快排冲洗槽制造技术

一种快排冲洗槽，包含槽体及调整模块。该槽体具有底壁及连接该底壁的围绕壁，以共同形成容置空间，该底壁具有排放孔。该调整模块对应该排放孔位置设于该底壁，且包括固定于该底壁的固定件及设于该固定件的控制件。该固定件具有连通该排放孔的至少一第一开口。该控制件具有可相对该固定件活动的遮盖部，该遮盖部用以调整遮盖该至少一第一开口的面积，以控制可通过该排放孔的液体流量。通过该调整模块可供用户依据待冲洗的晶圆厚薄程度，调整液体的排放速度，以降低破片的风险，并优化该槽体的通用性。用性。用性。

【技术实现步骤摘要】
快排冲洗槽


[0001]本技术涉及一种快排冲洗槽，特别是涉及一种可调整排放孔的流通面积的快排冲洗槽。

技术介绍

[0002]目前在半导体制程中，通常会使用快排冲洗槽去除晶圆表面微粒杂质和残留化学药液，使晶圆表面洁净。
[0003]现有的快排冲洗槽的排放孔皆为单一尺寸，当快排冲洗槽排放液体时，液体的流量与流速固定，无法调整。然而，目前已发展出厚度较薄的晶圆，不同厚度的晶圆在快排冲洗槽内能够承受液体流动冲击的能力不同。同样的液体排放速度相对于薄片型晶圆会产生较大的不稳定扰流，使得晶圆在载具(cassette)上会有较大的晃动，导致破片机会上升。

技术实现思路

[0004]本技术的一目的在于提供一种可调整排放孔的流通面积以改变液体排放速度的快排冲洗槽。
[0005]本技术的快排冲洗槽在一些实施态样中，包含槽体及调整模块。该槽体具有底壁及连接该底壁的围绕壁，以共同形成容置空间，该底壁具有排放孔。该调整模块对应该排放孔位置设于该底壁，且包括固定于该底壁的固定件及设于该固定件的控制件。该固定件具有连通该排放孔的至少一第一开口。该控制件具有可相对该固定件活动的遮盖部，该遮盖部用以调整遮盖该至少一第一开口的面积，以控制可通过该排放孔的液体流量。
[0006]在一些实施态样中，该排放孔具有主孔部及与该主孔部相连通的多个沉阶部，所述沉阶部沿该主孔部的外周缘间隔分布，该固定件覆盖该主孔部且未完全覆盖所述沉阶部，使各所述沉阶部至少部分露出于外。
[0007]在一些实施态样中，该固定件具有第一板体，及贯穿该第一板体且彼此对称并呈扇形的两个第一开口，所述第一开口位于该主孔部上方且以对应该主孔部的中心的圆心呈对称分布，该控制件具有第二板体及贯穿该第二板体且彼此对称并呈扇形的两个第二开口，且该遮盖部位于所述第二开口之间，所述第二开口的形状大小与所述第一开口相同，该控制件可受操作以通过该圆心的轴线转动，以调整所述第二开口与所述第一开口相重叠的区域大小。
[0008]在一些实施态样中，该控制件还具有贯穿该第二板体的两个弧形轨道，所述弧形轨道彼此相对且沿圆周延伸，该调整模块还包括分别穿过所述弧形轨道锁设于该第一板体的两个锁固件，所述锁固件能迫紧于该第二板体以固定该控制件，且松开所述锁固件能转动该控制件。
[0009]本技术具有以下功效：通过该调整模块可供用户依据待冲洗的晶圆厚薄程度，调整液体的排放速度，以降低破片的风险，并优化该槽体的通用性。
附图说明
[0010]本技术的其他的特征及功效，将于参照附图的实施方式中清楚地呈现，其中：
[0011]图1是本技术快排冲洗槽的实施例的俯视示意图；
[0012]图2是该实施例的不完整的立体图，其中固定件的两个第一开口部分被遮盖；
[0013]图3是该实施例的不完整的立体分解图；及
[0014]图4是类似图2的视图，其中所述第一开口未被遮盖。
具体实施方式
[0015]参阅图1至图3，本技术快排冲洗槽的实施例，包含一槽体1及一调整模块2。
[0016]该槽体1具有一底壁11及连接该底壁11的一围绕壁12，以共同形成一容置空间13。该底壁11具有一排放孔14。该排放孔14具有一主孔部141及与该主孔部141相连通的多个沉阶部142，所述沉阶部142沿该主孔部141的外周缘间隔分布。该主孔部141用以连接一排液阀(未图示)。在本实施例中，仅以一个排放孔14为例说明，但是在变化的实施态样，该排放孔14的数量也可以是两个以上，可视使用需求调整，不以本实施例为限。
[0017]该调整模块2对应该排放孔14位置设于该底壁11，且包括固定于该底壁11的一固定件21、设于该固定件21的一控制件22，及两个锁固件23。该固定件21具有一第一板体211，及贯穿该第一板体211且彼此对称的两个扇形第一开口212。该固定件21覆盖该主孔部141且未完全覆盖各该沉阶部142，使各该沉阶部142至少部分露出于外，借此，水位低于该固定件21上表面的液体，可以通过所述沉阶部142进入该主孔部141排放，避免液体残留在该底壁11。所述第一开口212位于该主孔部141上方且以对应该主孔部141的中心的一圆心C呈对称分布，在本实施例中，各该第一开口212的扇形面积约为1/4圆面积。该控制件22具有一第二板体221、贯穿该第二板体221且彼此对称的两个扇形第二开口222、位于所述第二开口222之间的一遮盖部223，及贯穿该第二板体221的两个弧形轨道224。所述第二开口222的形状大小与所述第一开口212相同，所述弧形轨道224彼此相对且沿一圆周延伸。所述锁固件23分别穿过所述弧形轨道224锁设于该第一板体211且位于通过该圆心C的一直径上，并能迫紧于该第二板体221以固定该控制件22，且松开所述锁固件23能转动该控制件22。
[0018]该控制件22可受操作以通过该圆心C的轴线Z转动，以调整所述第二开口222与所述第一开口212相重叠的区域大小。当所述第二开口222与所述第一开口212完全重叠时(如图4所示)，所述第一开口212可以完全打开，而当所述第二开口222与所述第一开口212未完全重叠时，该遮盖部223即遮盖所述第一开口212的一部分，使所述第一开口212打开的面积变小。换言之，该遮盖部223可相对该固定件21活动，用以调整遮盖所述第一开口212的面积，以控制可通过该排放孔14的液体流量。当通过该排放孔14的液体流量越小，液体的排放速度越减缓。故该调整模块2可供用户依据待冲洗的晶圆厚薄程度，调整液体的排放速度，以降低破片的风险。该调整模块2可拆地安装于该底壁11，若需要使液体快速排放，可拆除该调整模块2使该排放孔14全开，若需减缓液体的排放速度，可安装该调整模块2并调整所述第一开口212的开放面积，即能调整适当的排放速度。而且该调整模块2为扁平状，不影响该容置空间13的使用，使该槽体1可适用多样的待清洗晶圆，优化该槽体1的通用性。可理解地，在变化的实施例，该固定件21只有一个第一开口212也可实施。
[0019]综上所述，通过该调整模块2可供用户依据待冲洗的晶圆厚薄程度，调整液体的排
放速度，以降低破片的风险，并优化该槽体1的通用性。
[0020]以上所述者，仅为本技术的实施例而已，当不能以此限定本技术实施的范围，即凡依本技术权利要求书及说明书内容所作的简单的等效变化与修饰，皆仍属本技术的范围。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种快排冲洗槽，包含：槽体，具有底壁及连接该底壁的围绕壁，以共同形成容置空间，该底壁具有排放孔；其特征在于：该快排冲洗槽还包含：调整模块，对应该排放孔位置设于该底壁，且包括固定于该底壁的固定件及设于该固定件的控制件，该固定件具有连通该排放孔的至少一第一开口，该控制件具有可相对该固定件活动的遮盖部，该遮盖部用以调整遮盖该至少一第一开口的面积，以控制可通过该排放孔的液体流量。2.根据权利要求1所述快排冲洗槽，其特征在于：该排放孔具有主孔部及与该主孔部相连通的多个沉阶部，所述沉阶部沿该主孔部的外周缘间隔分布，该固定件覆盖该主孔部且未完全覆盖所述沉阶部，使各所述沉阶部至少部分露出于外。3.根据权利要求2所述快排冲洗槽，其特征在于：该固定件具...

【专利技术属性】
技术研发人员：曾明月，
申请(专利权)人：辛耘企业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：