一种烧制ITO靶材的烧结炉用密封机构制造技术

本实用新型专利技术提供了一种烧制ITO靶材的烧结炉用密封机构，包括：炉体，设置在所述炉体下端的下抵部，设置在所述炉体下端平行处的升降托板，升降托板通过烧结炉自带的升降结构驱动，下抵部、升降托板和若干侧抵部均为陶瓷材质，设置在所述升降托板上端的边框储沙槽以及设置在所述边框储沙槽内部的若干侧抵部，通过升降托板的上升操作，让下抵部局部埋在边框储沙槽内的沙子内，扩展了对于下抵部的密封面，沙子能耐受高温，让炉体的密封效率更高；且升降托板的上升过程使若干所述侧抵部受到传动作用力而侧抵下抵部，让下抵部的位置更加牢固，增加了对于炉体的密封角度，让热量泄漏的量更少，保证了炉体更好的密封防护效果。保证了炉体更好的密封防护效果。保证了炉体更好的密封防护效果。

【技术实现步骤摘要】
一种烧制ITO靶材的烧结炉用密封机构


[0001]本技术涉及烧结炉
，具体而言，涉及一种烧制ITO靶材的烧结炉用密封机构。

技术介绍

[0002]烧结炉是指使粉末压坯通过烧结获得所需的物理、力学性能以及微观结构的专用设备。烧结炉用于烘干硅片上的浆料、去除浆料中的有机成分、完成铝背场及栅线烧结。
[0003]现阶段多晶纤维板也通过烧结炉烧制完成，烧结炉工作时会需要进行密封，让炉内温度不易散发，让热能的使用效率得到保证，但是，烧结炉工作时炉内会产生1600度的高温，现有密封机构无法在此温度下进行完善工作。

技术实现思路

[0004]本技术的目的是提供一种烧制ITO靶材的烧结炉用密封机构，以解决上述问题。
[0005]为了实现上述目的，本技术实施例提供了一种烧制ITO靶材的烧结炉用密封机构，包括：炉体，设置在所述炉体下端的下抵部，设置在所述炉体下端平行处的升降托板，设置在所述升降托板上端的边框储沙槽以及设置在所述边框储沙槽内部的若干侧抵部，其中； 驱动所述升降托板上升，所述边框储沙槽能够上抵所述下抵部底部，以使若干所本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种烧制ITO靶材的烧结炉用密封机构，其特征在于，包括：炉体(1)，设置在所述炉体(1)下端的下抵部(2)，设置在所述炉体(1)下端平行处的升降托板(3)，设置在所述升降托板(3)上端的边框储沙槽(4)以及设置在所述边框储沙槽(4)内部的若干侧抵部(5)，其中；驱动所述升降托板(3)上升，所述边框储沙槽(4)能够上抵所述下抵部(2)底部，以使若干所述侧抵部(5)侧抵所述下抵部(2)外壁。2.如权利要求1所述的一种烧制ITO靶材的烧结炉用密封机构，其特征在于，所述下抵部(2)包括设置在所述炉体(1)下端的第一边框(21)以及设置在所述第一边框(21)下端的第二边框(22)；所述第一边框(21)外侧面为斜面，其中；驱动所述升降托板(3)上升，所述边框储沙槽(4)能够上抵所述第二边框(22)底面，以使若干所述侧抵部(5)侧抵所述第一边框(21)外侧面。3.如权利要求2所述的一种烧制ITO靶材的烧结炉用密封机构，其特征在于，所述侧抵部(5)包括设置在所述边框储沙槽(4)一侧的连通槽(51)，铰接设置在所述连通槽(51)内的转辊(52)以及设置在所述转辊(52)上端的压板(53)，其中；所述边框储沙槽(4)上抵所述第二边框(22)底面时，所述第二边框(22)能够摩擦所述转辊(52)旋转，以使所述压板(53)侧抵所述第一边框(21)外侧。4.如权利要求3所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：马伟，王志强，
申请(专利权)人：芜湖信安数控科技有限公司，
类型：新型
国别省市：