一种提篮槽层延伸治具制造技术

本实用新型专利技术提供一种提篮槽层延伸治具，包括，安装在8寸提篮槽层主体上的防护组件，所述防护组件包括防护板，所述防护板上开设有防护槽，并且防护板的一侧设置有连接件，所述防护板位于所述8寸提篮槽层主体的上方，所述连接件为L形，并且连接件通过螺栓与所述8寸提篮槽层主体和防护板连接，所述连接件共设置有两个，两个所述连接件对称分布在所述防护板的两侧，本实用新型专利技术提供的提篮槽层延伸治具，通过防护板上的防护槽，使得在对8寸提篮槽层主体内部的晶圆向上取出时，对取出的晶圆进行限位，避免了晶圆在8寸提篮槽层主体的内部向上抽拉过程中，容易触碰8寸提篮槽层主体内部的晶圆，进而容易造成8寸提篮槽层主体内部晶圆的损伤。的损伤。的损伤。

【技术实现步骤摘要】
一种提篮槽层延伸治具


[0001]本技术涉及8寸提篮槽层
，尤其涉及一种提篮槽层延伸治具。

技术介绍

[0002]8寸提篮槽层是对多个晶圆进行收纳的容器。
[0003]晶圆是指制作硅半导体电路所用的硅晶片，其原始材料是硅，高纯度的多晶硅溶解后掺入硅晶体晶种，然后慢慢拉出，形成圆柱形的单晶硅，硅晶棒在经过研磨，抛光，切片后，形成硅晶圆片，也就是晶圆。
[0004]但现有的对晶圆收纳的8寸提篮槽层，层与层之间间隙较小，只有6.27mm，晶圆边缘在未抽拉出提篮时，就会脱出提篮槽层，容易碰触到下一层晶圆表面，造成晶圆表面刮伤。
[0005]因此，有必要提供一种提篮槽层延伸治具解决上述技术问题。

技术实现思路

[0006]本技术提供一种提篮槽层延伸治具，解决了现有的8寸提篮槽层在取出晶圆时容易碰触到下一层晶圆表面的问题。
[0007]为解决上述技术问题，本技术提供的提篮槽层延伸治具，包括：安装在8寸提篮槽层主体上的防护组件，所述防护组件包括防护板，所述防护板上开设有防护槽，并且防护板的一侧设置有连接件。
[0008]优选的，所述防护板位于所述8寸提篮槽层主体的上方，所述连接件为L形，并且连接件通过螺栓与所述8寸提篮槽层主体和防护板连接。
[0009]优选的，所述连接件共设置有两个，两个所述连接件对称分布在所述防护板的两侧。
[0010]优选的，所述防护板共设置有两个，两个所述防护板对称分布在所述8寸提篮槽层主体的两侧，并且两个防护板上的结构相同。
>[0011]优选的，所述防护槽共设置有多个，多个所述防护槽均匀分布在所述防护板上。
[0012]优选的，所述8寸提篮槽层主体上设置有折叠组件，所述折叠组件包括安装板，所述安装板上滑动连接有升降杆，所述升降杆的一端固定安装有连接盘，并且升降杆的表面套设有拉动弹簧，所述防护板上固定安装有固定板，所述固定板上开设有连通槽，所述防护板上固定安装有转动件。
[0013]优选的，所述安装板固定安装在所述8寸提篮槽层主体上，所述升降杆为圆形，并且升降杆的表面与所述连通槽的内表面滑动连接，所述拉动弹簧的两端分别与所述安装板的表面和所述连接盘的表面固定连接。
[0014]优选的，所述固定板位于所述安装板的上方，所述转动件共设置有两个，两个所述转动件对称分布在所述防护板的两侧，并且转动件通过螺栓与所述防护板和所述8寸提篮槽层主体连接。
[0015]与相关技术相比较，本技术提供的提篮槽层延伸治具具有如下有益效果：
[0016]本技术提供一种提篮槽层延伸治具，通过防护板上的防护槽，使得在对8寸提篮槽层主体内部的晶圆向上取出时，对取出的晶圆进行限位，避免了晶圆在8寸提篮槽层主体的内部向上抽拉过程中，容易触碰8寸提篮槽层主体内部的晶圆，进而容易造成8寸提篮槽层主体内部晶圆的损伤。
附图说明
[0017]图1为本技术提供的提篮槽层延伸治具的第一实施例的结构示意图；
[0018]图2为本技术提供的提篮槽层延伸治具的第二实施例的结构示意图；
[0019]图3为图2所示的A部放大示意图。
[0020]图中标号：1、8寸提篮槽层主体，2、防护组件，21、防护板，22、防护槽，23、连接件，3、折叠组件，31、安装板，32、升降杆，33、连接盘，34、拉动弹簧，35、固定板，36、连通槽，37、转动件。
具体实施方式
[0021]下面结合附图和实施方式对本技术作进一步说明。
[0022]第一实施例
[0023]请结合参阅图1，其中，图1为本技术提供的提篮槽层延伸治具的第一实施例的结构示意图。一种提篮槽层延伸治具包括：安装在8寸提篮槽层主体1上的防护组件2，所述防护组件2包括防护板21，所述防护板21上开设有防护槽22，并且防护板21的一侧设置有连接件23。
[0024]所述防护板21位于所述8寸提篮槽层主体1的上方，所述连接件23为L形，并且连接件23通过螺栓与所述8寸提篮槽层主体1和防护板21连接。
[0025]所述连接件23共设置有两个，两个所述连接件23对称分布在所述防护板21的两侧。
[0026]连接件23是将防护板21固定在8寸提篮槽层主体1上。
[0027]所述防护板21共设置有两个，两个所述防护板21对称分布在所述8寸提篮槽层主体1的两侧，并且两个防护板21上的结构相同。
[0028]两个防护板21上的防护槽22是对晶圆的两端进行限位。
[0029]所述防护槽22共设置有多个，多个所述防护槽22均匀分布在所述防护板21上。
[0030]通过设置的防护槽22可以对晶圆与晶圆之间进行隔离，进而对晶圆取出时，直接抽拉晶圆即可，减少小心翼翼抽拉动作的耗时。
[0031]与相关技术相比较，本技术提供的提篮槽层延伸治具具有如下有益效果：
[0032]通过防护板21上的防护槽22，使得在对8寸提篮槽层主体1内部的晶圆向上取出时，对取出的晶圆进行限位，避免了晶圆在8寸提篮槽层主体1的内部向上抽拉过程中，容易触碰8寸提篮槽层主体1内部的晶圆，进而容易造成8寸提篮槽层主体1内部晶圆的损伤。
[0033]第二实施例
[0034]请参阅图2、图3，基于本申请的第一实施例提供的一种提篮槽层延伸治具，本申请的第二实施例提出另一种提篮槽层延伸治具。第二实施例仅仅是第一实施例优选的方式，
第二实施例的实施对第一实施例的单独实施不会造成影响。
[0035]具体的，本申请的第二实施例提供的提篮槽层延伸治具的不同之处在于，提篮槽层延伸治具，所述8寸提篮槽层主体1上设置有折叠组件3，所述折叠组件3包括安装板31，所述安装板31上滑动连接有升降杆32，所述升降杆32的一端固定安装有连接盘33，并且升降杆32的表面套设有拉动弹簧34，所述防护板21上固定安装有固定板35，所述固定板35上开设有连通槽36，所述防护板21上固定安装有转动件37。
[0036]连接盘33上设置有把手或者拉动绳，把手或者拉动绳是更加方便对连接盘33进行拉动，8寸提篮槽层主体1上设置有定位件，定位件用于对折叠后的防护板21进行定位。
[0037]所述安装板31固定安装在所述8寸提篮槽层主体1上，所述升降杆32为圆形，并且升降杆32的表面与所述连通槽36的内表面滑动连接，所述拉动弹簧34的两端分别与所述安装板31的表面和所述连接盘33的表面固定连接。
[0038]拉动弹簧34是当不再对升降杆32进行拉动时，由拉动弹簧34拉动连接盘33，使得连接盘33带动升降杆32进入连通槽36的内部。
[0039]所述固定板35位于所述安装板31的上方，所述转动件37共设置有两个，两个所述转动件37对称分布在所述防护板21的两侧，并且转动件37通过螺栓与所述防护板21和所述8寸提篮槽层主体1连接。
[0040]转动件37是对防护板21进行限位，使得本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种提篮槽层延伸治具，其特征在于，包括：安装在8寸提篮槽层主体上的防护组件，所述防护组件包括防护板，所述防护板上开设有防护槽，并且防护板的一侧设置有连接件，所述8寸提篮槽层主体上设置有折叠组件，所述折叠组件包括安装板，所述安装板上滑动连接有升降杆，所述升降杆的一端固定安装有连接盘，并且升降杆的表面套设有拉动弹簧，所述防护板上固定安装有固定板，所述固定板上开设有连通槽，所述防护板上固定安装有转动件。2.根据权利要求1所述的提篮槽层延伸治具，其特征在于，所述防护板位于所述8寸提篮槽层主体的上方，所述连接件为L形，并且连接件通过螺栓与所述8寸提篮槽层主体和防护板连接。3.根据权利要求1所述的提篮槽层延伸治具，其特征在于，所述连接件共设置有两个，两个所述连接件对称分布在所述防护板的两侧。4.根据权利要求1...

【专利技术属性】
技术研发人员：田周，吴世茂，
申请(专利权)人：合肥新汇成微电子股份有限公司，
类型：新型
国别省市：