包含调制器维护单元的电路检验系统技术方案

本公开涉及一种包含调制器维护单元的电路检验系统。本公开的一种用于检验电路的系统包括：卡盘，其经配置以支撑所述电路；调制器，其经配置以可在所述卡盘上方移动并定位在所述电路上方以检测所述电路中的缺陷；以及调制器维护单元，其包括以下各项中的至少一者：清洁构件，其用于从所述调制器的表面移除外来物质；及检测构件，其用于检测所述调制器的所述表面的平面度，其中所述调制器可移动以定位成邻近于所述调制器维护单元。邻近于所述调制器维护单元。邻近于所述调制器维护单元。

【技术实现步骤摘要】
包含调制器维护单元的电路检验系统


[0001]本公开涉及一种包含调制器维护单元的电路检验系统。

技术介绍

[0002]液晶显示器(LCD)面板合并有展现电场相关光调制性质的液晶。所述液晶显示器面板频繁用于在范围从传真机、膝上型计算机屏幕到大屏幕高分辨率TV的各种装置中显示图像及其它信息。有源矩阵LCD面板是由数个功能层组成的复杂层式结构：偏光膜；合并有薄膜晶体管、存储电容器、像素电极及互连布线的TFT玻璃衬底；合并有黑色矩阵及滤色器阵列以及透明共用电极的滤色器玻璃衬底；由聚酰亚胺制成的定向膜；以及合并有塑料/玻璃间隔件以维持适当LCD单元厚度的真实液晶材料。
[0003]LCD及OLED面板是在洁净室环境中高度受控条件下制造的以最大化合格率。尽管如此，由于制造缺陷，许多LCD及OLED面板不得不被丢弃。
[0004]如上所述，为了提高复杂电子装置的生产合格率，各种检验阶段经执行以便识别在制作过程的各个阶段期间可能出现的各种缺陷。前述检验阶段可在制作阶段之间或者在整个制作过程完成之后执行。前述检验过程的一个实例是测试LC及OLED显示器中所使用的TFT阵列的电缺陷。各种检验装置用于执行前述测试。可用于此目的的示范性装置包含可从澳宝有限公司(Orbotech Ltd)商购获得的阵列检查器。

技术实现思路

[0005]用于解决问题的手段
[0006]根据本公开的一或多个实施例，可提供一种用于检验电路的系统，所述系统包括：卡盘，其经配置以支撑所述电路；调制器，其经配置以可在所述卡盘上方移动并定位在所述电路上方以检测所述电路中的缺陷；以及调制器维护单元，其包括以下各项中的至少一者：清洁构件，其用于从所述调制器的表面移除外来物质；及检测构件，其用于检测所述调制器的所述表面的平面度，其中所述调制器可移动以定位成邻近于所述调制器维护单元。
[0007]在一个实施例中，所述调制器可经配置以在以下各阶段定位成邻近于所述调制器维护单元：i)在所述电路的检验开始之前；ii)在所述电路的所述检验完成之后；或者iii)在所述电路的检验操作期间。
[0008]在一个实施例中，所述清洁构件可包括一或多个气刀。
[0009]在一个实施例中，所述检测构件可包括具有激光发射单元及激光接收单元的一或多个激光传感器。
[0010]在一个实施例中，所述激光发射单元可经配置以在平行于所述调制器的所述表面的方向上发射激光，所述调制器定位在所述激光发射单元与所述激光接收单元之间，且从所述激光发射单元发射的所述激光可与所述调制器的所述表面部分地重叠。
[0011]在一个实施例中，所述激光接收单元可经配置以根据所述调制器的水平移动而检测激光的强度的改变，所述调制器定位在所述激光发射单元与所述激光接收单元之间。
[0012]在一个实施例中，所述系统可进一步包括控制单元，所述控制单元用于基于所述激光接收单元检测到的所述激光的所述强度的所述改变而确定在所述调制器的所述表面上是否存在以下各项中的至少一者：突起及凹槽。
[0013]在一个实施例中，如果所述控制单元已确定在所述调制器的所述表面上存在所述突起，那么所述系统可经配置以通过所述清洁构件从所述调制器的所述表面移除外来物质。
[0014]在一个实施例中，如果所述控制单元已确定在所述调制器的所述表面上存在以下各项中的至少一者：所述突起及所述凹槽，那么所述系统可经配置以通过所述控制单元产生异常信号。
[0015]在一个实施例中，所述调制器维护单元可包括所述清洁构件及所述检测构件，且所述调制器维护单元可经配置以在所述调制器定位成邻近于所述调制器维护单元时同时执行通过所述清洁构件的清洁操作及通过所述检测构件的检测操作。
[0016]在一个实施例中，所述调制器维护单元可包括所述清洁构件，并且进一步包括用于抽吸通过所述清洁构件从所述调制器的所述表面移除的所述外来物质的抽吸构件。
[0017]在一个实施例中，所述调制器维护单元可包括两个清洁构件，且所述抽吸构件位于所述两个清洁构件之间。
[0018]在一个实施例中，所述调制器维护单元可布置在所述卡盘的侧上。
[0019]在一个实施例中，所述调制器维护单元可布置在所述卡盘的侧当中所述卡盘的邻近于所述检验系统的前面部分的一个侧上。
[0020]在一个实施例中，所述调制器维护单元可布置在所述卡盘的侧当中所述卡盘的邻近于所述检验系统的后面部分的一个侧上。
[0021]在一个实施例中，所述调制器维护单元可布置在所述卡盘的侧当中所述卡盘的邻近于所述调制器开始检验所述电路的点的一个侧上。
附图说明
[0022]所属领域的技术人员可通过参考附图更好地理解本公开的众多优点，在附图中：
[0023]图1是根据本公开的一或多个实施例的图解说明检验系统100的概念性视图。
[0024]图2是根据本公开的一或多个实施例的图解说明电光传感器单元30的概念性视图。
[0025]图3是根据本公开的一或多个实施例的图解说明调制器维护单元50的概念性视图。
[0026]图4示意性地描绘根据本公开的一或多个实施例的通过检测构件52来检测调制器31的表面的平面度的操作。
[0027]图5是根据本公开的一或多个实施例的图解说明检验系统100
’
的概念性视图。
[0028]图6是根据本公开的一个实施例的展示通过调制器维护单元的检测构件来检测调制器的表面状态的结果的图表。
[0029]图7是根据本公开的一个实施例的展示通过调制器维护单元的检测构件来检测另一调制器的表面状态的结果的图表。
[0030]图8是根据本公开的一或多个实施例的图解说明调制器维护单元50
’
的概念性视
图。
具体实施方式
[0031]现将详细参考在附图中图解说明的所公开标的物。特定来说，已关于本公开的某些实施例及特定特征展示及描述本公开。本文中所陈述的实施例是说明性的而不是限制性的。对所属领域的技术人员来说，显而易见的是，在不脱离本公开的精神及范围的情况下，可在形式及细节上进行各种改变及修改。
[0032]现参考图1到8，更详细描述根据本公开的一或多个实施例的检验系统100。
[0033]图1是根据本公开的一或多个实施例的图解说明检验系统100的概念性视图。
[0034]图1中所图解说明检验系统100可经配置以使用电光传感器单元(调制器)来检验电路。举例来说，检验系统100可用于检验平板显示器的电路，但不限于此，并且所述检验系统可用于检验衬底上任何适合类型的电路。
[0035]检验系统100可包括底盘，举例来说，自动化平板显示器检验系统(例如可从澳宝有限公司商购获得的阵列检查器系统等)的底盘10。为了保持大面积内的刚度，例如花岗岩、聚合物铸件、钢或碳纤维等材料可用于检验系统100的底盘10。
[0036]检验系统100可包括支撑玻璃片的卡盘20(其也可称为衬底或本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种用于检验电路的系统，其包括：卡盘，其经配置以支撑所述电路；调制器，其经配置以能够在所述卡盘上方移动并定位在所述电路上方以检测所述电路中的缺陷；以及调制器维护单元，其包括以下各项中的至少一者：清洁构件，其用于从所述调制器的表面移除外来物质；及检测构件，其用于检测所述调制器的所述表面的平面度，其中所述调制器能够移动以定位成邻近于所述调制器维护单元。2.根据权利要求1所述的系统，其中所述调制器经配置以在以下各阶段定位成邻近于所述调制器维护单元：i)在所述电路的检验开始之前；ii)在所述电路的所述检验完成之后；或者iii)在所述电路的检验操作期间。3.根据权利要求1所述的系统，其中所述清洁构件包括一或多个气刀。4.根据权利要求1所述的系统，其中所述检测构件包括具有激光发射单元及激光接收单元的一或多个激光传感器。5.根据权利要求4所述的系统，其中所述激光发射单元经配置以在平行于所述调制器的所述表面的方向上发射激光，所述调制器定位在所述激光发射单元与所述激光接收单元之间，且从所述激光发射单元发射的所述激光与所述调制器的所述表面部分地重叠。6.根据权利要求4所述的系统，其中所述激光接收单元经配置以根据所述调制器的水平移动而检测激光的强度的改变，所述调制器定位在所述激光发射单元与所述激光接收单元之间。7.根据权利要求6所述的系统，其进一步包括：控制单元，其用于基于所述激光接收单元检测到的所述激光的所述强度的所述改变而确定在所述调制器的所述表面上是否存在以下各项中的至少一者：突起及凹槽。8.根据权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：李相庆，李熙春，孙强，
申请(专利权)人：奥宝科技有限公司，
类型：发明
国别省市：