一种硅单晶生产用尾气处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种硅单晶生产用尾气处理装置，属于尾气处理技术领域，其技术方案要点包括第一过滤筒和第二过滤筒，所述第一过滤筒和第二过滤筒通过联通管相互连接，所述第一过滤筒的边侧设置有进气管，将进气管连接单晶炉，使得生产过程中的废气经过进气管进入第一过滤筒中，利用活性炭过滤网和吸附棒吸附过滤废气中的杂质和颗粒，然后利用联通管将过滤后的气体送入第二过滤筒中，延伸管将气体送入处理池中的处理液中，去除废气中的氯化物及碳化物，并通过喷淋结构进行二次喷淋接触，保证了均匀接触，提高了处理效果，以及通过旋转拆卸顶盖，方便将第一过滤筒和第二过滤筒打开，便于取出过滤网和清理处理池，提高了便捷性。提高了便捷性。提高了便捷性。

【技术实现步骤摘要】
一种硅单晶生产用尾气处理装置


[0001]本技术涉及尾气处理
，特别涉及一种硅单晶生产用尾气处理装置。

技术介绍

[0002]硅单晶生产拉制过程中会产生废气，废气中含有大量的氯化物及碳化物等杂质颗粒，在连续生产线生产过程中，废气需要不间断的排出，由于硅单晶生长产生的废气颗粒会降低抽气真空泵的性能，因此需要经过滤后再排放。
[0003]但是现有的硅单晶生产用尾气处理装置处理效果较差，同时过滤组件不便于插拆卸清理，维护较为繁琐，大大降低了实用性。

技术实现思路

[0004]本技术针对以上问题，提出一种硅单晶生产用尾气处理装置来解决上述问题。
[0005]本技术是这样实现的，一种硅单晶生产用尾气处理装置，包括第一过滤筒和第二过滤筒，所述第一过滤筒和第二过滤筒通过联通管相互连接，所述第一过滤筒的边侧设置有进气管，所述第二过滤筒的边侧设置有出气管，所述第二过滤筒的左端位于出气管的边侧设置有喷淋结构；
[0006]所述第一过滤筒的上端安装有第一顶盖，所述第一顶盖的下端固定连接有第一密封端，所述第一密封端和第一过滤筒本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种硅单晶生产用尾气处理装置，其特征在于，包括：第一过滤筒(1)和第二过滤筒(2)，所述第一过滤筒(1)和第二过滤筒(2)通过联通管(3)相互连接，所述第一过滤筒(1)的边侧设置有进气管(4)，所述第二过滤筒(2)的边侧设置有出气管(5)，所述第二过滤筒(2)的左端位于出气管(5)的边侧设置有喷淋结构(6)；所述第一过滤筒(1)的上端安装有第一顶盖(101)，所述第一顶盖(101)的下端固定连接有第一密封端(102)，所述第一密封端(102)和第一过滤筒(1)的上端螺纹连接，所述第一密封端(102)的下端固定连接有连接杆(103)，所述连接杆(103)的下端固定连接有安装盘(104)，所述安装盘(104)的表面开设有通孔(105)，所述第一过滤筒(1)的内部固定连接有限位边框(106)，所述安装盘(104)下端的外侧设置有活性炭过滤网(107)，所述安装盘(104)的下端位于活性炭过滤网(107)的内侧设置有吸附棒(108)；所述第二过滤筒(2)的上端安装有第二顶盖(201)，所述第二顶盖(201)的下端设置有第二密封端(202)，所述第二密封端(202)和第二过滤筒(2)螺纹连接，所述第二过滤筒(2)内部的下端设置有处理池(203)，所述第二过滤筒(2)的下端设置有排污管(204)。2.根据权利要求1所述的一种硅单晶生产用尾气处理装置，其特征在于：所述通孔(105)呈环形阵列分布，所述通孔(105)和活性炭过滤网(107)、吸附棒(...

【专利技术属性】
技术研发人员：董长海，周小渊，温洋，苏波，马占东，吴建成，高剑涛，沙彦文，陈娟，贺俊杰，
申请(专利权)人：宁夏中晶半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：