传感器和电子装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供能够提高精度的传感器和电子装置。根据实施方式，传感器包括传感器部。所述传感器部包括支承部和可动部。所述可动部包括在第1平面中绕所述支承部设置的可动部件、以及设置于所述支承部与所述可动部件之间并将所述可动部件与所述支承部相连的弯折状的多个结构部件。所述可动部件能振动。所述可动部是以所述支承部为中心的旋转对称。所述可动部具有多个镜像对称面。所述多个镜像对称面通过所述旋转对称的中心并与所述第1平面相交叉。所述旋转对称的中心并与所述第1平面相交叉。所述旋转对称的中心并与所述第1平面相交叉。

【技术实现步骤摘要】
传感器和电子装置
[0001]本申请以日本专利申请2021
‑
029719号(申请日：2021年2月26日)为基础，从该申请享有优先的利益。本申请通过参照该申请而包括该申请的所有内容。


[0002]本专利技术的实施方式涉及传感器和电子装置。

技术介绍

[0003]存在陀螺仪传感器等传感器。在传感器和电子装置中，希望提高检测精度。

技术实现思路

[0004]本专利技术的实施方式提供能提高精度的传感器和电子装置。
[0005]用于解决课题的手段
[0006]根据本专利技术的实施方式，传感器包括传感器部。所述传感器部包括支承部和可动部。所述可动部包括在第1平面中绕所述支承部设置的可动部件、以及设置于所述支承部与所述可动部件之间并将所述可动部件与所述支承部连接的弯折状的多个结构部件。所述可动部件能振动。所述可动部以所述支承部为中心而为旋转对称。所述可动部具有多个镜像对称面(镜面)。所述多个镜像对称面通过所述旋转对称的中心并与所述第1平面相交叉。
[0007]根据上述构成的传感器，能够提供能提高精度的传感器和电子装置。
附图说明
[0008]图1是例示出第1实施方式的传感器的示意性的俯视图。
[0009]图2是例示出第1实施方式的传感器的示意性的俯视图。
[0010]图3是例示出第1实施方式的传感器的示意性的俯视图。
[0011]图4是例示出第1实施方式的传感器的示意性的俯视图。
[0012]图5是例示出第1实施方式的传感器的示意性的俯视图。
[0013]图6是例示出第2实施方式的电子装置的示意图。
[0014]图7(a)～图7(h)是例示出电子装置的应用的示意图。
[0015]【标号说明】
[0016]10U
…
传感器部、10s
…
基体、11a～11h
…
第1～第8电极、13a～13h
…
第1～第8调整电极、14
…
固定部、14p
…
突起部、18
…
支承部、18c
…
中心、31a～31h
…
第1～第8相对向部、32
…
结构部件、32a～32l
…
第1～第12结构部件、33a～33h
…
第1～第8调整相对向部、34
…
固定相对向部、34p
…
突起部、38
…
可动部、38M
…
可动部件、70
…
电路部、110、111、120、130
…
传感器、170
…
电路控制部、180
…
电路、185
…
驱动装置、210
…
传感器装置、310
…
电子装置、D1、D2
…
第1、第2方向、La1～La6
…
第1～第6镜像对称面、R1
…
电路、R1～R8
…
第1～第8电阻、R1～R8
…
电阻、S1
…
信号
具体实施方式
[0017]以下，参照附图，对本专利技术的各实施方式进行说明。
[0018]附图是示意性的或概念性的，各部分的厚度与宽度的关系、部分之间的大小的比率等不一定与实际的相同。即使在表示相同的部分的情况下，有时根据附图也表现出相互的尺寸、比率不同。
[0019]在本申请说明书和各图中，对与关于已出现的附图进行了阐述的要素同样的要素赋予相同的标号并适当省略详细的说明。
[0020](第1实施方式)
[0021]图1是例示出第1实施方式的传感器的示意性的俯视图。
[0022]如图1所示，实施方式的传感器110包括传感器部10U。传感器110也可以包括电路部70。传感器部10U包括支承部18和可动部38。
[0023]可动部38包括可动部件38M和弯折状的多个结构部件32。可动部件38M在第1平面中绕支承部18设置。第1平面例如是X
‑
Y平面。将沿着X
‑
Y平面的一个方向作为X轴方向。将沿着X
‑
Y平面且相对于X轴方向垂直的方向作为Y轴方向。将相对于X
‑
Y平面垂直的方向作为Z轴方向。
[0024]多个结构部件32设置于支承部18与可动部件38M之间。在本例中，多个结构部件32例如包括第1～第8结构部件32a～32h。多个结构部件32分别是弯折状。多个结构部件32分别例如包括折返部。多个结构部件32分别例如是迂回状。弯折状的多个结构部件32的一个包括折返部。多个结构部件32将可动部件38M与支承部18相连。多个结构部件32例如是弹簧结构体。
[0025]可动部件38M是环状。可动部件38M能振动。如后所述，根据施加于传感器部10U的旋转的力，可动部件38M的振动的状态变化。通过检测振动的状态的变化，能够检测出旋转的力。传感器110例如是陀螺仪传感器。
[0026]如图1所示，可动部38是以支承部18为中心的旋转对称。支承部18包括X
‑
Y平面中的中心18c。可动部38是以支承部18的中心18c为中心的旋转对称。可动部38的旋转对称的中心与支承部18的中心18c相对应。
[0027]可动部38是n重旋转对称。“n”例如是3、4或6。在本例中，可动部38是4重旋转对称。
[0028]可动部38具有多个镜像对称面。例如，可动部38在沿着Z轴方向观察时具有多个镜像对称面。在本例中，多个镜像对称面包括第1镜像对称面La1和第2镜像对称面La2。在本例中，多个镜像对称面还包括第3镜像对称面La3和第4镜像对称面La4。多个镜像对称面(第1镜像对称面La1、第2镜像对称面La2、第3镜像对称面La3和第4镜像对称面La4)通过旋转对称的中心(中心18c)。多个镜像对称面(例如第1镜像对称面La1和第2镜像对称面La2)与第1平面(X
‑
Y平面)相交叉。多个镜像对称面相互交叉。
[0029]多个结构部件32具有多个镜像对称面(第1镜像对称面La1和第2镜像对称面La2)。在本例中，包括第1结构部件32a和第2结构部件32b的区域为第1要素。包括第3结构部件32c和第4结构部件32d的区域为第2要素。包括第5结构部件32e和第6结构部件32f的区域为第3要素。包括第7结构部件32g和第8结构部件32h的区域为第4要素。
[0030]例如多个结构部件32的一个以通过可动部38的旋转对称的中心(中心18c)的放射方向(沿着X
‑
Y平面的一个方向)为轴而为非对称。例如，第1结构部件32a和第2结构部件32b
是镜面对称。
[0031]例如，对传感器部10U施加旋转的力。对第1结构部件32a施加了顺时针的本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种传感器，具有传感器部；所述传感器部包括支承部和可动部；所述可动部包括在第1平面中绕所述支承部设置的可动部件、以及设置于所述支承部与所述可动部件之间并将所述可动部件与所述支承部连接的弯折状的多个结构部件；所述可动部件能振动；所述可动部是以所述支承部为中心的旋转对称；所述可动部具有多个镜像对称面；所述多个镜像对称面通过所述旋转对称的中心并与所述第1平面相交叉。2.如权利要求1所述的传感器，所述可动部是n重旋转对称，所述n是3、4或6。3.如权利要求2所述的传感器，所述传感器部包括供所述支承部固定的基体；所述基体是n边形或2n边形。4.如权利要求1所述的传感器，所述传感器部还包括第1电极和第2电极；从所述旋转对称的所述中心向所述第1电极的方向沿着第1方向，所述第1方向沿着所述第1平面；从所述旋转对称的所述中心向所述第2电极的方向沿着第2方向，所述第2方向沿着所述第1平面，所述第2方向与所述第1方向相交叉。5.如权利要求4所述的传感器，所述多个结构部件的一个位于所述支承部与所述第1电极之间；所述多个结构部件的所述一个以所述第1方向...

【专利技术属性】
技术研发人员：平贺广贵，丸藤龙之介，富泽泰，宫崎史登，小野大骑，增西桂，小川悦治，
申请(专利权)人：株式会社东芝，
类型：发明
国别省市：