【技术实现步骤摘要】
本技术涉及微波，具体涉及一种无电极射流等离子体激发装置。
技术介绍
1、射流等离子体是一种高温、高能量的等离子体，它是由高速射流所产生的等离子体。这种等离子体通常由离子、电子和中性粒子组成，能量密度高。射流等离子体的应用非常广泛，包括材料加工、核聚变、医疗、环境保护等领域。其中，射流等离子体在材料加工方面的应用最为广泛，如喷涂、表面处理和清洗等。
2、现有技术中，射流等离子体的形成有多种方法，其中最常见的是电弧放电产生的射流等离子体，射流等离子体发生装置通常为同轴线结构，一般包含辅助电极，该辅助电极为金属柱或金属针。例如，文献号为cn 116321657 a的中国专利公开了一种弥散状等离子体射流生成装置及方法，该装置包括射流管和射流腔室，射流管的出口位于射流腔室内，射流腔室具有排气结构，射流管的出口喷出的气体在射流腔室封闭放电环境中形成向射流管的出口处流动的回环气流，此种特殊的流场分布改变了射流管出口附近的氦气浓度分布，解决了传统等离子体射流收缩的问题。但是，该方案中电极的位置、形状等参数极大的影响发生装置的效率和效果，同时...
【技术保护点】
1.一种无电极射流等离子体激发装置，其特征在于：包括外壳（1），所述外壳（1）内设有谐振腔；所述外壳（1）上端固定安装有石英管（2），所述石英管（2）下端伸入到谐振腔中，并与外壳（1）底部相接触；所述石英管（2）上端伸出外壳（1）之外；所述石英管（2）外套设有环状谐振组件（3），所述环状谐振组件（3）与石英管（2）同轴设置；所述外壳（1）侧壁上设有微波输入组件，所述微波输入组件用于将微波传输至谐振腔中；所述外壳（1）底部连接有进气管（4），所述进气管（4）用于向石英管（2）内输送反应气体；所述外壳（1）包括两端开口的圆筒状的壳体（11），所述壳体（11）的上下两端分别...
【技术特征摘要】
1.一种无电极射流等离子体激发装置，其特征在于：包括外壳（1），所述外壳（1）内设有谐振腔；所述外壳（1）上端固定安装有石英管（2），所述石英管（2）下端伸入到谐振腔中，并与外壳（1）底部相接触；所述石英管（2）上端伸出外壳（1）之外；所述石英管（2）外套设有环状谐振组件（3），所述环状谐振组件（3）与石英管（2）同轴设置；所述外壳（1）侧壁上设有微波输入组件，所述微波输入组件用于将微波传输至谐振腔中；所述外壳（1）底部连接有进气管（4），所述进气管（4）用于向石英管（2）内输送反应气体；所述外壳（1）包括两端开口的圆筒状的壳体（11），所述壳体（11）的上下两端分别设有与壳体（11）密封配合的上端盖（12）和下端盖（13）；所述上端盖（12）的中部设有第一通孔，所述石英管（2）下端穿过第一通孔伸入到谐振腔中，并与所述下端盖（13）接触；所述下端盖（13）的中部设有第二通孔，所述进气管（4）伸入第二通孔中和石英管（2）连通。
2.根据权利要求1所述的一种无电极射流等离子体激发装置，其特征在于：所述壳体（11）侧壁上还配合有调谐销钉（6）；所述微波输入组件包括射频接头（5）；所述射频接头（5）和调谐销钉（6）关于所述石英管（2）的中心轴线呈对称设置。
3.根据权利要求1所述的一种无电极射流等离子体激发装置，其特征在于：所述石英管（2）上端外表面固定嵌套有圆盘（21），所述上端盖（12）的上表面设有容纳所述圆盘（21）的环状凹槽，所述环状凹槽上密封配合有封盖（121）；所述石英管（2）的上端部伸出所述封盖（1...
【专利技术属性】
技术研发人员：王邱林，毛荣涛，左天，
申请(专利权)人：成都奋羽电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：
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