真空泵截止阀装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了真空泵截止阀装置，包括阀体，所述阀体的内部设置有第一流通槽，所述阀体的内部设置有第二流通槽，所述阀体的顶端设置有手摇盘，所述手摇盘的底端固定连接有手摇杆，所述手摇杆的外部设置有弧形杆，所述手摇杆的底端固定连接有阀杆，所述阀杆的底端固定连接有阀瓣。该真空泵截止阀装置通过在阀瓣外部设置了第一密封圈和第二密封圈，第一密封圈和第二密封圈都是采用的橡胶材质制备而成的密封圈，从而提高了整个截止阀使用的密封性，截止阀的密封性增强可以避免加工时真空泵异常出现粉尘倒灌的情况，从而提高了加工工艺的稳定性，解决了炉内负压真空泵异常导致粉尘倒灌的问题。倒灌的问题。倒灌的问题。

【技术实现步骤摘要】
真空泵截止阀装置


[0001]本技术涉及PECVD工艺机真空泵机械控制
，具体为真空泵截止阀装置。

技术介绍

[0002]截止阀是阀门的一种，主要运用在各个领域的加工工艺中，PECVD工艺设备需要用截止阀来控制和辅助真空泵的使用，但是工艺机在运行工艺时会遇到一些紧急情况，炉管在负压状态下，关闭真空泵会导致粉尘倒灌，粉尘倒灌会造成批量性返工，严重的需要停机降温处理管内粉尘，影响生产时间、浪费大量人力物力，以往的真空泵上方没有截止阀装置，发生蝶阀主抽阀异常报警时，或者处理设备异常时误操作导致真空泵停止，发生粉尘倒灌，因此我们研发一种真空泵截止阀装置来避免粉尘倒灌的情况发生。

技术实现思路

[0003]本技术的目的在于提供真空泵截止阀装置，以解决上述
技术介绍
中提出粉尘倒灌导致批量性返工的问题。
[0004]为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：真空泵截止阀装置，包括阀体，所述阀体的内部设置有第一流通槽，所述阀体的内部设置有第二流通槽，所述阀体的顶端设置有手摇盘，所述手摇盘的底端固定连接有手摇杆，所述手摇杆的外部设置有弧形杆，所述手摇杆的底端固定连接有阀杆，所述阀杆的底端固定连接有阀瓣，所述阀瓣的顶端固定连接有第二密封圈，所述阀瓣的底端固定连接有第一密封圈，所述阀杆的外部设置有密封垫，所述阀杆的外部设置有连接弹簧，所述阀杆的两侧设置有限位板。
[0005]优选的，所述弧形杆设置有两组，所述弧形杆设置在手摇杆的外部，所述弧形杆的底端固定连接有在阀体的顶端。
[0006]优选的，所述手摇杆设置在阀体的内部，所述手摇杆在阀体内部呈活动连接。
[0007]优选的，所述连接弹簧的顶端与阀体的内部固定连接，所述连接弹簧套在阀杆的外部。
[0008]优选的，所述第一密封圈的内部尺寸大于阀瓣外部的尺寸，所述第一密封圈套在阀瓣的外部。
[0009]优选的，所述第一密封圈和第二密封圈的大小相同，所述第二密封圈设置在阀瓣的外部。
[0010]与现有技术相比，本技术的有益效果是：该真空泵截止阀装置不仅实现了防止粉尘倒灌，实现了提高密封效果，而且实现了延长使用寿命；
[0011](1)通过阀瓣、第一密封圈和第二密封圈，该阀体内部用于调节流通性的阀瓣外部设置了第一密封圈和第二密封圈，第一密封圈和第二密封圈都是采用的橡胶材质制备而成的密封圈，第一密封圈和第二密封圈可以提高阀瓣作为挡板时的密封性，从而提高了整个截止阀使用的密封性，截止阀的密封性增强可以避免加工时真空泵异常出现粉尘倒灌的情
况，从而提高了加工工艺的稳定性；
[0012](2)通过密封垫，阀体内部上下都采用了密封垫，阀体内部的多组密封垫可以提高阀体使用过程中的密封效果，密封效果得到了提高从而使工艺加工中的真空泵使用得到提高，真空泵不会出现异常，加工炉内不会出现负压的情况，该结构通过多组密封垫实现了截止阀使用的密封性，减少了返工的可能性；
[0013](3)通过手摇杆、阀杆、限位板和连接弹簧，该截止阀采用的是手摇杆的形式对其内部的流通进行调节和处理，手摇杆需要人工手动处理，这样可以提高截止阀使用的精准度，阀杆带动阀瓣进行上下移动调节的时候，阀杆外部的连接弹簧和限位板可以对阀杆进行保护，减少阀杆使用的摩擦以及提高阀杆移动的稳定性，该结构提高了截止阀调节控制的精准度，降低了因处理异常导致真空泵卡死的频率，从而可以延长真空泵使用寿命。
附图说明
[0014]图1为本技术的正视剖面结构示意图；
[0015]图2为本技术的正视结构示意图；
[0016]图3为本技术的阀瓣正视剖面结构示意图；
[0017]图4为本技术的图1中A处局部剖面放大结构示意图。
[0018]图中：1、阀体；2、第一流通槽；3、阀杆；4、弧形杆；5、手摇盘；6、手摇杆；7、阀瓣；8、第二流通槽；9、第一密封圈；10、第二密封圈；11、密封垫；12、限位板；13、连接弹簧。
具体实施方式
[0019]下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。
[0020]实施例1：请参阅图1
‑
4，真空泵截止阀装置，包括阀体1，阀体1的内部设置有第一流通槽2，阀体1的内部设置有第二流通槽8，阀体1的顶端设置有手摇盘5，手摇盘5的底端固定连接有手摇杆6，手摇杆6的外部设置有弧形杆4，弧形杆4设置有两组，弧形杆4设置在手摇杆6的外部，弧形杆4的底端固定连接有在阀体1的顶端，手摇杆6的底端固定连接有阀杆3，阀杆3的底端固定连接有阀瓣7，阀瓣7的顶端固定连接有第二密封圈10，阀瓣7的底端固定连接有第一密封圈9；
[0021]第一密封圈9的内部尺寸大于阀瓣7外部的尺寸，第一密封圈9套在阀瓣7的外部，第一密封圈9和第二密封圈10的大小相同，第二密封圈10设置在阀瓣7的外部；
[0022]具体地，如图1、图2和图3所示，该阀体1内部用于调节流通性的阀瓣7外部设置了第一密封圈9和第二密封圈10，第一密封圈9和第二密封圈10都是采用的橡胶材质制备而成的密封圈，第一密封圈9和第二密封圈10可以提高阀瓣7作为挡板时的密封性，从而提高了整个截止阀使用的密封性，截止阀的密封性增强可以避免加工时真空泵异常出现粉尘倒灌的情况，从而提高了加工工艺的稳定性。
[0023]实施例2：阀杆3的外部设置有密封垫11；
[0024]具体地，如图1和图4所示，阀体1内部上下都采用了密封垫11，阀体1内部的多组密
封垫11可以提高阀体1使用过程中的密封效果，密封效果得到了提高从而使工艺加工中的真空泵使用得到提高，真空泵不会出现异常，加工炉内不会出现负压的情况，该结构通过多组密封垫11实现了截止阀使用的密封性，减少了返工的可能性。
[0025]实施例3：阀杆3的外部设置有连接弹簧13，阀杆3的两侧设置有限位板12，手摇杆6设置在阀体1的内部，手摇杆6在阀体1内部呈活动连接，连接弹簧13的顶端与阀体1的内部固定连接，连接弹簧13套在阀杆3的外部；
[0026]具体地，如图1和图4所示，手摇杆6需要人工手动处理，这样可以提高截止阀使用的精准度，阀杆3带动阀瓣7进行上下移动调节的时候，阀杆3外部的连接弹簧13和限位板12可以对阀杆3进行保护，减少阀杆3使用的摩擦以及提高阀杆3移动的稳定性，该结构提高了截止阀调节控制的精准度，降低了因处理异常导致真空泵卡死的频率，从而可以延长真空泵使用寿命。
[0027]工作原理：本技术在使用时，该阀体1内部用于调节流通性的阀瓣7外部设置了第一密封圈9和第二密封圈10，第一密封圈9和第二密封圈10都是采用的橡胶材质制备而成的密封圈，第一密封圈9和第二密封圈10可以提高阀瓣本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.真空泵截止阀装置，包括阀体(1)，其特征在于：所述阀体(1)的内部设置有第一流通槽(2)，所述阀体(1)的内部设置有第二流通槽(8)，所述阀体(1)的顶端设置有手摇盘(5)，所述手摇盘(5)的底端固定连接有手摇杆(6)，所述手摇杆(6)的外部设置有弧形杆(4)，所述手摇杆(6)的底端固定连接有阀杆(3)，所述阀杆(3)的底端固定连接有阀瓣(7)，所述阀瓣(7)的顶端固定连接有第二密封圈(10)，所述阀瓣(7)的底端固定连接有第一密封圈(9)，所述阀杆(3)的外部设置有密封垫(11)，所述阀杆(3)的外部设置有连接弹簧(13)，所述阀杆(3)的两侧设置有限位板(12)。2.根据权利要求1所述的真空泵截止阀装置，其特征在于：所述弧形杆(4)设置有两组，所述弧形杆(4)设置...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨震，汪剑，
申请(专利权)人：江苏润阳世纪光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：