本实用新型专利技术提供一种运输光罩的推车装置，包括推车本体、防静电气密性底垫、气密性顶部盖子及金属链条，其中，防静电气密性底垫位于推车本体顶部用于放置光罩盒，气密性顶部盖子位于防静电气密性底垫上方并与防静电气密性底垫连接，金属链条连接于推车本体并接地。本实用新型专利技术的运输光罩的推车装置中防静电气密性底垫能够减小静电对光罩的损坏，气密性顶部盖子能够隔绝外部空气，避免质量较差的空气接触光罩使光罩表面生长雾状缺陷，从根本上降低光罩在跨区域运输的过程中被静电损伤和生长雾状缺陷的几率，并且，节省了在不同黄光区运输通道之间安装电离模组离子发生器的成本。输通道之间安装电离模组离子发生器的成本。输通道之间安装电离模组离子发生器的成本。
【技术实现步骤摘要】
一种运输光罩的推车装置
[0001]本技术属于半导体光刻制造领域，涉及一种运输光罩的推车装置。
技术介绍
[0002]随着半导体制造技术的发展，对半导体的制造环境有了更高的要求，在生产制造中，静电及空气质量对设备及产品有着严重的影响，对一些精密部件会造成致命的损坏。
[0003]光罩的存放对环境中的静电有着严格的要求，环境中的静电会击穿光罩上的图形，导致光罩永久性损伤从而会降低产品良率，因此无尘室中一般会在光罩存放区域和光罩使用区域中都配有室内电离模组离子发生器(Ionizer)，其是一种除静电装置，用于去除静电；并且，无尘室中的空气质量对光罩的使用和存放也有重要的影响，较差的空气质量会使光罩表面更加容易生长雾状缺陷(haze)，进而导致光刻过程中图形成型失败，降低产品良率。因此在无尘室中，光罩存放区域和光罩使用区域的环境静电和空气质量比无尘室其他区域有着更加严格的要求，以保持光罩在健康、洁净的环境中工作。但是在实际生产工作中，不可避免的需要将光罩运输到其他区域(如无尘室中有两个黄光区)，若只使用普通的推车运输光罩，无尘室其他区域的静电和空气环境会对光罩产生影响，增加光罩被静电击穿和表面生长雾状缺陷的风险；当需要把光罩从一个黄光区运输到另一个黄光区时，需要在通道间安装电离模组离子发生器来消除静电，成本较高。
[0004]因此，如何提供一种运输光罩的推车装置以降低光罩在跨区域运输过程中静电和空气环境对光罩的影响、降低成本，成为本领域技术人员亟待解决的问题。
技术实现思路
[0005]鉴于以上所述现有技术的缺点，本技术的目的在于提供一种运输光罩的推车装置，用于解决现有技术中跨区域运输光罩时增加光罩被静电击穿和表面生长雾状缺陷的风险、不同黄光区通道之间需安装离子发生器成本较高等问题。
[0006]为实现上述目的及其他相关目的，本技术提供一种运输光罩的推车装置，所述运输光罩的推车装置包括：
[0007]推车本体；
[0008]防静电气密性底垫，位于所述推车本体顶部用于放置光罩盒；
[0009]气密性顶部盖子，位于所述防静电气密性底垫上方并与所述防静电气密性底垫连接；
[0010]金属链条，连接于所述推车本体并接地。
[0011]可选地，所述防静电气密性底垫包括凹槽部与侧翼部，所述侧翼部自所述凹槽部的侧壁顶端往外延伸。
[0012]可选地，所述凹槽部的底面设有分隔件以将所述凹槽部分隔为多个子凹槽，每一所述子凹槽用于放置一个所述光罩盒。
[0013]可选地，所述气密性顶部盖子包括盖体侧板与上盖门，所述盖体侧板围成一收容
空间，所述盖体侧板的底面与所述侧翼部连接，所述盖体侧板的顶面高于所述光罩盒的顶面并与所述上盖门连接。
[0014]可选地，所述上盖门采用水平推拉式结构。
[0015]可选地，所述防静电气密性底垫与所述气密性顶部盖子密封连接。
[0016]可选地，所述防静电气密性底垫四周设有多个第一卡扣，所述气密性顶部盖子四周设有多个第二卡扣，所述第一卡扣与所述第二卡扣相配合以锁紧所述防静电气密性底垫与所述气密性顶部盖子。
[0017]可选地，多个所述第一卡扣对称分布于所述防静电气密性底垫四周，多个所述第二卡扣的位置与多个所述第一卡扣的位置一一对应。
[0018]可选地，所述气密性顶部盖子的外表面包裹有黄色滤光板。
[0019]可选地，所述推车本体包括底框与顶框，所述底框与所述顶框之间通过多根支柱连接，所述金属链条连接于所述底框。
[0020]如上所述，本技术的运输光罩的推车装置于所述推车本体顶部设置所述防静电气密性底垫，能够减小静电对光罩的损坏，于所述防静电气密性底垫上方设置气密性顶部盖子，能够隔绝外部空气，避免质量较差的空气接触光罩使光罩表面生长雾状缺陷，从根本上降低光罩在跨区域运输的过程中被静电损伤和生长雾状缺陷的几率，并且，节省了在不同黄光区运输通道之间安装电离模组离子发生器的成本。
附图说明
[0021]图1显示为本技术的运输光罩的推车装置的立体结构示意图。
[0022]图2显示为本技术的运输光罩的推车装置的防静电气密性底垫与气密性顶部盖子的平面布局图。
[0023]元件标号说明
[0024]1ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
推车本体
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防静电气密性底垫
[0026]21
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凹槽部
[0027]22
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侧翼部
[0028]23
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第一卡扣
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气密性顶部盖子
[0030]31
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盖体侧板
[0031]32
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上盖门
[0032]4ꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀꢀ
金属链条
具体实施方式
[0033]以下由特定的具体实施例说明本技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭露的内容轻易地了解本技术的其他优点及功效。本技术还可以通过另外不同的具体实施方式加以实施或应用，本说明书中的各项细节也可以基于不同观点与应用，在没有背离本技术的精神下进行各种修饰或改变。
[0034]需要说明的是，本实施例中所提供的图示仅以示意方式说明本技术的基本构
想，遂图式中仅显示与本技术中有关的组件而非按照实际实施时的组件数目、形状及尺寸绘制，其实际实施时各组件的型态、数量及比例可为一种随意的改变，且其组件布局型态也可能更为复杂。
[0035]如图1所示，显示为本技术的运输光罩的推车装置的立体结构示意图，包括推车本体1、防静电气密性底垫2、气密性顶部盖子3及金属链条4，其中，防静电气密性底垫2位于所述推车本体1顶部用于放置光罩，所述气密性顶部盖子3位于所述防静电气密性底垫2上方并与所述防静电气密性底垫2连接，所述金属链条4连接于所述推车本体1并接地。
[0036]具体的，所述防静电气密性底垫2可以减小静电击穿光罩上的图形的风险。
[0037]如图2所述，显示为本技术的运输光罩的推车装置的防静电气密性底垫与气密性顶部盖子的平面布局图，所述防静电气密性底垫2包括凹槽部21与侧翼部22，所述侧翼部22自所述凹槽部21的侧壁顶往外延伸。
[0038]作为示例，所述凹槽部21的底面设有分隔件以将所述凹槽部21分隔为多个子凹槽，每一所述子凹槽用于放置一个所述光罩盒，避免在运输的过程中所述光罩盒发生晃动损坏光罩。
[0039]作为示例，所述分隔件与所本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种运输光罩的推车装置，其特征在于，包括：推车本体；防静电气密性底垫，位于所述推车本体顶部用于放置光罩盒；气密性顶部盖子，位于所述防静电气密性底垫上方并与所述防静电气密性底垫连接；金属链条，连接于所述推车本体并接地。2.根据权利要求1所述的运输光罩的推车装置，其特征在于：所述防静电气密性底垫包括凹槽部与侧翼部，所述侧翼部自所述凹槽部的侧壁顶端往外延伸。3.根据权利要求2所述的运输光罩的推车装置，其特征在于：所述凹槽部的底面设有分隔件以将所述凹槽部分隔为多个子凹槽，每一所述子凹槽用于放置一个所述光罩盒。4.根据权利要求2所述的运输光罩的推车装置，其特征在于：所述气密性顶部盖子包括盖体侧板与上盖门，所述盖体侧板围成一收容空间，所述盖体侧板的底面与所述侧翼部连接，所述盖体侧板的顶面高于所述光罩盒的顶面并与所述上盖门连接。5.根据权利要求4所述的运输光罩的推车装置，其特征在于：...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘冠良，龙春艳，陈超，
申请(专利权)人：广州粤芯半导体技术有限公司，
类型：新型
国别省市：
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