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本实用新型公开了一种硅单晶生产用尾气处理装置，属于尾气处理技术领域，其技术方案要点包括第一过滤筒和第二过滤筒，所述第一过滤筒和第二过滤筒通过联通管相互连接，所述第一过滤筒的边侧设置有进气管，将进气管连接单晶炉，使得生产过程中的废气经过进气管...
该专利属于宁夏中晶半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过宁夏中晶半导体材料有限公司授权不得商用。

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