一种电磁驱动旋转探针及固定插座结构制造技术

本发明专利技术一种电磁驱动旋转探针及固定插座结构属于半导体测试技术领域；包括相互匹配的电磁驱动旋转探针结构和固定插座结构，电磁驱动旋转探针结构包括限位板，贯穿限位板成阵列分布的探针；探针与限位板之间设置有轴承；探针下方设置有凸起结构，探针在限位板上方设置有齿A，并配合设置有双侧齿条，双侧齿条两侧设置有缠有线圈的齿B；固定插座结构包括基板，设置在基板上的侧板和挡板，侧板侧壁设置有导电层，并通过导线穿过基板连接外部；本发明专利技术不仅同样能够降低探针与插座的对准难度，不易损坏探针，实现拆装过程可逆，有利于重复测试，同样能够解决大电流下探针之间放电而造成的短路问题，而且同在先申请专利相比，结构更简单，制作成本更低。作成本更低。作成本更低。

【技术实现步骤摘要】
一种电磁驱动旋转探针及固定插座结构


[0001]本专利技术一种电磁驱动旋转探针及固定插座结构属于半导体测试


技术介绍

[0002]芯片在封装前要进行测试。早期的方式是将探针与裸芯的焊盘或凸块相接触实现电连接，这种方式，对探针的平面度要求极高，否则，就会出现一些探针接触到裸芯，而另外一些探针与裸芯断路，无法测试的问题。
[0003]申请号为201711115635.6的专利技术专利《垂直式探针卡之探针装置》，涉及到了一种装针方法，该方法通过移动中间导板，使探针弯曲，利用弯曲程度可以不同，来确保探针与裸芯有效接触。然而，由于缺少对中间导板进行精密定位的结构，因此在移动中间导板时，非常容易造成探针弯曲程度超出弹性变形范围，即探针塑性变形不可恢复，进而出现装针拆针不可逆，无法反复拆装测试的问题。
[0004]为了不让探针弯曲，可以利用探针插入插座的结构来代替直接接触裸芯，而且，由于探针可以在侧面实现与插座的电连接，因此对平面度要求大幅降低。然而，随着MEMS技术的发展，探针尺寸已经达到微米级甚至亚微米级，在这样小的尺寸下，探针本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电磁驱动旋转探针及固定插座结构，包括相互匹配的电磁驱动旋转探针结构和固定插座结构，其特征在于，所述电磁驱动旋转探针结构包括限位板（1
‑
1），贯穿限位板（1
‑
1）并成阵列分布的探针（1
‑
2）；所述探针（1
‑
2）与限位板（1
‑
1）之间设置有轴承（1
‑
3），所述轴承（1
‑
3）的外圈与限位板（1
‑
1）过盈配合，所述轴承（1
‑
3）的内圈与探针（1
‑
2）过盈配合，探针（1
‑
2）能够以自身为轴旋转；探针（1
‑
2）下方设置有用于与插座结构电连的凸起结构（1
‑
4），在初始位置，所有探针（1
‑
2）的凸起结构（1
‑
4）均指向同一方向；探针（1
‑
2）在限位板（1
‑
1）上方设置有齿A（1
‑
5），在与齿A（1
‑
5）同平面上，设置有双侧齿条（1
‑
6），所述双侧齿条（1
‑
6）的两侧均设置有齿B（1
‑
7），所述齿B（1
‑
7）缠绕有线圈；所述固定插座结构包括基板（2
‑
1），设置在基板（2
‑
1）上的侧板（2
‑
2）和挡板（2
‑
3），所述侧板（2
‑
2）的侧壁设置有导电层（2
‑
4），所述导电层（2
‑
4）通过导线（2
‑
5）穿过基板（2
‑
1）连接外部；在所述初始位置，电磁驱动旋转探针向固定插座插入，探针（1
‑
2）与侧板（2
‑
2）和挡板（2
‑
3）均无接触。2.根据权利要求1所述的一种电磁驱动旋转探针及固定插座结构，其特征在于，每个探针（1
‑
2）的齿A（1
‑
5）均匀分布有四个，与每个探针（1
‑
2）相对应的齿B（1
‑
7）有六个，以2行3列的阵列形式分布，分别为齿B
‑
1、齿B
‑
2、齿B
‑
3、齿B
‑
4、齿B
‑
5和齿B
‑
6；其中，齿B
‑
1和齿B
‑
3对称分布在齿B
‑
2两侧，齿B
‑
4和齿B
‑
6对称分布在齿B
‑
...

【专利技术属性】
技术研发人员：金永斌，贺涛，丁宁，朱伟，
申请(专利权)人：法特迪精密科技苏州有限公司，
类型：发明
国别省市：