用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构制造技术

本发明专利技术一种用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构，包括支管路，支管路的两端分别连接有泵和喷头，支管路上沿水流方向依次设有第一支管道三通、支管道两通球阀和第二支管道三通，第一支管道三通与第二支管道三通之间设有与支管路并联的主管路，主管路的两端分别与第一支管道三通与第二支管道三通连接，主管路上沿水流方向依次设有第一主管路两通球阀、透明过滤器、由令、第二主管路两通球阀和流量计。本发明专利技术通过增加支路，可以在设备基本不停机情况下进行透明过滤器清理，有效提高设备的利用率。的利用率。的利用率。

【技术实现步骤摘要】
用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构


[0001]本专利技术涉及半导体制造
，具体涉及一种用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构。

技术介绍

[0002]外延水洗尾气处理频率高约四天一次，每次处理需要主机台降温，停机约3H，对产能影响很大。

技术实现思路

[0003]本专利技术的目的是提供一种用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构。
[0004]本专利技术通过如下技术方案实现上述目的：一种用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构，包括支管路，支管路的两端分别连接有泵和喷头，支管路上沿水流方向依次设有第一支管道三通、支管道两通球阀和第二支管道三通，第一支管道三通与第二支管道三通之间设有与支管路并联的主管路，主管路的两端分别与第一支管道三通与第二支管道三通连接，主管路上沿水流方向依次设有第一主管路两通球阀、透明过滤器、由令、第二主管路两通球阀和流量计。
[0005]优选的，泵还连接有循环水进水管路。
[0006]优选的，第一支管道三通与第二支管道三通型号相同。
[0007]优选的，支管道两通球阀、第一主管路两通球阀和第二主管路两通球阀型号相同。
[0008]优选的，透明过滤器具有可拆卸滤芯。
[0009]与现有技术相比，本专利技术一种用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构的有益效果是：本专利技术通过增加支路，可以在设备基本不停机情况下进行透明过滤器清理，有效提高设备的利用率。
附图说明
[0010]构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本专利技术的进一步理解，本专利技术的示意性实施例及其说明用于解释本专利技术，并不构成对本专利技术的不当限定。
[0011]在附图中：
[0012]图1为本专利技术的结构示意图。
具体实施方式
[0013]下面将结合本专利技术实施例中的附图，对本专利技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅是本专利技术一部分实施例，而不是全部的实施例。以下对至少一个示例性实施例的描述实际上仅仅是说明性的，决不作为对本专利技术及其应用或使用的任何限制。
[0014]为了保持本专利技术实施例的以下说明清楚且简明，本专利技术省略了已知功能和已知部
件的详细说明。
[0015]请参阅图1，一种用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构，包括支管路11，支管路11的两端分别连接有泵10和喷头12，支管路11上沿水流方向依次设有第一支管道三通1、支管道两通球阀8和第二支管道三通7。
[0016]第一支管道三通1与第二支管道三通7之间设有与支管路11并联的主管路9，主管路9的两端分别与第一支管道三通1与第二支管道三通7连接，主管路9上沿水流方向依次设有第一主管路两通球阀2、透明过滤器3、由令4、第二主管路两通球阀5和流量计6。
[0017]泵10还连接有循环水进水管路13。
[0018]第一支管道三通1与第二支管道三通7型号相同。
[0019]支管道两通球阀8、第一主管路两通球阀2和第二主管路两通球阀5型号相同。
[0020]透明过滤器3具有可拆卸滤芯。
[0021]本专利技术的工作原理：
[0022]1)正常使用过程中，支管道两通球阀8关闭，第一主管路两通球阀2、第二主管路两通球阀5打开，循环水通过透明过滤器3的过滤后再流至喷头。
[0023]2)清洁透明过滤器3时，需要在操作界面切换至维护模式，需要屏蔽流量计6的信号反馈，先打开支管道两通球阀8，再关闭第一主管路两通球阀2、第二主管路两通球阀5。拆下透明过滤器3的滤芯进行保养。完成后先打开第一主管路两通球阀2、第二主管路两通球阀5，支管道两通球阀8，操作界面切换回正常工作模式。
[0024]本专利技术主机台不需要降温，只需要在保养时候暂停15min即可，每次处理能节约2.75H。按照每月7次处理，每个模块每月可以节约19.25H，每台设备可以节约38.5H，大幅度减少设备停机时间，提高设备在线时长。
[0025]本专利技术通过增加支路，可以在设备基本不停机情况下进行滤芯清理，有效提高设备的利用率。
[0026]上述实施例可以相互结合。
[0027]需要说明的是，本申请的说明书和权利要求书及上述附图中的术语“第一”、“第二”等是用于区别类似的对象，而不必用于描述特定的顺序或先后次序。应该理解这样使用的数据在适当情况下可以互换，以便这里描述的本申请的实施方式能够以除了在这里图示或描述的那些以外的顺序实施。
[0028]在本专利技术的描述中，需要理解的是，方位词如“前、后、上、下、左、右”、“横向、竖向、垂直、水平”和“顶、底”等所指示的方位或位置关系通常是基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，在未作相反说明的情况下，这些方位词并不指示和暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位或者以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术保护范围的限制；方位词“内、外”是指相对于各部件本身的轮廓的内外。
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【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.用于减少外延水洗尾气处理宕机维护时间的结构，其特征在于：包括支管路，支管路的两端分别连接有泵和喷头，支管路上沿水流方向依次设有第一支管道三通、支管道两通球阀和第二支管道三通，第一支管道三通与第二支管道三通之间设有与支管路并联的主管路，主管路的两端分别与第一支管道三通与第二支管道三通连接，主管路上沿水流方向依次设有第一主管路两通球阀、透明过滤器、由令、第二主管路两通球阀和流量计。2.根据权利要求1所述的一种用于减少外延水洗尾气处理宕机维护...

【专利技术属性】
技术研发人员：卢鹏斐，陆波，杨振域，王超，郑岳亮，
申请(专利权)人：中环领先半导体材料有限公司，
类型：发明
国别省市：