【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于单晶制造设备，具体涉及一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法。
技术介绍
1、随着世界经济的不断发展，现代化建设对高效能源需求不断增长。光伏发电作为绿色能源以及人类可持续发展的一种主要能源，日益受到世界各国的重视并得到大力发展。单晶硅片作为光伏发电的一种基础材料，拥有广泛的市场需求。直拉单晶硅生长方法是一种常见的单晶生长方法，其生长过程是在单晶炉中，将籽晶浸入熔体，依次实施引晶、放肩、转肩、等径及收尾过程，最后获得单晶硅棒。
2、单晶炉整炉拉晶结束后，进入停炉工步，下降坩埚位置，使石英坩埚远离热屏，再通过单晶炉上方通入氩气，由下方真空泵将带有热量的氩气抽出，达到热场冷却的目的。
3、现有的单晶炉热场冷却还存在部分缺陷，目前行业为节约用电，大部分热场保温毡采用黏胶基材质的石墨软毡，这种软毡的优势在于保温性能好，可降低拉晶功率。但保温性能好的同时，就导致热场散热慢。按照以前工艺制定的停炉时间，炉内热场石墨件是发红状态，温度较高，如果延长停炉时间，又会浪费工时，导致成本升高；如果按照正常停炉时间拆炉可能会导致人员烫伤以及石墨件氧化报废的风险，为此我们提出一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法。
技术实现思路
1、本专利技术的目的在于提供一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，以解决上述
技术介绍
中提出热场散热速度慢，降低了生产效率的问题。
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，包括炉
3、优选的，所述炉壳的底部设有排热管，所述排热管和排热孔相互联通，所述炉壳的底部设有真空泵，所述真空泵和炉壳通过螺丝固定。
4、优选的，所述坩埚的底部设有螺纹杆，所述螺纹杆和坩埚固定连接，所述螺纹杆的表面套设有第一齿轮，所述第一齿轮和螺纹杆通过螺纹连接，所述第一齿轮和炉壳的底部转动连接。
5、优选的，所述第一齿轮的一侧设有第二齿轮，所述第二齿轮和第一齿轮啮合连接，所述第二齿轮的一侧设有电机。
6、优选的，所述炉壳的底部设有安装架，所述电机和安装架通过螺丝固定。
7、优选的，所述热屏的底部设有固定板，所述固定板和密封板固定连接。
8、优选的，所述炉壳的内部设有保温层，所述保温层和炉壳固定连接。
9、优选的，所述炉壳的底部设有支撑腿，所述支撑腿设有四个，所述支撑腿和炉壳固定连接。
10、优选的，所述炉壳的一侧设有检修门，所述检修门和炉壳通过合页转动连接。
11、与现有技术相比，本专利技术的有益效果是：
12、1、通过设有的钨丝绳、冷却工装、密封板、连接板、密封垫和排热孔，有效的提高了该装置的冷却速度，只需使带有凹槽的冷却工装转动，提高氩气的流动速度，从而快速的将热量从排热孔排出，有效的提高了工作效率。
13、2、通过设有的排热管和真空泵，可进一步提高了热量排出的速度，在散热时，启动真空泵，可将带有热量的氩气吸入排热管的内部，然后快速排出，提高了生产效率。
14、3、通过设有的螺纹杆、第一齿轮、第二齿轮和电机，实现了坩埚的升降，从而使其可以更好的和热屏配合工作，启动电机，带动第二齿轮转动，从而带动第一齿轮转动，第一齿轮转动时，会带动螺纹杆在第一齿轮的内部滑动，便可带动带动坩埚升降的目的。
本文档来自技高网...【技术保护点】
1.一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，包括炉壳(1)和热屏(2)，其特征在于：所述炉壳(1)的内部设有热屏(2)，所述热屏(2)和炉壳(1)固定连接，所述炉壳(1)的顶部设有氩气管接口(3)，所述氩气管接口(3)的内部设有钨丝绳(4)，所述钨丝绳(4)和氩气管接口(3)的内部固定连接，所述钨丝绳(4)的一端设有冷却工装本体(5)，所述冷却工装本体(5)和钨丝绳(4)可拆卸连接，所述热屏(2)的一侧设有密封板(6)，所所述密封板(6)和热屏(2)固定连接，所述密封板(6)的底部设有连接板(7)，所述连接板(7)的底部设有密封垫(8)，所述密封垫(8)和连接板(7)通过粘合固定，所述炉壳(1)的内部设有坩埚(9)，所述炉壳(1)的底部设有排热孔(10)，所述排热孔(10)设有两个。
2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，其特征在于：所述炉壳(1)的底部设有排热管(11)，所述排热管(11)和排热孔(10)相互联通，所述炉壳(1)的底部设有真空泵(12)，所述真空泵(12)和炉壳(1)通过螺丝固定。
3.根据权利要求1所述的一
4.根据权利要求3所述的一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，其特征在于：所述第一齿轮(14)的一侧设有第二齿轮(15)，所述第二齿轮(15)和第一齿轮(14)啮合连接，所述第二齿轮(15)的一侧设有电机(16)。
5.根据权利要求4所述的一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，其特征在于：所述炉壳(1)的底部设有安装架(17)，所述电机(16)和安装架(17)通过螺丝固定。
6.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，其特征在于：所述热屏(2)的底部设有固定板(18)，所述固定板(18)和密封板(6)固定连接。
7.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，其特征在于：所述炉壳(1)的内部设有保温层(19)，所述保温层(19)和炉壳(1)固定连接。
8.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，其特征在于：所述炉壳(1)的底部设有支撑腿(20)，所述支撑腿(20)设有四个，所述支撑腿(20)和炉壳(1)固定连接。
9.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，其特征在于：所述炉壳(1)的一侧设有检修门(21)，所述检修门(21)和炉壳(1)通过合页转动连接。
10.一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，其特征在于，包括以下步骤：停炉后取出晶棒，挂上带有螺旋凹槽的冷却工装本体(5)，将冷却工装本体(5)降至热屏(2)下沿，设定晶体旋转，转速为15rpm/min转/分钟，使冷却工装本体(5)开始旋转，由于晶转为逆时针旋转，所以氩气管接口(3)进入的氩气会沿着冷却工装本体(5)的螺纹凹槽向下流动，在相同的氩气流量下，通过旋转冷却工装本体(5)加快氩气的流动速度，使热场内部热量被带走更多，达到热场快速冷却的目的。
...【技术特征摘要】
1.一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，包括炉壳(1)和热屏(2)，其特征在于：所述炉壳(1)的内部设有热屏(2)，所述热屏(2)和炉壳(1)固定连接，所述炉壳(1)的顶部设有氩气管接口(3)，所述氩气管接口(3)的内部设有钨丝绳(4)，所述钨丝绳(4)和氩气管接口(3)的内部固定连接，所述钨丝绳(4)的一端设有冷却工装本体(5)，所述冷却工装本体(5)和钨丝绳(4)可拆卸连接，所述热屏(2)的一侧设有密封板(6)，所所述密封板(6)和热屏(2)固定连接，所述密封板(6)的底部设有连接板(7)，所述连接板(7)的底部设有密封垫(8)，所述密封垫(8)和连接板(7)通过粘合固定，所述炉壳(1)的内部设有坩埚(9)，所述炉壳(1)的底部设有排热孔(10)，所述排热孔(10)设有两个。
2.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，其特征在于：所述炉壳(1)的底部设有排热管(11)，所述排热管(11)和排热孔(10)相互联通，所述炉壳(1)的底部设有真空泵(12)，所述真空泵(12)和炉壳(1)通过螺丝固定。
3.根据权利要求1所述的一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，其特征在于：所述坩埚(9)的底部设有螺纹杆(13)，所述螺纹杆(13)和坩埚(9)固定连接，所述螺纹杆(13)的表面套设有第一齿轮(14)，所述第一齿轮(14)和螺纹杆(13)通过螺纹连接，所述第一齿轮(14)和炉壳(1)的底部转动连接。
4.根据权利要求3所述的一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，其特征在于：所述第一齿轮(14)的一侧设有第二齿轮(15)，所述第二齿轮(15)和第一齿...
【专利技术属性】
技术研发人员：贺俊杰，苏波，周小渊，杜瑞平，马占东，周志鹏，
申请(专利权)人：宁夏中晶半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。