一种橡胶类压敏胶黏剂及其制备方法与应用技术

本发明专利技术公开了一种橡胶类压敏胶黏剂及其制备方法与应用，所述橡胶类压敏胶黏剂包含按重量份数计的以下组分：橡胶类压敏胶聚合物60

【技术实现步骤摘要】
一种橡胶类压敏胶黏剂及其制备方法与应用


[0001]本专利技术涉及胶带
，具体涉及一种橡胶类压敏胶黏剂及其制备方法与应用。

技术介绍

[0002]化学机械抛光(CMP)也称化学机械研磨，是半导体行业中器件加工的一种技术，是通过化学腐蚀及机械加工的共同作用实现对于晶圆(Si)和衬底材料(Cu或Al)进行研磨处理的工艺。即在抛光浆料和一定压力存在下，工件表面在抛光液中的腐蚀介质作用下形成一层软化层，抛光液中的磨粒对工件上的软化层进行磨削，因而在被研磨的工件表面形成光洁表面。
[0003]CMP工艺所采用的设备及消耗品包括：抛光基台、抛光液去离子水、化学机械抛光垫等。抛光基台材质一般为铝板或者钢板等刚性材料；抛光垫一般都是高分子材料，如聚氨酯抛光垫、合成聚酯纤维抛光垫、合成革拋光垫等。拋光垫的硬度、密度、材质、弹性模量等对抛光质量影响较大。若长时间不更换的抛光垫，被抛光去除的材料残余物易存留在其中会对工件表面造成划痕；同时抛光后的抛光垫若不及时清洗，风干后粘结在抛光垫内的固体会对下一次抛光质量产生影响。抛光垫是一种耗材，需要适时撕处更换，因此对用于粘结抛光基台和抛光垫的研磨胶带的性能要求较高。用于固定抛光基台与抛光垫的研磨胶带，不仅需要与铝板、钢板等刚性材料具有强的粘结力，同时还要与聚酯等低表面能材料具有极高的粘结强度；另外抛光垫长期处于抛光液去离子水环境中，因此用于粘结抛光基台和抛光垫的研磨胶带需具有一定程度的耐水性，且为满足抛光垫适时更换的需求，研磨胶带需要易撕处且剥离后无残留。
[0004]目前的双面胶主要是以纸、布、聚酯薄膜为基材，再将弹性体型压敏胶或树脂型压敏胶均匀涂布在上述基材上制成的卷状胶粘带。但普通的双面胶带由于胶层对低表面能材料粘接强度低、耐高温性能及耐水性能差易导致抛光垫在使用过程中出现粘结不牢固而脱落的现象，且剥离后残胶导致后期抛光垫高度不平整，从而影响抛光质量，降低生产良率的问题。因此，亟需开发一种适用于制备CMP胶带的新型压敏胶粘剂，提高抛光基台与抛光垫粘结持久性的同时，实现易撕处且剥离后无残留的效果，以提高产品的生产良率。

技术实现思路

[0005]本专利技术要解决的技术问题是提供一种橡胶类压敏胶黏剂及其制备方法与应用，该橡胶类压敏胶黏剂包含由丙烯酸酯类单体改性合成橡胶聚合得到的橡胶类压敏胶聚合物，具有独特压敏胶分子链结构，粘性可调整的范围大，交联固化后可通过分子链柔软橡胶链段保证初粘性，而硬塑料链段和交联点保证较高的内聚力，从而实现由其固化制备得到的胶层与抛光基台、抛光垫均具有高粘结强度，且胶层易撕处，剥离后无残胶。
[0006]为解决上述技术问题，本专利技术提供以下技术方案：
[0007]本专利技术第一方面提供了一种橡胶类压敏胶黏剂，所述橡胶类压敏胶黏剂包含按重
量份数计的以下组分：橡胶类压敏胶聚合物60
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70份、增粘树脂25
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30份、固化剂0.1
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0.5份、助剂0.1
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1份；所述橡胶类压敏胶聚合物为一种或多种丙烯酸酯类单体对合成橡胶进行改性聚合得到的共聚物。
[0008]进一步地，所述丙烯酸酯类单体为甲基丙烯酸烷基酯、丙烯酸烷基酯、含芳基的甲基丙烯酸酯、含芳基的丙烯酸酯、含脂环基的甲基丙烯酸酯、含脂环基的丙烯酸酯、甲基丙烯酰胺衍生物、丙烯酰胺衍生物、含烷撑二醇链的甲基丙烯酸酯、含烷撑二醇链的丙烯酸酯中的一种或多种。
[0009]进一步地，所述甲基丙烯酸烷基酯及丙烯酸烷基酯中的烷基为C1～C18的烷基。
[0010]进一步地，所述甲基丙烯酸烷基酯包含甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸异丁酯、甲基丙烯酸叔丁基酯、甲基丙烯酸正戊基酯、甲基丙烯酸正己基酯、甲基丙烯酸正辛基酯、甲基丙烯酸异辛基酯、甲基丙烯酸2
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乙基己酯、甲基丙烯酸异癸基酯、甲基丙烯酸十二烷基酯、甲基丙烯酸硬脂基酯。
[0011]进一步地，所述丙烯酸烷基酯包括丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正丁酯、丙烯酸异丁酯、丙烯酸叔丁基酯、丙烯酸正戊基酯、丙烯酸正己基酯、丙烯酸正辛基酯、丙烯酸异辛基酯、丙烯酸2
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乙基己酯、丙烯酸异癸基酯、丙烯酸十二烷基酯、丙烯酸硬脂基酯。
[0012]进一步地，所述含芳基的甲基丙烯酸酯及含芳基的丙烯酸酯中的芳基为苄基或苯氧基；所述含芳基的甲基丙烯酸酯优选为甲基丙烯酸苄基酯、甲基丙烯酸苯氧基乙酯，所述含芳基的丙烯酸酯优选为丙烯酸苄基酯、丙烯酸苯氧基乙酯。
[0013]进一步地，所述含脂环基的甲基丙烯酸酯及含脂环基的丙烯酸酯中的脂环基为环己基、异冰片基或二环戊基；所述含脂环基的甲基丙烯酸酯为甲基丙烯酸环己基酯、甲基丙烯酸异冰片基酯、甲基丙烯酸二环戊基酯，所述含脂环基的丙烯酸酯为丙烯酸环己基酯、丙烯酸异冰片基酯、丙烯酸二环戊基酯。
[0014]进一步地，所述甲基丙烯酰胺衍生物为甲基丙烯酸N,N
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二甲基氨基乙酯、N,N
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二甲基氨基丙基甲基丙烯酰胺、N,N
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二甲基甲基丙烯酰胺、N
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异丙基甲基丙烯酰胺、N,N
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二乙基甲基丙烯酰胺、N
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羟基乙基甲基丙烯酰胺中的一种或多种；所述丙烯酰胺衍生物为丙烯酸N,N
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二甲基氨基乙酯、N,N
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二甲基氨基丙基丙烯酰胺、N,N
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二甲基丙烯酰胺、N
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异丙基丙烯酰胺、N,N
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二乙基丙烯酰胺、N
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羟基乙基丙烯酰胺中的一种或多种。
[0015]进一步地，所述合成橡胶为丁苯热塑性弹性体、苯乙烯
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异戊二烯嵌段共聚物、氢化苯乙烯
‑
丁二烯嵌段共聚物、氢化苯乙烯异戊二烯共聚物热塑性弹性体、乙丙橡胶、丁苯树脂中的一种或多种。
[0016]进一步地，所述增粘树脂为松香树脂、松香树脂衍生物、萜烯树脂、萜烯酚醛树脂、苯乙烯萜烯树脂、C5石油树脂、C9石油树脂、C5/C9共聚石油树脂以及石油饱和树脂中的一种或多种。
[0017]进一步地，所述固化剂为异氰酸酯固化剂和/或环氧型固化剂。
[0018]进一步地，所述异氰酸酯固化剂为HDI、MDI、XDI、TDI、IPDI中的一种或多种，所述环氧类固化剂为GA240和/或NE
‑
100X。
[0019]进一步地，所述助剂为硅烷偶联剂、增粘剂、增塑剂、抗静电剂、紫外吸收剂、抗氧化剂、流平剂、消泡剂、热稳定剂和防腐剂中的一种或多种。
[0020]进一步地，所述橡胶类压敏胶黏剂还包含10～20份有机溶剂，所述有机溶剂为乙
酸丁酯、乙酸乙酯、甲苯和二甲苯中的一种或多种。
[0021]进一步地，所述橡胶类压敏胶聚合物的分子量为400000～800000，优选分子量为500000～700000。
[0022]进一步地，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种橡胶类压敏胶黏剂，其特征在于，所述橡胶类压敏胶黏剂包含按重量份数计的以下组分：橡胶类压敏胶聚合物60
‑
70份、增粘树脂25
‑
30份、固化剂0.1
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0.5份、助剂0.1
‑
1份；所述橡胶类压敏胶聚合物为一种或多种丙烯酸酯类单体对合成橡胶进行改性聚合得到的共聚物。2.根据权利要求1所述的一种橡胶类压敏胶黏剂，其特征在于，所述丙烯酸酯类单体为甲基丙烯酸烷基酯、丙烯酸烷基酯、含芳基的甲基丙烯酸酯、含芳基的丙烯酸酯、含脂环基的甲基丙烯酸酯、含脂环基的丙烯酸酯、甲基丙烯酰胺衍生物、丙烯酰胺衍生物、含烷撑二醇链的甲基丙烯酸酯、含烷撑二醇链的丙烯酸酯中的一种或多种。3.根据权利要求2所述的一种橡胶类压敏胶黏剂，其特征在于，所述甲基丙烯酸烷基酯包含甲基丙烯酸甲酯、甲基丙烯酸乙酯、甲基丙烯酸正丁酯、甲基丙烯酸异丁酯、甲基丙烯酸叔丁基酯、甲基丙烯酸正戊基酯、甲基丙烯酸正己基酯、甲基丙烯酸正辛基酯、甲基丙烯酸异辛基酯、甲基丙烯酸2
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乙基己酯、甲基丙烯酸异癸基酯、甲基丙烯酸十二烷基酯、甲基丙烯酸硬脂基酯；所述丙烯酸烷基酯包括丙烯酸甲酯、丙烯酸乙酯、丙烯酸正丁酯、丙烯酸异丁酯、丙烯酸叔丁基酯、丙烯酸正戊基酯、丙烯酸正己基酯、丙烯酸正辛基酯、丙烯酸异辛基酯、丙烯酸2
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乙基己酯、丙烯酸异癸基酯、丙烯酸十二烷基酯、丙烯酸硬脂基酯；所述含芳基的甲基丙烯酸酯及含芳基的丙烯酸酯中的芳基为苄基或苯氧基；所述含脂环基的甲基丙烯酸酯及含脂环基的丙烯酸酯中的脂环基为环己基、异冰片基或二环戊基；所述甲基丙烯酰胺衍生物包含甲基丙烯酸N,N
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二甲基氨基乙酯、N,N
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二甲基氨基丙基甲基丙烯酰胺、N,N
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二甲基甲基丙烯酰胺、N
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异丙基甲基丙烯酰胺、N,N
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二乙基甲基丙烯酰胺、N
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羟基乙基甲基丙烯酰胺；所述丙烯酰胺衍生物包含丙烯酸N,N
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二甲基氨基乙酯、N,N
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二甲基氨基丙基丙烯酰胺、N,N
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二甲基丙烯酰胺、N
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异丙基丙烯酰胺、N,N
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二乙基丙烯酰胺、N
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羟基乙基丙烯酰胺。4.根据权利要求1所述的一...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈艺超，邹学良，陈洪野，吴小平，
申请(专利权)人：苏州赛伍应用技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：