一种微波等离子体射流装置、方法及应用制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种微波等离子体射流装置、方法及应用，包括矩形波导和圆波导，数个所述矩形波导与一个圆波导之间连通设置，所述微波发射装置设置在矩形波导的端口处；所述圆波导内设置有圆脊和石英管，所述石英管为空心通管，所述圆脊和石英管沿圆波导的长度方向布置，所述石英管的一端与通气装置连接，所述石英管的另一端穿出圆波导，所述通气装置用于向石英管内通入可击穿气体；所述圆脊用于压缩圆波导内的电场。目的在于压缩高电场强度，集中微波能量，击穿气体放电形成等离子体射流。击穿气体放电形成等离子体射流。击穿气体放电形成等离子体射流。

【技术实现步骤摘要】
一种微波等离子体射流装置、方法及应用


[0001]本专利技术属于微波
，具体涉及一种微波等离子体射流装置、方法及应用。

技术介绍

[0002]近年来，微波等离子体广泛应用于有机污染物降解、危险固废和废水废气处理等领域。随着微波器件的可靠性及磁控管的能量转换效率的提高，工业上使用微波来激励和获得具有高密度激发态和活性粒子的等离子体，相比于其他传统的等离子体，微波等离子体有较高的电离和分解程度，能在高气压下维持等离子体，且无需电极，微波等离子体设备具有更长的使用寿命。
[0003]针对如何高效激发微波等离子体炬，张贵新等人通过优化喷嘴的方式使电磁场能量在喷嘴处集中来击穿电场，从而在常压下激发微波等离子炬，他们用仿真软件测试了不同的喷嘴直径、不同的喷嘴角度、不同的喷嘴气孔大小以及不同的喷嘴长度(相对于波导壁的距离)等因素对喷嘴处电场强度的影响。陈颖设计了一种新型大气压微波等离子体炬，通过仿真结果分析了探针长度、探针直径、耦合波导宽度以及高度等对中心电场分布及强度的影响。徐茂春设计的双气流稳定大气压微波等离子体炬，通过实验发现，波到截止面本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种微波等离子体射流装置，其特征在于：包括矩形波导(1)和圆波导(2)，数个所述矩形波导(1)与一个圆波导(2)之间连通设置，所述微波发射装置设置在矩形波导(1)的端口处；所述圆波导(2)内设置有圆脊(3)和石英管(4)，所述石英管(4)为空心通管，所述圆脊(3)和石英管(4)沿圆波导(2)的长度方向布置，所述石英管(4)的一端与通气装置连接，所述石英管(4)的另一端穿出圆波导(2)，所述通气装置用于向石英管(4)内通入可击穿气体；所述圆脊(3)用于压缩圆波导(2)内的电场。2.根据权利要求1所述的微波等离子体射流装置，其特征在于：所述通气装置为旋流通气装置，所述旋流通气装置用于产生进入到石英管(4)内部的旋流气体。3.根据权利要求2所述的微波等离子体射流装置，其特征在于：从所述旋流通气装置的出气口产生的旋流气体贴合石英管(4)的内壁旋流行至石英管(4)的另一端。4.根据权利要求1所述的微波等离子体射流装置，其特征在于：所述圆脊(3)的截面为梯形，所述圆脊(3)上较长的底面与圆波导(2)的内壁连接；所述圆脊(3)沿圆波导(2)的轴向对称设置为两个，所述石英管(4)设置在两个所述圆脊(3)之间。5.根据权利要求1所述的微波等离子体射流装置，其特征在于：所述矩形波导(1)为BJ26矩形波导，所述圆波导(2)为BY25圆波导；所述矩形波导(1)设置为两个，两个所述矩形波导(1)分别位于圆波导(2)的两端或者两侧；所述可击穿气体为空气或氩气。6.根据权利要求1所述的微波等离子体射流装置，其特征在于：所述石英管(4)外部套设有冷...

【专利技术属性】
技术研发人员：王邱林，吉皓，
申请(专利权)人：成都奋羽电子科技有限公司，
类型：发明
国别省市：