一种半导体高效蒸发台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种半导体高效蒸发台，其包括：蒸发台基体、第一固定板、第二固定板、立柱、挡板、挡板驱动装置和刮板，所述立柱设置在蒸发台基体中并对称分布在坩埚的前方或者后方，所述第一固定板分别设置在立柱上，所述第一固定板底部分别设置有沿蒸发台基体的宽度方向水平延伸的滑轨，所述挡板连接在两侧的滑块之间并位于坩埚开口上方，所述刮板设置在两侧的第二固定板之间，所述刮板顶部设置有与挡板底面接触的刀刃。本实用新型专利技术所述的半导体高效蒸发台，挡板在坩埚加热初期进行覆盖，接收杂质，并在后退的过程中通过刮板实现挡板底面杂质的清理，减少了人工维护的耗时问题，提升了生产效率。升了生产效率。升了生产效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体高效蒸发台


[0001]本技术涉及半导体生产设备领域，尤其涉及一种半导体高效蒸发台。

技术介绍

[0002]蒸发台是半导体元件硅片生产的重要设备，利用电子束加热坩埚中的金属颗粒，使其蒸发撞击到硅片表面，在硅片凝结，形成金属薄膜。
[0003]金属颗粒的纯净度决定了金属薄膜的质量，如果金属颗粒含有杂质，加热后杂质容易蒸发并转移至硅片表面，影响了硅片的质量。在实际生产过程中，加热初期可以利用挡板进行坩埚开口的覆盖，使得杂质和部分金属蒸发到挡板底面，进行杂质的收集，减少杂质蒸发到上方硅片的问题，但是挡板的操作不便，影响了蒸发台的工作效率，而且杂质和部分金属蒸发到挡板后，难以清理，影响了后续的使用，杂质堆积在挡板底面还容易对后续坩埚中的金属造成二次污染，需要进行改进。

技术实现思路

[0004]本技术的目的在于提供一种半导体高效蒸发台，实现挡板的前后驱动和杂质的自动清理，提升生产和维护工作效率。
[0005]为达此目的，本技术采用以下技术方案：
[0006]一种半导体高效蒸发台，包括：蒸发台基体、第一固定板、第二固定板、立柱、挡板、挡板驱动装置和刮板，所述蒸发台基体中设置有坩埚，所述立柱设置在蒸发台基体中并对称分布在坩埚的前方或者后方，所述第一固定板分别设置在立柱上，所述第一固定板底部分别设置有沿蒸发台基体的宽度方向水平延伸的滑轨，所述滑轨上设置有滑块，所述挡板连接在两侧的滑块之间并位于坩埚开口上方，所述第二固定板设置在立柱上并位于第一固定板的下方，所述刮板设置在两侧的第二固定板之间，所述刮板顶部设置有与挡板底面接触的刀刃，所述挡板驱动装置设置在其中一个第一固定板上进行挡板的前后驱动。
[0007]其中，所述蒸发台基体中设置有杂质收集盒，所述杂质收集盒位于刮板下方。
[0008]其中，所述挡板一侧设置有齿条，所述挡板驱动装置包括电机和齿轮，所述齿轮设置在电机的转轴上并与齿条相啮合。
[0009]其中，所述电机竖向设置在第一固定板上。
[0010]其中，所述挡板采用陶瓷平板。
[0011]其中，所述立柱上设置有位于第一固定板上方和下方的第一螺母，所述立柱上设置有一段与第一螺母对应的外螺纹，
[0012]其中，所述外螺纹上设置有位于第二固定板上方和下方的第二螺母。
[0013]本技术的有益效果：一种半导体高效蒸发台，特别设计了挡板驱动装置，可以进行挡板的前后移动，使得挡板在坩埚加热初期进行覆盖，接收杂质，然后正常生产时后退，自动化程度高，并在后退的过程中通过刮板实现挡板底面杂质的清理，减少了人工维护的耗时问题，提升了生产效率。
附图说明
[0014]图1是本技术的结构示意图。
具体实施方式
[0015]下面结合图1并通过具体实施例来进一步说明本技术的技术方案。
[0016]如图1所示的半导体高效蒸发台，包括：蒸发台基体1、第一固定板3、第二固定板11、立柱9、挡板2、挡板驱动装置和刮板6，所述蒸发台基体1中设置有坩埚8，利用电子束加热坩埚8中的金属颗粒，使其蒸发撞击到上方的硅片表面。
[0017]在本实施例中，所述立柱9设置在蒸发台基体1中并对称分布在坩埚8的前方，如图1所示，蒸发台基体1中设置有位于坩埚8下方的支架5，立柱9可以固定在支架5上，可以通过焊接或者螺丝方式固定，结构稳定。
[0018]所述第一固定板3分别设置在立柱9上，在本实施例中，所述立柱9上设置有位于第一固定板3上方和下方的第一螺母14，所述立柱9上设置有一段与第一螺母14对应的外螺纹，方便进行第一固定板3的升降调节与固定。
[0019]所述第一固定板3底部分别设置有沿蒸发台基体1的宽度（前后）方向水平延伸的滑轨12，所述滑轨12上设置有滑块4，所述挡板2连接在两侧的滑块4之间并位于坩埚8开口上方，通过挡板2的后移进行坩埚8开口的覆盖，坩埚加热初期，利用挡板2底面接收杂质。正常蒸发生产时，挡板2需要进行前移避让。在本实施例中，所述挡板2采用陶瓷平板，耐高温效果好，而且表面硬度高，耐磨性好。
[0020]所述挡板驱动装置设置在其中一个第一固定板上进行挡板2的前后驱动。在本实施例中，所述挡板2一侧设置有齿条16，所述挡板驱动装置包括电机15和齿轮10，所述电机15竖向设置在第一固定板3上，所述齿轮10设置在电机15的转轴上并与齿条16相啮合，通过控制器进行电机15的正反转控制，实现齿轮10对齿条16的前后驱动，自动化程度高。
[0021]所述第二固定板11设置在立柱9上并位于第一固定板3的下方，在本实施例中，所述外螺纹上设置有位于第二固定板11上方和下方的第二螺母13，进行第二固定板11的高度调节与固定。
[0022]所述刮板6设置在两侧的第二固定板11之间，所述刮板6顶部设置有与挡板2底面接触的刀刃，挡板2前移复位时，通过刮板6进行挡板2底面杂质的自动清理。
[0023]为了提升维护便利性，在所述蒸发台基体1中设置有杂质收集盒7，在本实施例中，所述杂质收集盒7位于刮板6下方，刮板6将挡板2底面的杂质刮除后，杂质落入下方的杂质收集盒7，方便集中和处理。
[0024]以上内容仅为本技术的较佳实施例，对于本领域的普通技术人员，依据本技术的思想，在具体实施方式及应用范围上均会有改变之处，本说明书内容不应理解为对本技术的限制。
本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种半导体高效蒸发台，其特征在于，包括：蒸发台基体、第一固定板、第二固定板、立柱、挡板、挡板驱动装置和刮板，所述蒸发台基体中设置有坩埚，所述立柱设置在蒸发台基体中并对称分布在坩埚的前方或者后方，所述第一固定板分别设置在立柱上，所述第一固定板底部分别设置有沿蒸发台基体的宽度方向水平延伸的滑轨，所述滑轨上设置有滑块，所述挡板连接在两侧的滑块之间并位于坩埚开口上方，所述第二固定板设置在立柱上并位于第一固定板的下方，所述刮板设置在两侧的第二固定板之间，所述刮板顶部设置有与挡板底面接触的刀刃，所述挡板驱动装置设置在其中一个第一固定板上进行挡板的前后驱动。2.根据权利要求1所述的半导体高效蒸发台，其特征在于，所述蒸发台基体中设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：严建华，周炳，
申请(专利权)人：德兴市意发功率半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：