一种电子束高精度镀膜设备制造技术

本发明专利技术公开了一种电子束高精度镀膜设备,包括框体，设置在所述框体内部的支架，以及设置在所述支架上的轮换支架，用于放置切换不同种类的蒸发坩埚组件，所述轮换支架包括安装在支架上可转动的安装轴，所述安装轴上固定连接有转盘，以及设置在所述转盘上环形分布的安装块，所述安装块通过第一销轴与转盘转动连接，且所述安装块上设置有蒸发坩埚，本发明专利技术通过设置在支架上的轮换支架，一方面，即完成了蒸发坩埚的圆周切换工作，另一方面，蒸发坩埚在转动过程中始终处于水平状态，即不影响电子束高精度镀膜过程，从而便于生产不同加工需求的金属氧化膜，使用范围大大提高。使用范围大大提高。使用范围大大提高。

【技术实现步骤摘要】
一种电子束高精度镀膜设备


[0001]本专利技术涉及镀膜
，具体的说，涉及一种电子束高精度镀膜设备。

技术介绍

[0002]电子束蒸发是将镀膜材料放入水冷铜坩埚中，用高能密度的电子束轰击镀膜材料而使其蒸发的一种方法。蒸发源由电子发射源、电子加速电源、坩埚(通常是铜坩埚)磁场线圈、冷却水套等组成。在该装置中，被加热的物质放置于水冷的坩埚中，电子束只轰击其中很少的一部分物质，其余的大部分物质在坩埚的冷却作用下一直处于很低的温度，可以看作被击部分的坩埚。因此，电子束加热蒸发的方法可以避免镀膜材料和蒸发源材料之间的污染。
[0003]现有的电子束高精度镀膜设备结构单一，无法生产不同加工需求的金属氧化膜，使用范围狭小。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的在于克服上述传统技术的不足之处，提供一种电子束高精度镀膜设备，完成蒸发坩埚的圆周切换工作，并且使蒸发坩埚在转动过程中始终处于水平状态，在不影响电子束高精度镀膜的过程中，便于生产不同加工需求的金属氧化膜，使用范围大大提高。
[0005]本专利技术的目的是通过以下技术措施来达到的：一种电子束高精度镀膜设备，其特征在于：包括框体，所述框体侧面连接有充气组件，所述框体内固定连接有支架，所述支架连接有轮换支架，所述支架连接有蒸发坩埚组件，所述轮换支架包括安装轴，所述安装轴与支架转动连接，所述安装轴固定连接有转盘，所述转盘转动连接有多个安装块，多个所述安装块在转盘上呈环形分布设置，多个所述安装块上表面固定连接有蒸发坩埚，多个所述安装块转动连接有转动架，多个所述安装块远离蒸发坩埚的一端连接有用于坩埚冷却的冷却机构，所述转动架与支架转动连接，所述支架上转动连接有啮合传动机构，所述啮合传动机构用于安装轴转动，所述安装轴靠近支架的端部连接有进气组件，所述支架上固定连接有连接架，所述连接架上固定连接有滑轨，所述连接架固定连接有电极金属网，所述框体上表面连接有第一安装架，所述第一安装架连接有第一电动伸缩杆，所述第一电动伸缩杆的输出端固定连接有安装框，所述安装框转动连接有两个弧形板，所述弧形板下表面固定连接有第一密封垫，所述框体上表面连接有第二密封垫，所述第一密封垫与第二密封垫接触连接，所述第一安装架与安装框之间连接有齿轮啮合机构，所述弧形板内连接有用于膜输送的收放卷组件，所述框体内转动连接有转动轴，所述转动轴固定连接有电子束装置。
[0006]作为一种改进：所述啮合传动机构包括齿轮盘，所述齿轮盘与安装轴固定连接，所述齿轮盘外圈固定连接有轮齿，所述支架固定连接有电机，所述电机输出端固定连接有驱动齿，所述驱动齿与轮齿之间啮合连接。
[0007]作为一种改进：所述进气组件包括安装套，所述安装套与支架固定连接，所述安装套上连接有进气口，所述安装轴端部连接有延伸辊，所述延伸辊连接有进气管，所述进气管靠近进气口的一端为L型进气管，所述进气管的一端与进气口连接，所述进气管另一端与蒸发坩埚连接。
[0008]作为一种改进：所述冷却机构包括活塞套，所述活塞套与安装块侧面固定连接，所述活塞套滑动连接有活塞柱，所述活塞柱一端连接有限位件，所述限位件远离活塞柱一端活动连接有滚轮，所述滚轮与滑轨滑动连接，所述活塞柱套接有弹簧，所述弹簧一端与限位件固定连接，所述弹簧另一端与活塞套固定连接，所述活塞套与蒸发坩埚之间连接有导管。
[0009]作为一种改进：所述齿轮啮合机构包括齿条，所述弧形板外侧固定连接有齿牙，所述齿条与齿牙啮合连接。
[0010]作为一种改进：所述充气组件包括固定板，所述固定板与框体侧面固定连接，所述固定板上表面固定连接有真空泵，所述真空泵输出端连接有连接管的一端，所述连接管的另一端与弧形板连接。
[0011]作为一种改进：所述收放卷组件包括第二安装架，所述第二安装架与安装框固定连接，所述第二安装架均与两个弧形板转动连接，所述第二安装架固定连接有镀膜辊，所述第二安装架上表面滑动连接有两个安装件，两个所述安装件转动连接有收放卷辊。
[0012]所述第二安装架固定连接有两个第二电动伸缩杆，两个所述第二电动伸缩杆输出端均与安装件固定连接，所述第二安装架连接有两个辅助辊。
[0013]作为一种改进：所述电极金属网和等离子体辅助镀膜系统电性连接，所述镀膜辊与等离子体辅助镀膜系统电性连接。
[0014]与现有技术相比，本专利技术的有益效果如下：轮换支架使得安装块所在的蒸发坩埚始终保持水平状态做圆周运动，一方面，即完成了蒸发坩埚的圆周切换工作，另一方面，蒸发坩埚在转动过程中始终处于水平状态，即不影响电子束高精度镀膜过程，从而便于生产不同加工需求的金属氧化膜，使用范围大大提高。
[0015]当安装轴所在的转盘转动带动蒸发坩埚的进行圆周工作切换时，对应位置的进气管与进气口接通，便可实现对应不同位置的蒸发坩埚通入不同的气体，进一步提高了其使用范围。
[0016]冷却机构使得活塞柱压缩活塞套内部的冷却液，进而使得冷却液进入蒸发坩埚内部的冷却腔，此位置便可完成坩埚冷却处理，当此位置工作结束，转盘继续转动，此时的滚轮脱离滑轨，在弹簧的弹力作用下，活塞套内部负压，此时冷却液再次回到活塞套内部，便可实现冷却液的循环冷却使用。
[0017]在齿轮啮合机构的作用下，当第一电动伸缩杆向下伸缩运动时，即可实现的密封过程，同理，向上即可实现开合，通过两个弧形板的开合过程，一方面，实现了为框体提高真空密闭环境，另一方面，方便对完成镀膜后产品进行取拿，进一步提高了工作效率。
附图说明
[0018]图1为本专利技术的立体结构示意图。
[0019]图2为本专利技术的侧视结构示意图。
[0020]图3为本专利技术的C
‑
C的剖面结构示意图。
[0021]图4为本专利技术的内部结构示意图。
[0022]图5为图4中齿轮盘的立体结构示意图。
[0023]图6为图4中转动架的立体结构示意图。
[0024]图7为图1中弧形板的内部结构示意图。
[0025]图8为图4的侧视结构示意图。
[0026]图9为图4的正视结构示意图。
[0027]图10为本专利技术的A处放大结构示意图。
[0028]图11为本专利技术的B处放大结构示意图。
[0029]图中：1、框体；2、真空泵；3、固定板；4、弧形板；5、齿条；6、第一安装架；7、第一电动伸缩杆；8、齿牙；9、第一密封垫；10、连接管；11、第二密封垫；12、安装框；13、电极金属网；14、连接架；15、滑轨；16、支架；17、转动架；18、蒸发坩埚；19、安装块；21、安装轴；22、转盘；24、齿轮盘；25、轮齿；26、驱动齿；27、电机；28、限位件；29、滚轮；30、弹簧；31、活塞柱；32、活塞套；33、导管；34、第二安装架；35、收放卷辊；36、辅助辊；37、第二电动伸缩杆；38、安装件；39、转动轴；40、电子束装置；41、镀膜辊；42、延伸辊；43、安装套；44、进气管；45、进气口。
具体实施方式
[003本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电子束高精度镀膜设备，其特征在于：包括框体（1），所述框体（1）侧面连接有充气组件，所述框体（1）内固定连接有支架（16），所述支架（16）连接有轮换支架，所述支架（16）连接有蒸发坩埚组件，所述轮换支架包括安装轴（21），所述安装轴（21）与支架（16）转动连接，所述安装轴（21）固定连接有转盘（22），所述转盘（22）转动连接有多个安装块（19），多个所述安装块（19）在转盘（22）上呈环形分布设置，多个所述安装块（19）上表面固定连接有蒸发坩埚（18），多个所述安装块（19）转动连接有转动架（17），多个所述安装块（19）远离蒸发坩埚（18）的一端连接有用于坩埚冷却的冷却机构，所述转动架（17）与支架（16）转动连接，所述支架（16）上转动连接有啮合传动机构，所述啮合传动机构用于安装轴（21）转动，所述安装轴（21）靠近支架（16）的端部连接有进气组件，所述支架（16）上固定连接有连接架（14），所述连接架（14）上固定连接有滑轨（15），所述连接架（14）固定连接有电极金属网（13），所述框体（1）上表面连接有第一安装架（6），所述第一安装架（6）连接有第一电动伸缩杆（7），所述第一电动伸缩杆（7）的输出端固定连接有安装框（12），所述安装框（12）转动连接有两个弧形板（4），所述弧形板（4）下表面固定连接有第一密封垫（9），所述框体（1）上表面连接有第二密封垫（11），所述第一密封垫（9）与第二密封垫（11）接触连接，所述第一安装架（6）与安装框（12）之间连接有齿轮啮合机构，所述弧形板（4）内连接有用于膜输送的收放卷组件，所述框体（1）内转动连接有转动轴（39），所述转动轴（39）固定连接有电子束装置（40）。2.根据权利要求1所述的一种电子束高精度镀膜设备，其特征在于：所述啮合传动机构包括齿轮盘（24），所述齿轮盘（24）与安装轴（21）固定连接，所述齿轮盘（24）外圈固定连接有轮齿（25），所述支架（16）固定连接有电机（27），所述电机（27）输出端固定连接有驱动齿（26），所述驱动齿（26）与轮齿（25）之间啮合连接。3.根据权利要求1所述的一种电子束高精度镀膜设备，其特征在于：所述进气组件包括安装套（43），所述安装套（43）与支架（16）固定连接，所述安装套（43）上连接有进气口（45），所述安装轴（21...

【专利技术属性】
技术研发人员：孟凡杰，
申请(专利权)人：怡通科技有限公司，
类型：发明
国别省市：