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本实用新型公开了一种单晶炉重力分离给料装置,所述单晶炉重力分离给料装置与送料机构连通,所述单晶炉重力分离给料装置包括箱体,所述箱体的底部可拆卸固定在单晶炉主室的炉盖上,所述送料机构的出料管从箱体顶部伸入箱体内;重力分离仓,用于缓冲送料机构传...该专利属于徐州晶睿半导体装备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过徐州晶睿半导体装备科技有限公司授权不得商用。
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本实用新型公开了一种单晶炉重力分离给料装置,所述单晶炉重力分离给料装置与送料机构连通,所述单晶炉重力分离给料装置包括箱体,所述箱体的底部可拆卸固定在单晶炉主室的炉盖上,所述送料机构的出料管从箱体顶部伸入箱体内;重力分离仓,用于缓冲送料机构传...