identity tag）、一个或多个程序以及机器可读存储介质。

技术介绍

[0002]用于各种工艺和用途的进出半导体设备的管线可能会积聚沉积物，这会对管线的操作产生不利影响。这种半导体设备可以包括半导体制造设备。沉积物可能会由于冷点处的冷凝而积聚。监测管线沿线多个点的温度可以帮助识别冷点或者管线中的流体温度是否降至低于最佳水平，以最大限度地减少冷凝物或沉积物的形成。
[0003]此外，在例如为了防止管线内部形成冷凝而加热管线时，重要的是要确保管线不会变得太热而超过管线内容物、管线材料、加热部件和任何隔热材料的安全操作温度。监测管线沿线多个点的温度可以帮助识别热点，这可能是由加热器故障或管线内的放热反应引起的。这样的热点会导致设备故障。热点的识别可用于发起补救措施，如关闭加热器、关闭工艺或激活骤冷功能。
[0004]类似地，用于半导体加工设备的真空泵和减排系统（abatement system）可以是用于半导体制造的集成系统的一部分。这样的系统需要配电系统来将通常处于高压的电力输送到系统的各个模块。这种集成系统正变得越来越复杂、越来越小，并且用于维修和维护活动的通道也越来越受限。因此，复杂和集成的高压电气组件占用的空间更少，并且正在迁移到具有非常少的维护通道的系统区域。配电系统中的故障可能会导致它供电的装置（如半导体加工设备）停机，代价高昂。这种电气系统中的故障的早期迹象可以通过检测配电系统的部件中的升高的温度来确定。
[0005]通常，电子温度传感器可用于监测诸如半导体设备的工艺管线之类的部件的温度。这可以包括连接到适当检测电路的热电偶。然而，每个这样的热电偶都是相对昂贵的器件。此外，每个热电偶都需要额外的接线和控制电路，其复杂性增加了安装成本。这些因素使得这种电气温度传感器不适合大量部署。此外，在将绝缘护套和/或加热护套施加于管线的情况下，这些可能会干扰传感器的部署和接线。在配电系统中，此类接线必须良好绝缘并被保护免受高压部件的影响。
[0006]替代的电子温度传感器件可以使用以下任何：热敏电阻、电阻温度检测器（RTD）和红外传感器。虽然其中一些可能比热电偶便宜，但它们仍然需要繁琐的布线和/或通信电路的额外费用。
[0007]还可以使用诸如恒温器或毛细管探针之类的机械开关指示器来检测温度。然而，这些通常只给出低分辨率读数，并且在监测和中继到监测器件方面有其他难题。
[0008]需要用于测量用于半导体加工设备的支持系统的部件温度的改善的布置，所述支持系统诸如工艺管线和配电系统。
communication）；壳体；电绝缘垫，电绝缘垫将天线与部件隔开，以及电气零件，其电气联接到天线并被布置成远离部件。
[0021]还提供了一种用于检测半导体设备的工艺管线温度的射频识别标签，该射频识别标签包括：天线，其被布置成与工艺管线处于热交换；电绝缘垫，电绝缘垫将天线与工艺管线隔开；以及电气零件，其电气联接到天线并被布置成远离工艺管线。
[0022]还提供了一种用于检测配电系统的部件的温度的射频识别标签，该射频识别标签包括：天线，其被布置成与部件处于热交换；电绝缘垫，电绝缘垫将天线与部件隔开；以及电气零件，其电气联接到天线并被布置成远离部件。
[0023]天线、电绝缘垫和电气零件可以装在壳体中。壳体可以是聚酰亚胺壳体。电绝缘垫可以是导热的电绝缘体。电绝缘垫可以在部件与射频识别标签的电气零件之间提供良好的导热性。
[0024]电气零件可以通过通信导线与天线隔开。电气零件可以布置在RFID标签的尾部内。
[0025]绝缘垫可以是电绝缘且导热的垫。这样的垫可以由填有氮化硼或氮化铝的环氧树脂或硅橡胶形成。例如，氮化铝具有高达285W/mK的热导率，但它是一种半导体。这与众所周知的金属热导体（如具有385W/mK的热导率的铜）相比很好。
[0026]RFID标签可以内置在用于管线的加热垫中，加热垫被布置成固定到排气管线。加热垫可以是电绝缘垫。电绝缘垫可以是加热垫的一部分，加热垫包含加热元件。加热元件可以包括电热丝。天线和电气零件可以装在壳体中。壳体可以是聚酰亚胺壳体。
[0027]射频识别标签还可以包括用于将绝缘垫附加（affix）到部件的胶垫。胶垫可以包括热胶带。例如，3M
®
8810导热胶带，其被设计用于在发热部件和附加到其的零件之间提供优先的热传递路径。
[0028]射频识别标签可以是无源标签、有源标签或电池辅助的无源标签中的一种。
[0029]射频识别标签可以包括用于存储序列号的存储器，序列号在射频识别标签被询问时由射频识别标签发射。
[0030]在安装射频识别标签时，记录射频识别标签的序列号和安装位置，以便随后获得温度读数时可以确定该温度读数的位置。
[0031]电绝缘垫可以是在部件和射频识别标签的天线之间提供良好导热性的电绝缘体。射频识别标签还可以包括隔热层，隔热层将射频识别标签的电气零件与天线、电绝缘垫和部件隔开。
[0032]还提供了一个或多个程序，其被布置成使得当由计算机系统或一个或多个处理器执行时，该一个或多个程序使计算机系统或所述一个或多个处理器根据本文描述的方法进行操作。
[0033]还提供了一种机器可读存储介质，其存储本文描述的程序或所述多个程序中的至少一个。
附图说明
[0034]图1示出了要确定其温度的示例部件；图2A、2B和2C示出了用于检测部件温度的射频识别标签；
图3A、3B和3C示出了如本文描述的RFID标签的不同施加；图4示出了检测部件温度的方法；图5示出了用于检测部件温度的读取器；图6是示出配电系统的示意图（未按比例），包括如本文描述的温度检测布置；以及图7是示意图（未按比例），示出了结合有如本文描述的多个RFID标签的母线的详细视图。
[0035]全部附图仅用于图示目的，并非按比例绘制。
具体实施方式
[0036]RFID标签至少包含两部分：存储和处理信息以及调制和解调射频（RF）信号的集成电路；以及用于接收和发射信号的天线。标签信息存储在作为集成电路一部分的非易失性存储器中。读取器发射编码的无线电信号以询问标签。RFID标签接收消息，然后以其唯一序列号进行响应。由于标签具有单独的序列号，因此RFID系统设计可以区分可能在RFID读取器天线范围内的多个标签并同时读取它们。
[0037]射频识别标签包括电连接到天线的集成电路。该集成电路包括用于存储诸如序列号之类的信息的存储器部件以及用于发射和接收无线电信号的通信电路。
[0038]以不同方式为射频识别标签供能。无源标签包括从入射读取器信号收集DC功率的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种检测用于半导体加工设备的支持系统的部件的温度的方法，该方法包括：将射频识别标签施加于部件，射频识别标签具有序列号；用读取器读取射频识别标签，读取器被布置成读取射频识别标签的序列号并识别射频识别标签的谐振频率；以及将射频标签的谐振频率转换为射频识别标签的温度。2.根据权利要求1所述的方法，还包括：当射频识别标签施加于部件时，将射频识别标签的序列号和安装位置记录在数据库中；以及当随后获得温度读数时，通过在数据库中查找射频识别标签的序列号来确定该温度读数的位置。3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，部件的温度被确定为与射频识别标签的温度相同。4.根据权利要求1所述的方法，其中，部件是半导体加工设备的工艺管线。5.根据权利要求1所述的方法，其中，部件是用于向半导体加工设备提供电力的配电系统的电气部件。6.一种用于检测用于半导体加工设备的支持系统的部件的温度的读取器，该读取器包括：发射器，其被布置成将信号发射到附到部件的射频识别标签，射频识别标签具有序列号；接收器，其用于接收射频识别标签的序列号；读取器还被布置成识别射频识别标签的谐振频率；并且读取器还包括处理器，其被布置成将射频标签的谐振频率转换为射频识别标签的温度。7.根据权利要求6所述的读取器，还包括沿着工艺管线的长度布置的长读入天线，长读入天线连接到发射器和接收器中的至少一个。8.根据权利要求6或7所述的读取器，其中，读取器通过向射频识别标签发射一系列不同频率的信号并确定针对每个不同频率信号从射频识别芯片接收到的信号的信号强度来识别射频识别...

【专利技术属性】
技术研发人员：B，
申请(专利权)人：爱德华兹真空泵有限责任公司，
类型：发明
国别省市：