【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于单晶制造设备，具体涉及一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法。
技术介绍
1、随着世界经济的不断发展，现代化建设对高效能源需求不断增长。光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的一种主要能源，日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片作为光伏发电的一种基础材料，拥有广泛的市场需求。直拉单晶硅生长方法是一种常见的单晶生长方法，其生长过程是在单晶炉中，将籽晶浸入熔体，依次实施引晶、放肩、转肩、等径及收尾过程，最后获得单晶硅棒。
2、单晶炉整炉拉晶结束后，进入停炉工步，下降坩埚位置，使石英坩埚远离热屏，再通过单晶炉上方通入氩气，由下方真空泵将带有热量的氩气抽出，达到热场冷却的目的。
3、现有的单晶炉热场冷却还存在部分缺陷，目前行业为节约用电，大部分热场保温毡采用黏胶基材质的石墨软毡，这种软毡的优势在于保温性能好，可降低拉晶功率。但保温性能好的同时，就导致热场散热慢。按照以前工艺制定的停炉时间，炉内热场石墨件是发红状态，温度较高，如果延长停炉时间，又会浪费工时，导致成本升高；如果按照正常停炉时间拆炉可能...
【技术保护点】
1.一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，包括炉壳(1)和热屏(2)，其特征在于：所述炉壳(1)的内部设有热屏(2)，所述热屏(2)和炉壳(1)固定连接，所述炉壳(1)的顶部设有氩气管接口(3)，所述氩气管接口(3)的内部设有钨丝绳(4)，所述钨丝绳(4)和氩气管接口(3)的内部固定连接，所述钨丝绳(4)的一端设有冷却工装本体(5)，所述冷却工装本体(5)和钨丝绳(4)可拆卸连接，所述热屏(2)的一侧设有密封板(6)，所所述密封板(6)和热屏(2)固定连接，所述密封板(6)的底部设有连接板(7)，所述连接板(7)的底部设有密封垫(8)，所述密封垫(8)和连接板(7...
【技术特征摘要】
1.一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，包括炉壳(1)和热屏(2)，其特征在于：所述炉壳(1)的内部设有热屏(2)，所述热屏(2)和炉壳(1)固定连接，所述炉壳(1)的顶部设有氩气管接口(3)，所述氩气管接口(3)的内部设有钨丝绳(4)，所述钨丝绳(4)和氩气管接口(3)的内部固定连接，所述钨丝绳(4)的一端设有冷却工装本体(5)，所述冷却工装本体(5)和钨丝绳(4)可拆卸连接，所述热屏(2)的一侧设有密封板(6)，所所述密封板(6)和热屏(2)固定连接，所述密封板(6)的底部设有连接板(7)，所述连接板(7)的底部设有密封垫(8)，所述密封垫(8)和连接板(7)通过粘合固定，所述炉壳(1)的内部设有坩埚(9)，所述炉壳(1)的底部设有排热孔(10)，所述排热孔(10)设有两个。
2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，其特征在于：所述炉壳(1)的底部设有排热管(11)，所述排热管(11)和排热孔(10)相互联通，所述炉壳(1)的底部设有真空泵(12)，所述真空泵(12)和炉壳(1)通过螺丝固定。
3.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，其特征在于：所述坩埚(9)的底部设有螺纹杆(13)，所述螺纹杆(13)和坩埚(9)固定连接，所述螺纹杆(13)的表面套设有第一齿轮(14)，所述第一齿轮(14)和螺纹杆(13)通过螺纹连接，所述第一齿轮(14)和炉壳(1)的底部转动连接。
4.根据权利要求3所述的一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，其特征在于：所述第一齿轮(14)的一侧设有第二齿轮(15)，所述第二齿轮(15)和第一齿...
【专利技术属性】
技术研发人员：贺俊杰，苏波，周小渊，杜瑞平，马占东，周志鹏，
申请(专利权)人：宁夏中晶半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
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