本实用新型专利技术涉及旋转靶材吊装技术领域，且公开了一种石墨旋转靶材的吊装装置，包括石墨旋转靶材本体，所述石墨旋转靶材本体下端的外壁活动安装有支撑板，所述支撑板左右两侧的内壁均设置有夹持装置。本实用新型专利技术通过石墨旋转靶材本体、吊装装置本体、升降装置和支撑板之间的配合，利用升降装置中的二号螺纹杆的圆周转动，结合滑块的限制，实现了升降杆在二号螺纹杆外壁的竖直方向的升降运动的作用，达到了石墨旋转靶材本体的吊装效果，有效地解决了人工吊装的方式，采用机械举升替代人工吊装的方式，减轻了工作人员的工作量，加快了石墨旋转靶材本体吊装的进度，从而提高了石墨旋转靶材本体吊装的效率。本体吊装的效率。本体吊装的效率。
【技术实现步骤摘要】
一种石墨旋转靶材的吊装装置
[0001]本技术涉及靶材吊装
，具体为一种石墨旋转靶材的吊装装置。
技术介绍
[0002]在被溅射的靶极(阴极)与阳极之间加一个正交磁场和电场，在高真空室中充入所需要的惰性气体(通常为Ar气)，永久磁铁在靶材料表面形成250～350高斯的磁场，同高压电场组成正交电磁场，在电场的作用下，Ar气电离成正离子和电子，靶上加有一定的负高压，从靶极发出的电子受磁场的作用与工作气体的电离几率增大，在阴极附近形成高密度的等离子体，Ar离子在洛仑兹力的作用下加速飞向靶面，以很高的速度轰击靶面，使靶上被溅射出来的原子遵循动量转换原理以较高的动能脱离靶面飞向基片淀积成膜，磁控溅射一般分为二种：其中直流溅射设备原理简单，在溅射金属时，其速率也快，而射频溅射的使用范围更为广泛，除可溅射导电材料外，也可溅射非导电的材料，同时还可进行反应溅射制备氧化物、氮化物和碳化物等化合物材料，镀膜靶材是通过磁控溅射、多弧离子镀或其他类型的镀膜系统在适当工艺条件下溅射在基板上形成各种功能薄膜的溅射源，旋转靶材是磁控的靶材，靶材做成圆筒型的，里面装有静止不动的磁体，以慢速转动。
[0003]然而现有的石墨旋转靶材在吊装时采用人工搬运的方式，人工搬运石墨旋转靶材的移动，增加了工作人员的工作量，人工搬运的方式还会减缓石墨旋转靶材上下料的进度，导致石墨旋转靶材搬运效率的降低；并且，人工搬运时，因石墨旋转靶材其自身长度的限制，使得石墨旋转靶材在搬运中会与墙角发生碰撞，甚至与工作人员的擦碰，发生碰撞后石墨旋转靶材会造成其的凹陷，导致石墨旋转靶材的质量的下降，增加了石墨旋转靶材在搬运时损坏的成本。
技术实现思路
[0004]针对现有技术的不足，本技术提供了一种石墨旋转靶材的吊装装置，具备机械搬运替代人工移动的方式、减轻工作人员的工作量、提高石墨旋转靶材的吊装的效率和加固石墨旋转靶材吊装是的稳定性的优点，解决了上述
技术介绍
中所提出的问题。
[0005]本技术提供如下技术方案：一种石墨旋转靶材的吊装装置，包括石墨旋转靶材本体，所述石墨旋转靶材本体下端的外壁活动安装有支撑板，所述支撑板左右两侧的内壁均设置有夹持装置，所述夹持装置的一端安装有一号电机，且一号电机的输出轴上设置有一号减速器，所述一号电机的下端面固定连接有固定板，且固定板的一侧与支撑板的一端固定连接，所述支撑板的背面固定安装有连接块，所述连接块远离支撑板的一端设置有升降装置，所述支撑板左右两侧的前后两端固定连接有加固块，所述加固块的内壁活动套接有工形杆，所述工形杆的下端固定安装有位于石墨旋转靶材本体下方的吊装装置本体。
[0006]优选的，所述夹持装置包括有与支撑板内壁活动套接的一号螺纹杆，且一号螺纹杆远离支撑板的一端与一号电机的输出轴固定连接，所述一号螺纹杆的外壁螺纹套接有活动块，所述活动块的上端面固定连接有夹板，所述活动块的前后两侧均固定安装有限位块。
[0007]优选的，所述升降装置包括有与连接块的背面固定连接的升降块，所述升降块的左右两侧固定均固定安装有滑块，所述升降块的内壁螺纹套接有二号螺纹杆。
[0008]优选的，所述二号螺纹杆的下端固定连接有二号电机，且二号电机的输出轴上设置有二号减速器，所述二号电机的外部安装有立柱，且立柱的下端与吊装装置本体的上端面固定连接。
[0009]优选的，所述吊装装置本体的下端面固定安装有底板，所述底板的左侧固定连接有一号支架，所述底板远离吊装装置本体的一侧安装有二号支架，所述二号支架中部的外壁活动套接有滚轮。
[0010]优选的，所述一号支架中部的外壁固定套接有手推杆，所述手推杆远离一号支架的一端安装有控制器。
[0011]与现有技术对比，本技术具备以下有益效果：
[0012]1、本技术通过石墨旋转靶材本体、吊装装置本体、升降装置和支撑板之间的配合，利用升降装置中的二号螺纹杆的圆周转动，结合滑块的限制，实现了升降杆在二号螺纹杆外壁的竖直方向的升降运动的作用，达到了石墨旋转靶材本体的吊装效果，有效地解决了人工吊装的方式，采用机械举升替代人工吊装的方式，减轻了工作人员的工作量，加快了石墨旋转靶材本体吊装的进度，从而提高了石墨旋转靶材本体吊装的效率。
[0013]2、本技术通过石墨旋转靶材本体、吊装装置本体、夹持装置和支撑板之间的配合，利用夹持装置中二号螺纹杆的圆周转动，实现了夹板的水平方向移动的作用，达到了夹板对石墨旋转靶材本体的夹持效果，有效地解决了石墨旋转靶材本体在吊装时的晃动问题，采用夹板对石墨旋转靶材本体的限位方式，加固了石墨旋转靶材本体在吊装时的稳定性，避免了石墨旋转靶材本体因晃动从高处的掉落造成的损坏，延长了石墨旋转靶材本体的使用寿命，并且还避免了工作人员被掉落的石墨旋转靶材本体砸伤的风险。
附图说明
[0014]图1为本技术结构示意图；
[0015]图2为本技术石墨旋转靶材本体的俯视图；
[0016]图3为本技术升降装置的后视图；
[0017]图4为本技术夹持装置的侧视图；
[0018]图5为本技术支撑板的俯视图。
[0019]图中：1、石墨旋转靶材本体；2、支撑板；3、夹持装置；31、一号螺纹杆；32、活动块；33、夹板；34、限位块；4、连接块；5、升降装置；51、升降块；52、滑块；53、二号螺纹杆；6、加固块；7、工形杆；8、吊装装置本体；9、一号电机；10、固定板；11、二号电机；12、底板；13、一号支架；14、二号支架；15、滚轮；16、手推杆；17、控制器；18、立柱。
具体实施方式
[0020]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0021]请参阅图1与图4，一种石墨旋转靶材的吊装装置，包括石墨旋转靶材本体1，石墨旋转靶材本体1下端的外壁活动安装有支撑板2，支撑板2左右两侧的内壁均设置有夹持装置3，夹持装置3的活动起到对石墨旋转靶材本体1的夹持装置，加固了石墨旋转靶材本体1在移动时和吊装时的稳定性，避免了石墨旋转靶材本体1在吊装时从高处的掉落造成的损坏，还能避免工作人员被砸伤，夹持装置3的一端安装有一号电机9，且一号电机9的输出轴上设置有一号减速器，一号减速器的设置起到对一号电机9的输出轴上的转速的调节作用，夹持装置3包括有与支撑板2内壁活动套接的一号螺纹杆31，且一号螺纹杆31远离支撑板2的一端与一号电机9的输出轴固定连接，一号螺纹杆31的圆周转动为活动块32的水平运动提供动力，一号螺纹杆31的外壁螺纹套接有活动块32，活动块32的上端面固定连接有夹板33，夹板33起到对石墨旋转靶材本体1的限位作用，活动块32的前后两侧均固定安装有限位块34，限位块34的安装限制了活动块32的运本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种石墨旋转靶材的吊装装置，包括石墨旋转靶材本体(1)，其特征在于：所述石墨旋转靶材本体(1)下端的外壁活动安装有支撑板(2)，所述支撑板(2)左右两侧的内壁均设置有夹持装置(3)，所述夹持装置(3)的一端安装有一号电机(9)，且一号电机(9)的输出轴上设置有一号减速器，所述一号电机(9)的下端面固定连接有固定板(10)，且固定板(10)的一侧与支撑板(2)的一端固定连接，所述支撑板(2)的背面固定安装有连接块(4)，所述连接块(4)远离支撑板(2)的一端设置有升降装置(5)，所述支撑板(2)左右两侧的前后两端固定连接有加固块(6)，所述加固块(6)的内壁活动套接有工形杆(7)，所述工形杆(7)的下端固定安装有位于石墨旋转靶材本体(1)下方的吊装装置本体(8)。2.根据权利要求1所述的一种石墨旋转靶材的吊装装置，其特征在于：所述夹持装置(3)包括有与支撑板(2)内壁活动套接的一号螺纹杆(31)，且一号螺纹杆(31)远离支撑板(2)的一端与一号电机(9)的输出轴固定连接，所述一号螺纹杆(31)的外壁螺纹套接有活动块(32)，所述活动块(32)的上端面固定连接有夹板(33)，所述活动块(32)的前后两侧均固定安...
【专利技术属性】
技术研发人员：王舒宇，侯金明，叶庭，
申请(专利权)人：南京欧美达应用材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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