一种清洗液加热筒制造技术

本申请涉及一种清洗液加热筒，导流板将清洗液入口分成两部分，使得清洗液入口流出入的清洗液分成两部分，导流板分开清洗液入口流入的清洗液，防止进入的清洗液直接撞击“加热棒”，降低流动阻力，提高清洗液流入速度。同时，两部分清洗液也能很好地与两部分的加热棒进行充分热交换。行充分热交换。行充分热交换。

【技术实现步骤摘要】
一种清洗液加热筒


[0001]本申请属于晶圆清洗辅助设备
，尤其是涉及一种清洗液加热筒。

技术介绍

[0002]晶圆清洗过程中，需要对清洗液进行加热，比如加热到特定的60℃
‑
80℃。常见的清洗液加热筒就是在一个两端设置出入口的筒体内，清洗液经过筒体时，被其中的加热棒所加热。但是由于清洗液在刚流入加热筒内时，清洗液速度较快，在加热筒内撞击加热棒，导致流体流动速度受加热棒迟滞而流动不顺畅，同时，流道通常随意设置，清洗液在加热筒内的流动过程比较随意，不能很好的接收来自加热筒的热量。

技术实现思路

[0003]本专利技术要解决的技术问题是：为解决现有技术中的不足，从而提供一种具有引导清洗液流动使流动更加顺畅的清洗液加热筒。
[0004]本专利技术解决其技术问题所采用的技术方案是：
[0005]一种清洗液加热筒，包括：
[0006]筒体，内具有腔体，所述筒体上设置有清洗液入口和清洗液出口，所述腔体内具有若干隔板以将腔体沿纵向分割成若干腔室，所述隔板上开设有通道口以连通相邻的腔室；
[0007]加热棒，插设于清洗液加热筒内，包括设置于加热筒中心的中间加热棒和围绕中间加热棒四周设置的四周加热棒；
[0008]清洗液入口沿筒体外缘的切线方向向筒体的腔体内注入清洗液，且清洗液入口所在腔室内具有导流板，所述导流板位于清洗液入口正对的加热棒的靠近清洗液入口的一侧，所述导流板能够将清洗液入口流入的清洗液分成两部分。
[0009]优选地，本专利技术的清洗液加热筒，四周加热棒为5根，以中间加热棒的中心为圆心均匀分布在中间加热棒四周。
[0010]优选地，本专利技术的清洗液加热筒，所述导流板能够将清洗液入口流入的清洗液分成两部分，导流板的所述两部分的横截面之比为1：1.5
‑
2.5。
[0011]优选地，本专利技术的清洗液加热筒，所述导流板为弧线面。
[0012]优选地，本专利技术的清洗液加热筒，相邻的腔室的隔板上开设的通道口分别位于筒体的两侧。
[0013]优选地，本专利技术的清洗液加热筒，所述通道口的中间设置有加热棒，且加热棒的超过一半的部分位于通道口的镂空处。
[0014]优选地，本专利技术的清洗液加热筒，所述加热棒具有若干变频加热棒和定频加热棒。
[0015]优选地，本专利技术的清洗液加热筒，中间加热棒及未设置在通道口处的四周加热棒为定频加热棒，设置在通道口处的四周加热棒为变频加热棒。
[0016]本专利技术的有益效果是：
[0017]本专利技术的清洗液加热筒，导流板将清洗液入口分成两部分，使得清洗液入口流出
入的清洗液分成两部分，导流板分开清洗液入口流入的清洗液，防止进入的清洗液直接撞击“加热棒”，降低流动阻力，提高清洗液流入速度。同时，两部分清洗液也能很好地与两部分的加热棒进行充分热交换。
附图说明
[0018]下面结合附图和实施例对本申请的技术方案进一步说明。
[0019]图1是本申请实施例的清洗液加热筒的结构示意图；
[0020]图2是本申请实施例的清洗液加热筒的纵截面图；
[0021]图3是本申请实施例的清洗液加热筒的横截面图。
[0022]图中的附图标记为：
[0023]1 筒体；
[0024]2 加热棒；
[0025]11 清洗液入口；
[0026]12 清洗液出口；
[0027]13 隔板；
[0028]14 通道口；
[0029]15 导流板；
[0030]21 中间加热棒；
[0031]22 四周加热棒。
具体实施方式
[0032]需要说明的是，在不冲突的情况下，本申请中的实施例及实施例中的特征可以相互组合。
[0033]在本申请的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本申请和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本申请保护范围的限制。此外，术语“第一”、“第二”等仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”等的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术创造的描述中，除非另有说明，“多个”的含义是两个或两个以上。
[0034]在本申请的描述中，需要说明的是，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或一体地连接；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通。对于本领域的普通技术人员而言，可以通过具体情况理解上述术语在本申请中的具体含义。
[0035]下面将参考附图并结合实施例来详细说明本申请的技术方案。
[0036]实施例1
[0037]本实施例提供一种清洗液加热筒，如图1所示，包括：
[0038]筒体1，内具有腔体，所述筒体1上设置有清洗液入口11和清洗液出口12，所述腔体内具有若干隔板13以将腔体沿纵向分割成若干腔室，所述隔板13上开设有通道口14以连通相邻的腔室；
[0039]加热棒2，插设于清洗液加热筒内，如图1所示，包括设置于加热筒中心的中间加热棒21和围绕中间加热棒21四周设置的5根四周加热棒22；
[0040]清洗液入口11沿筒体1外缘的切线方向向筒体1的腔体内注入清洗液，且清洗液入口11所在腔室内具有导流板15，所述导流板15位于清洗液入口11正对的加热棒2的靠近清洗液入口11的一侧，所述导流板15能够将清洗液入口11流入的清洗液分成两部分，导流板15的所述两部分的横截面之比为1：1.5
‑
2.5；也即图中S1：S2为1:1.5
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2.5，如图3所示，从而使得清洗液一部分向下走，一部分向上走，导流板15分出的比例为流入上下两部分的“流域”面积的比例相符。以两根加热棒2的中心的连接线为界，S1为下半部分的面积，S2为上半部分的面积。
[0041]本实施例中，导流板15将清洗液入口11分成两部分，使得清洗液入口11流出入的清洗液分成两部分，导流板15分开清洗液入口11流入的清洗液，防止进入的清洗液直接撞击“加热棒2”，降低流动阻力，提高清洗液流入速度。同时，两部分清洗液也能很好地与两部分的加热棒2进行充分热交换。
[0042]进一步地，相邻的腔室的隔板13上开设的通道口14分别位于筒体的两侧，比如图3，清洗液入口11所在腔室的通道口14位于右上，那么，与该腔室相邻的下一个腔室的通道口14位于左下。两侧的通道口14能够使清洗液流动时，能够经过整个腔室，使得对清洗液的加热更加充分。
[0043]进一步本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种清洗液加热筒，其特征在于，包括：筒体(1)，内具有腔体，所述筒体(1)上设置有清洗液入口(11)和清洗液出口(12)，所述腔体内具有若干隔板(13)以将腔体沿纵向分割成若干腔室，所述隔板(13)上开设有通道口(14)以连通相邻的腔室；加热棒(2)，插设于清洗液加热筒内，包括设置于加热筒中心的中间加热棒(21)和围绕中间加热棒(21)四周设置的四周加热棒(22)；清洗液入口(11)沿筒体(1)外缘的切线方向向筒体(1)的腔体内注入清洗液，且清洗液入口(11)所在腔室内具有导流板(15)，所述导流板(15)位于清洗液入口(11)正对的加热棒(2)的靠近清洗液入口(11)的一侧，所述导流板(15)能够将清洗液入口(11)流入的清洗液分成两部分。2.根据权利要求1所述的清洗液加热筒，其特征在于，四周加热棒(22)为5根，以中间加热棒(21)的中心为圆心均匀分布在中间加热棒(21)四周。3.根据权利要求2所述的...

【专利技术属性】
技术研发人员：钱诚，李刚，王禹涵，
申请(专利权)人：江苏亚电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：