【技术实现步骤摘要】
一种圆管外壁镀膜装置
[0001]本专利技术涉及薄膜制备
，具体涉及一种圆管外壁镀膜装置。
技术介绍
[0002]薄膜是厚度维度远小于长宽维度物质形态，通常说的薄膜材料厚度在微米量级。不同于块体与粉体，薄膜的形态特殊使得其结构、力学、热学、电学和光学性质也比较特殊，不仅为材料改性提供了思路，而且也扩展了材料应用领域。
[0003]绝大部分的固体薄膜材料都是制备在基体或衬底上的。基体作为薄膜材料附着体，有各种几何形态，无论是制备还是测试，平面型基体是最常见的。但在实际应用中，平面型基底的情况并不普遍，存在大量使用非平面型基底的情况，比如圆管状基体。众所周知，薄膜材料中存在不同于块体材料的尺寸效应，几乎所有的物性都与薄膜厚度显著相关。因此，薄膜厚度的控制是调控其性质的一个重要参数。大部分薄膜制备方法应用于平面型基体时都能够有效的保证薄膜厚度的均匀性或精确调控性，物性测试方法也存在类似情况。但对于非平面型基体，就存在一定的难度和不确定性。即便是同一种薄膜制备方法，如果不考虑基体的几何特征而无差别使用相同的设备和工艺来...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种圆管外壁镀膜装置，其特征在于：包括控制箱(1)和设于该控制箱(1)上的升降单元(2)、雾化单元(3)和反应单元(4)，圆管衬底(25)可转动地设于所述升降单元(2)上；所述反应单元(4)包括置于所述控制箱(1)上的金属均热板(41)，该金属均热板(41)通过均匀分布在其上的碘钨灯(47)进行加热，所述金属均热板(41)上设石英腔体(42)，所述圆管衬底(25)位于该石英腔体(42)内，所述石英腔体(42)内设有热电偶，该热电偶通过导线与所述控制箱(1)电连接，溶液在所述雾化单元(3)内雾化后进入所述石英腔体(42)，实现在所述圆管衬底(25)上进行镀膜。2.根据权利要求1所述的一种圆管外壁镀膜装置，其特征在于：在所述石英腔体(42)上设腔体盖板(43)，在所述石英腔体(42)内设蓝宝石均热板(44)，所述圆管衬底(25)位于该蓝宝石均热板(44)和腔体盖板(43)之间。3.根据权利要求2所述的一种圆管外壁镀膜装置，其特征在于：在所述金属均热板(41)上设隔热罩(45)。4.根据权利要求1所述的一种圆管外壁镀膜装置，其特征在于：所述升降单元(2)包括设于所述控制箱(1)上的垂直升降台(21)，该垂直升降台(21)上连接十字梁(22)，该十字梁(22)的两端分别连接有一个转轴机构，两个转轴机构沿水平方向相对设置且同轴，所述转轴机构由电机(24)驱动，所述圆管衬底(25)的两端分别与对应端的所述转轴机构连接。5.根据权利要求4所述的一种圆管外壁镀膜装置，其特征在于：所述十字梁(22)的一端与所述垂直升降台(21)连接，另一端沿竖直方向滑动设于限位槽(23)内...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈刚，唐毅，秦源涛，黄俊宇，龚恒翔，肖黎，
申请(专利权)人：重庆理工大学，
类型：发明
国别省市：
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