下载一种实时控制NEAGaN电子源扩散长度的方法的技术资料

文档序号:34609530

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本发明提供一种实时控制NEAGaN电子源扩散长度的方法,具体为:建立一个目标扩散长度与温度相对应,通过改变温度实现扩散长度实时可变的模型。输入目标偏离值s、目标扩散长度L和标定需要的数据数量m;获取NEAGaN电子源当前的扩散长度L0,所处...
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