水箱推车制造技术

本实用新型专利技术提供一种水箱推车，其包括：用于浸泡机台部件的水箱本体以及脚轮组件；所述脚轮组件设置于所述水箱本体的底部；其中，所述水箱本体具有多个分隔区。如此配置，使用者能够利用脚轮组件将水箱本体移动至需要的位置，同时，多个分隔区的设置也使得水箱本体能够配置多种不同种类的清洗液，提高了水箱的清洗效率。洗效率。洗效率。

【技术实现步骤摘要】
水箱推车


[0001]本技术涉及半导体设备领域，尤其是一种水箱推车。

技术介绍

[0002]在EPI湿式洗涤器(EPI WET Scrubber)进行设备保养时，会拆卸管道和刮刀等部件，由于这些部件上吸附有含磷和氯的副产物，而含磷的部件在高温或者碰撞条件下发生爆燃，含氯的副产物易挥发成有害气体。目前业内的作法是将拆下来的部件放在水箱里浸泡，然后送外清洗或者报废处理。由于水箱体积约0.2立方米，重量约200kg。因此在设备保养期间无法移动水箱，且水箱使用完后的废水排放很不方便。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供一种水箱推车，以解决无法移动水箱，且水箱使用完后的废水排放不方便以及清洗效率较低的问题。
[0004]为了达到上述目的，本技术提供了一种水箱推车，包括：用于浸泡机台部件的水箱本体以及脚轮组件；
[0005]所述脚轮组件设置于所述水箱本体的底部；
[0006]其中，所述水箱本体具有多个分隔区。
[0007]可选的，所述水箱推车包括推动把手，所述推动把手与所述水箱本体的外表面固定连接。
[0008]可选的，所述推动把手与所述水箱本体的外表面所成的角度为60
°
～75
°
。
[0009]可选的，所述脚轮组件包括多个滚轮，多个所述滚轮沿所述水箱本体的底面均匀分布。
[0010]可选的，所述脚轮组件还包括用于锁定所述滚轮的限位件，所述限位件的数量与所述滚轮的数量相适配，所述滚轮通过所述限位件与所述水箱本体的底面连接。
[0011]可选的，所述限位件的轴线垂直于所述水箱本体的底面，所述滚轮的滚动轴线平行于所述水箱本体的底面，所述限位件围绕自身轴线可转动。
[0012]可选的，所述水箱本体的外表面具有至少两个排液孔，至少两个所述排液孔贯穿所述水箱本体。
[0013]可选的，所述水箱本体包括排水塞，所述排水塞的数量与所述排液孔的数量相适配，所述排水塞可分离地一一对应扣合在所述排液孔上。
[0014]可选的，所述排液孔的数量与所述分隔区的数量相适配，所述排液孔与所述分隔区一一对应。
[0015]可选的，多个所述分隔区的侧壁相互垂直。
[0016]综上所述，在本技术提供的水箱推车中，其包括：用于浸泡机台部件的水箱本体以及脚轮组件；所述脚轮组件设置于所述水箱本体的底部；其中，所述水箱本体具有多个分隔区。
[0017]如此配置，使用者能够利用脚轮组件将水箱本体移动至需要的位置，便捷省力；同时，多个分隔区的设置，使得水箱本体能够配置多种不同种类的清洗液，提高了水箱本体的清洗效率。
附图说明
[0018]图1是本技术实施例的水箱推车的立体图；
[0019]图2是本技术实施例的水箱推车的正视图；
[0020]图3是本技术实施例的水箱推车的侧视图。
[0021]其中，附图标记为：
[0022]10
‑
水箱本体；20脚轮组件；101
‑
排液孔；102
‑
排水塞；103
‑
分隔区；104
‑
推动把手；105
‑
隔板；201
‑
滚轮；202
‑
限位件；203
‑
轴线。
具体实施方式
[0023]为使本技术的目的、优点和特征更加清楚，以下结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且未按比例绘制，仅用以方便、明晰地辅助说明本技术实施例的目的。此外，附图所展示的结构往往是实际结构的一部分。特别的，各附图需要展示的侧重点不同，有时会采用不同的比例。
[0024]如在本说明书中所使用的，单数形式“一”、“一个”以及“该”包括复数对象，术语“或”通常是以包括“和/或”的含义而进行使用的，术语“若干”通常是以包括“至少一个”的含义而进行使用的，术语“至少两个”通常是以包括“两个或两个以上”的含义而进行使用的，此外，术语“第一”、“第二”、“第三”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”、“第三”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者至少两个该特征，“一端”与“另一端”以及“近端”与“远端”通常是指相对应的两部分，其不仅包括端点，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。此外，如在本说明书中所使用的，一元件设置于另一元件，通常仅表示两元件之间存在连接、耦合、配合或传动关系，且两元件之间可以是直接的或通过中间元件间接的连接、耦合、配合或传动，而不能理解为指示或暗示两元件之间的空间位置关系，即一元件可以在另一元件的内部、外部、上方、下方或一侧等任意方位，除非内容另外明确指出外。术语“上”、“下”、“顶”、“底”通常是按重力方向进行排布的相对位置关系；术语“竖向、竖直方向”通常是指沿重力方向，其一般垂直于地面，“水平向、水平面方向”通常是沿平行于地面的方向；对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本说明书中的具体含义。
[0025]本技术的目的在于提供一种水箱推车，以解决无法移动水箱，且水箱使用完后的废水排放不方便以及清洗效率较低的问题。
[0026]以下参考附图进行描述。
[0027]专利技术人发现，在EPI湿式洗涤器(EPI WET Scrubber)进行设备保养时，会拆卸管道和刮刀等部件并置于水箱中浸泡，而现有技术中的水箱体积约0.2立方米，重量约200kg，在设备保养期间不方便移动水箱，且水箱使用完毕后不方便直接排放废水，降低了设备保养
的效率。
[0028]基于上述研究，请参考图1，本技术提供一种水箱推车，其包括：用于浸泡机台部件的水箱本体10以及脚轮组件20；所述脚轮组件20设置于所述水箱本体10的底部；其中，所述水箱本体10具有多个分隔区103。
[0029]可选的，多个分隔区103可以被配置为容置相同的清洗液，如清水，那么相应的，水箱本体10的内表面以及分隔区103的侧壁上应喷涂有防水层，诸如聚氨酯防水涂料或其他具有防水功能的材料；多个分隔区103也可以被配置为不同的清洗液，如除磷剂、除氯剂等，那么相应的，水箱本体10的内表面以及分隔区103的侧壁上应喷涂有防腐蚀层，诸如聚四氟乙烯涂层或其他具有防腐蚀功能的材料。可以理解的，在这些实施例中，多个分隔区103容置不同的清洗液，待浸泡的工件可依次在不同的分隔区103中序贯浸泡清洗。本领域技术人员可根据实际情况对分隔区103的数量、清洗液的种类以及相应涂料的种类进行配置，本技术对此不限。
[0030]如此配置，使用者可利用脚轮组件20将水箱本体10移动所需要本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种水箱推车，其特征在于，包括：用于浸泡机台部件的水箱本体以及脚轮组件；所述水箱本体的外表面具有至少两个排液孔，至少两个所述排液孔贯穿所述水箱本体；所述脚轮组件设置于所述水箱本体的底部；其中，所述水箱本体具有多个分隔区。2.如权利要求1所述的水箱推车，其特征在于，所述水箱推车包括推动把手，所述推动把手与所述水箱本体的外表面固定连接。3.如权利要求2所述的水箱推车，其特征在于，所述推动把手与所述水箱本体的外表面所的成角度为60
°
～75
°
。4.如权利要求1所述的水箱推车，其特征在于，所述脚轮组件包括多个滚轮，多个所述滚轮沿所述水箱本体的底面均匀分布。5.如权利要求4所述的水箱推车，其特征在于...

【专利技术属性】
技术研发人员：张哲，谢宇安，陈昌盛，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：