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本发明公开了单晶制造设备技术领域的一种新型单晶炉热场快速冷却工装及停炉方法，包括炉壳和热屏，炉壳的内部设有热屏，热屏和炉壳固定连接，炉壳的顶部设有氩气管接口，氩气管接口的内部设有钨丝绳，钨丝绳的一端设有冷却工装本体，冷却工装本体和钨丝绳可拆...
该专利属于宁夏中晶半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏中晶半导体材料有限公司授权不得商用。

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