温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请公开了一种位移检测装置及方法，位移检测装置包括平台、第一位移台、第二位移台、位移台组件、第一检测组件、第二检测组件、电源和控制及运算模块，第一位移台沿第一方向运动，第二位移台沿第二方向运动，且压电陶瓷装载于第二位移台，第一检测组件检测...
该专利属于长春国科精密光学技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过长春国科精密光学技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。