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提供了一种检测用于半导体加工设备的支持系统的部件的温度的方法，该方法包括：将射频识别标签施加于部件，射频识别标签具有序列号；用读取器读取射频识别标签，读取器被布置成读取射频识别标签的序列号并识别射频识别标签的谐振频率；以及将射频标签的谐振频...
该专利属于爱德华兹真空泵有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过爱德华兹真空泵有限责任公司授权不得商用。

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