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本发明一种电磁驱动旋转探针及固定插座结构属于半导体测试技术领域;包括相互匹配的电磁驱动旋转探针结构和固定插座结构,电磁驱动旋转探针结构包括限位板,贯穿限位板成阵列分布的探针;探针与限位板之间设置有轴承;探针下方设置有凸起结构,探针在限位板上...该专利属于法特迪精密科技(苏州)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过法特迪精密科技(苏州)有限公司授权不得商用。
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