【技术实现步骤摘要】
一种单晶炉重力分离给料装置
[0001]本技术涉及单晶炉加料
，具体为一种单晶炉重力分离给料装置。
技术介绍
[0002]半导体产业的快速发展促使单晶炉的生产具有连续性，高效性，且需要节省拉晶生产的成本，在单晶炉第一次投料时，由于硅料呈固态颗粒状，在石英坩埚内成堆积状态，但是在经过高温熔化后，硅料变成液态，体积会比原来的固态的体积大幅缩小，石英坩埚的上部还会有很大的空间，这样会造成拉出的晶棒长度不够长。多次加料可以在硅料融化成液体后，继续增加硅料，使石英坩埚内的硅液尽量盛满，这样可以在充分利用石英坩埚的体积，一次拉出长的硅棒；因为石英坩埚的一次使用寿命是200小时左右，在使用寿命内，可以多次加料，尽可能的拉出多根晶棒。
[0003]现有技术中，硅料直接通过送料机构进入单晶炉炉室的坩埚内，由于硅料的速度移动太快，容易造成硅液飞溅，造成硅料浪费，影响炉内环境。
技术实现思路
[0004]针对上述存在的技术不足，本技术的目的是提供一种单晶炉重力分离给料装置，以解决
技术介绍
中提出的问题。
[0005...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
1.一种单晶炉重力分离给料装置，其特征在于，所述单晶炉重力分离给料装置与送料机构连通，所述单晶炉重力分离给料装置包括箱体，所述箱体的底部可拆卸固定在单晶炉主室的炉盖上，所述送料机构的出料管从箱体顶部伸入箱体内；重力分离仓，用于缓冲送料机构传送来的硅料的下料速度，所述重力分离仓的进料口一位于所述出料管的正下方，且进料口一的内径大于出料管外径；振动给料机，用于将重力分离仓内的硅料按照设定速度传送至单晶炉主室内，所述箱体内从上到下设置有所述重力分离仓和所述振动给料机，所述重力分离仓的底部的出料口位于振动给料机的给料仓中，所述给料仓与单晶炉主室炉盖上的进料口连通。2.如权利要求1所述的一种单晶炉重力分离给料装置，其特征在于，所述重力分离仓的底部呈孔径逐渐缩小的漏斗状，所述重力分离仓通过水平设置的料仓支撑板固定在箱体的侧壁上，所述料仓支撑板与重力分离仓之间圆周设置多个支撑杆，所述支撑杆垂直于料仓支撑板，所述重力分离仓套接在料仓支撑板上。3.如权利要求2所述的一种单晶炉重力分离给料装置，其特征在于，所述振动给料机包括振动电机、转换器、连接支架、给料仓、下料仓和传动轴，所述振动电机位于箱体下部外侧，所述振动电机通过传动轴与转换器连接，所述转换器与连接支架连接，所述连接支架的上端固定连接给料仓，所述振动电机带动传动轴转动，所述转换器用于将传动轴的旋转运动转换成连接支架的直线往复运动。4.如权利要求3所述的一种单晶炉重力分离给料装置，其特征在于，所述转换器内设有曲轴连杆机构，所述曲轴连杆机构包括锥形齿轮一、曲轴、连杆和滑块，所述传动轴的一端伸入转换器内，所述传动轴的端部安装有锥形齿轮二，所述曲轴的端部安装有锥形齿轮一...
【专利技术属性】
技术研发人员：王晓明，宋涛，
申请(专利权)人：徐州晶睿半导体装备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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