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本发明公开了一种电子束高精度镀膜设备,包括框体，设置在所述框体内部的支架，以及设置在所述支架上的轮换支架，用于放置切换不同种类的蒸发坩埚组件，所述轮换支架包括安装在支架上可转动的安装轴，所述安装轴上固定连接有转盘，以及设置在所述转盘上环形分...
该专利属于怡通科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过怡通科技有限公司授权不得商用。

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