一种全自动蓝宝石晶圆量测系统技术方案

本发明专利技术提供了一种全自动蓝宝石晶圆量测系统，包括无尘密封室，设于所述无尘密封室内部一端的机械手，设于所述无尘密封室内部另一端的搬运架，以及设于所述无尘密封室内部一侧的测量机构；所述测量机构包括安装于所述密封室内部的机架，安装于所述机架上表面的支撑架，安装于所述支撑架内部顶端的测量头，以及设于所述支撑架底端的固定组件；所述固定组件包括安装于所述机架上表面的、且用于盛放晶圆载盘的槽板，以及一端嵌入于所述槽板内部的转动盘，所述转动盘的壳体上穿设有负压吸盘和环形正压限位夹具。本发明专利技术能够对晶圆载盘进行稳定的夹持固定，以便于晶圆载盘承载晶圆进行后续的测量。续的测量。续的测量。

【技术实现步骤摘要】
一种全自动蓝宝石晶圆量测系统


[0001]本专利技术主要涉及的
，具体涉及一种全自动蓝宝石晶圆量测系统。

技术介绍

[0002]蓝宝石是指非红色的氧化铝，蓝宝石晶圆具有综合优良的机械、光学、化学、电学以及抗辐射性能，是现代工业，尤其是微电子、光电子产业极为重要的基础材料。
[0003]根据申请号为CN202121506498.0的专利文献所提供的一种晶圆形貌量测设备可知，该晶圆形貌量测设备包括量测机架、位于量测机架上的量测平台、位于量测平台上的X轴模组、能够沿X轴模组长度方向进行运动的Y轴模组、能够沿Y轴模组长度方向进行运动的驱动气缸以及位于驱动气缸活塞杆端的量测传感器；量测平台数量为两个，量测平台通过减震支撑块与量测机架连接，量测平台上设置有载具，晶圆位于载具上；X轴模组位于一量测平台上，另一量测平台上设置有驱动模组。该技术在量测机架、量测平台、X轴模组、Y轴模组、驱动气缸以及量测传感器的配合作用下，实现了对晶圆表面平坦度的快速量测，量测精度高，误差较低
[0004]上述晶圆形貌量测设备实现了对晶圆表面平坦度的快速量测，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种全自动蓝宝石晶圆量测系统，其特征在于,包括无尘密封室(10)，设于所述无尘密封室(10)内部一端的机械手(20)，设于所述无尘密封室(10)内部另一端的搬运架(30)，以及设于所述无尘密封室(10)内部一侧的测量机构(40)；所述测量机构(40)包括安装于所述密封室(10)内部的机架(41)，安装于所述机架(41)上表面的支撑架(42)，安装于所述支撑架(42)内部顶端的测量头(43)，以及设于所述支撑架(42)底端的固定组件(44)；所述固定组件(44)包括安装于所述机架(41)上表面的、且用于盛放晶圆载盘的槽板(441)，以及一端嵌入于所述槽板(441)内部、另一端通过旋转轴与所述机架(41)转动连接的转动盘(442)，所述转动盘(442)的壳体上穿设有负压吸盘(443)和环形正压限位夹具(444)，所述负压吸盘(443)设于所述转动盘(442)的圆心处，所述环形正压限位夹具(444)环绕所述负压吸盘(443)设置。2.根据权利要求1所述的一种全自动蓝宝石晶圆量测系统，其特征在于，所述固定组件(44)还包括设于所述机架(41)内部的输气部件(445)，所述输气部件(445)包括设于所述旋转轴内部底端的旋转接头(4451)，以及安装于所述机架(41)内部的隔板(4455)，所述隔板(4455)通过法兰与所述旋转接头(4451)的底端相连接。3.根据权利要求2所述的一种全自动蓝宝石晶圆量测系统，其特征在于，所述旋转接头(4451)的上表面安装有负压吸管(4452)、破真空管(4453)以及供气管(4454)，所述负压吸管(4452)远离所述旋转接头(4451)的一端与所述负压吸盘(443)的底端相连接，所述破真空管(4453)远离所述旋转接头(4451)的一端与所述负压吸管(4452)的底端相连接，所述供气管(4454)远离所述旋转接头(4451)的一端与所述环形正压限位夹具(444)的入气端相连接。4.根据权利要求3所述的一种全自动蓝宝石晶圆量测系统，其特征在于，所述环形正压限位夹具(444)包括设于所述转动盘(442)内部底端、且与所述供气管(4454)相连接的环形储气盘(4441)，以及安装于所述环形储气盘...

【专利技术属性】
技术研发人员：孙涛涛，吴拓，
申请(专利权)人：芜湖益盈鼎裕自动化设备有限公司，
类型：发明
国别省市：