【技术实现步骤摘要】
一种实时控制NEA GaN电子源扩散长度的方法
[0001]本专利技术涉及一种方法,具体涉及一种实时控制NEA GaN电子源扩散长度的方法。
技术介绍
[0002]GaN作为第三代半导体材料,具有耐腐蚀、耐高温、抗辐射等优良特性。NEA GaN光阴极具有量子效率高、禁带宽度宽、物理化学性质稳定、发射电子能量分布集中等优点,是高性能的紫外光阴极。光阴极由激光控制,可以产生超短、高峰值亮度、低发射度的高品质电子束,相比传统的热发射和场致发射电子源,光阴极是非常理想的电子源。
[0003]根据现有的技术,在不同应用需求下,要改变NEA GaN电子源的量子效率需要更换材料并重新激活,这种方法步骤繁琐,操作复杂,控制单一且精度难把握,实验效率低。
[0004]从NEA GaN电子源的量子效率计算公式中可以看出,NEA GaN电子源的扩散长度会直接影响量子效率的值。在不同的NEA GaN电子源的量子效率需求下,通过控制扩散长度可以间接控制量子效率,从而实现在不改变NEA GaN电子源材料的情况下实时控制NEA GaN电子
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种实时控制NEA GaN电子源扩散长度的方法,其特征在于,建立了一个目标扩散长度与温度相对应的模型。2.一种实时控制NEA GaN电子源扩散长度的方法,其特征在于,推导出了模型公式:T=L2e/kμτ。3.一种实时控制NEA GaN电子源扩散长度的方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)输入目标偏离值s、目标扩散长度L和标定需要的数据数量m;(2)获取NEA GaN电子源当前的扩散长度L0,所处环境的温度T0,在T0温度下多次测量获得m组扩散长度数据;(3)将上述m组数据代入模型公式中:T0=L
012
e/kμτ...T0=L
0m2
e/kμτ。(4)拟合得到常数μ0和τ0;(5)将标定好的常数以及目标扩散长度L代入模型公式中,计算得到温度T1:T1=L2e/kμ0τ0。(6)设定NEA GaN电子源温度为T1,测量其实际扩散长度L1并计算偏离值s1,若s1小于s,则输出温度T=T1,反之,则根据T1和L1继续标定μ1和τ1,计算温度T2,测量T2下的L2,比较偏离值s2和s;(7)循环往复,直至s
n
小于s,输出对应L的最佳温度T=T
n
,达到实时控制扩散长度的目的。4.如权利要求3所述的一种实时控...
【专利技术属性】
技术研发人员:张依辰,王晓晖,全卓艺,李嘉璐,
申请(专利权)人:电子科技大学,
类型:发明
国别省市:
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