一种位移检测装置及方法制造方法及图纸

本申请公开了一种位移检测装置及方法，位移检测装置包括平台、第一位移台、第二位移台、位移台组件、第一检测组件、第二检测组件、电源和控制及运算模块，第一位移台沿第一方向运动，第二位移台沿第二方向运动，且压电陶瓷装载于第二位移台，第一检测组件检测通电后的压电陶瓷沿第一方向的位移，位移台组件沿第一方向和第三方向运动，第二检测组件检测通电后的压电陶瓷沿第三方向的位移，电源向压电陶瓷供电，控制及运算模块根据电源输出的电压值、第一检测组件检测到的位移、第二检测组件检测到的位移计算压电陶瓷的位移。上述位移检测装置可实现压电陶瓷在全行程下的测试，且结构简单，安装容易，具有操作简便、自动化程度高的特点。点。点。

【技术实现步骤摘要】
一种位移检测装置及方法


[0001]本申请涉及检测设备
，特别涉及一种位移检测装置及位移检测方法。

技术介绍

[0002]众所周知，压电陶瓷材料具有高分辨率、高响应频率、大推力等优点，其被广泛应用于航空航天、半导体、生物工程、精密检测及精密加工等领域。但同时由于压电陶瓷具有磁滞和蠕变等特性使其无法以开环形式应用于精密位移控制领域以及各种超精密平台上，因此需要对每个压电陶瓷进行位移测试。
[0003]根据逆压电效应(当沿压电陶瓷极化方向施加外部电场时，压电陶瓷在极化方向上伸长或缩小)，压电陶瓷是在直流激励作用下产生伸缩变化。压电陶瓷因制备工艺及成分比例差异所产生的最大行程不同，但其位移量均属于唯一小位移，甚至纳米尺寸变化。目前能够实现测量设备手段较少，主要有激光干涉仪、扫描隧道显微镜、原子力显微镜，但大部分压电陶瓷产品尺寸较小，设备安装困难，现有技术中的测量方式无法满足微小结构的压电陶瓷高精度测量。因此，本领域技术人员有必要适时提供一种能够满足压电陶瓷位移伸长量的高精度测量、且自动化程度高、操作简便的位移检测装置。
专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种位移检测装置，其特征在于，包括：平台；第一位移台，可活动地设于所述平台上，用于沿第一方向运动；第二位移台，可活动地设于所述平台上，用于沿第二方向运动，且用于装载压电陶瓷；第一检测组件，沿所述第一方向设于所述第一位移台上，用于检测通电后的压电陶瓷沿所述第一方向的位移；位移台组件，可活动地设于所述平台上，用于沿所述第一方向和第三方向运动；第二检测组件，沿所述第三方向设于所述位移台组件上，用于检测通电后的压电陶瓷沿所述第三方向的位移；电源，用于向压电陶瓷供电；控制及运算模块，连接所述第一位移台、所述第二位移台、所述位移台组件、所述第一检测组件、所述第二检测组件和所述电源，用于控制所述第一位移台、所述第二位移台、所述位移台组件运动，且用于根据所述电源输出的电压值、所述第一检测组件检测到的位移、所述第二检测组件检测到的位移计算压电陶瓷的位移。2.如权利要求1所述的位移检测装置，其特征在于，所述位移台组件包括：第三位移台，可活动地设于所述平台上，用于沿所述第一方向运动；第四位移台，可活动地设于所述第三位移台上，用于沿所述第三方向运动，且用于固定所述第二检测组件。3.如权利要求2所述的位移检测装置，其特征在于，还包括：第一驱动组件，连接所述第一位移台和所述控制及运算模块，用于根据所述控制及运算模块的指令驱动所述第一位移台沿所述第一方向运动；第二驱动组件，连接所述第二位移台和所述控制及运算模块，用于根据所述控制及运算模块的指令驱动所述第二位移台沿所述第二方向运动；第三驱动组件，连接所述第三位移台和所述控制及运算模块，用于根据所述控制及运算模块的指令驱动所述第三位移台沿所述第一方向运动；第四驱动组件，连接所述第四位移台和所述控制及运算模块，用于根据所述控制及运算模块的指令驱动所述第四位移台沿所述第三方向运动。4.如权利要求3所述的位移检测装置，其特征在于，所述控制及运算模块包括：上位机；控制器，连接所述上位机，用于根据所述上位机的指令控制所述第一位移台、所述第二位移台、所述第三位移台和所述第四位移台运动。5.如权利要求1所述的位...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨帛浩，王学亮，郭抗，魏凤龙，倪明阳，隋永新，杨怀江，
申请(专利权)人：长春国科精密光学技术有限公司，
类型：发明
国别省市：