一种承重真空高压电极制造技术

本发明专利技术涉及一种承重真空高压电极，属于材料表面处理工艺装备技术领域。该电极由组合电极柱、电极密封模块以及电极支撑模块组成。组合电极柱包括通过内螺套连接的上段外螺杆和下段封装电极，绝缘套筒下端插装在法兰套管中；电极密封模块包括与法兰套管固连的刀口法兰；法兰套管的上端法兰具有嵌装密封圈的中部凹陷，刀口法兰的环槽内形成带周圈刃口的凸台；电极支撑模块包括位于下部支柱上的至少一级过渡支柱；相邻支柱的相对端面具有嵌装支撑垫圈的沉窝，周圈由支撑垫圈圆周面朝外形成Z字形间隙；Z字形间隙小于辉光厚度。本发明专利技术承重性能好、可靠性高，可以杜绝真空泄漏以及阴阳极之间的短路，基本实现了免维护。基本实现了免维护。基本实现了免维护。

【技术实现步骤摘要】
一种承重真空高压电极


[0001]本专利技术涉及一种可应用于等离子场的热处理或表面处理装备的高压电输入电极，尤其是一种承重真空高压电极，属于材料表面处理工艺装备


技术介绍

[0002]由电离放电基础理论可知，源气体在高频或直流电场作用下电离后的电子和正离子将分别向阳极和阴极运动，并集聚在两极附近形成空间电荷区。正离子因质量大而漂移速度远小于电子，故正离子空间电荷区的电荷密度比电子空间电荷区大得多，结果使得整个极间电压几乎全部集中在阴极附近的狭窄区域内，一旦空间电荷达到阈值时，会发生辉光放电现象。辉光放电的发光分布从阴极到阳极的分布如附图1所示，分为阿斯顿暗区A、阴极辉区B、阴极暗区C、负辉区D、法拉第暗区E、正柱区F、阳极暗区G、阳极辉区H等几个辉光亮度和电压位降不同的区域。阿斯顿暗区、阴极辉区和阴极暗区称为阴极位降区，为辉光放电的特征区域，阴极位降区的厚度称为dk。
[0003]真空高压电引入电极作为热等离子处理装备的关键部件，作用是将高压电通过与工件具有相反电极性的炉底座输送给待处理工件，要求其具有输电、绝缘、密封、防止弧本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种承重真空高压电极，由组合电极柱（1）、电极密封模块（2）以及电极支撑模块（3）组成；其特征在于：所述组合电极柱包括位于绝缘套筒（1
‑
4）内的上段外螺杆（1
‑
3）和下段封装电极（1
‑
1），所述外螺杆的下端和封装电极的上端通过内螺套（1
‑
2）连接；所述绝缘套筒（1
‑
4）下端插装在法兰套管（1
‑
5）中，所述封装电极（1
‑
1）的下端螺纹头延伸出绝缘套筒（1
‑
4）和法兰套管（1
‑
5）；所述绝缘套筒（1
‑
4）和法兰套管（1
‑
5）被邻近封装电极（1
‑
1）下端的陶瓷封装头（1
‑1’
）封装；所述电极密封模块包括借助紧固件（2
‑
3）与所述法兰套管的上端法兰固连的刀口法兰（2
‑
1），以及由刀口法兰朝上延伸的金属管（2
‑
4），所述金属管的上端与炉底（D）封闭固连；所述法兰套管的上端法兰具有嵌装密封圈（2
‑
2）的中部凹陷，所述刀口法兰与法兰套管的上端法兰的对合端面具有直径大于所述中部凹陷的环槽（2
‑1’
），所述环槽内形成带周圈刃口（2
‑
1”）的凸台；组装时，所述周圈刃口接触所述密封圈的端面并使其产生塑性形变；所述电极支撑模块包括下端与炉底密封...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈强，胡淏，李灵敏，刘建军，李娄明，
申请(专利权)人：中车戚墅堰机车车辆工艺研究所有限公司，
类型：发明
国别省市：