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本发明提供了一种全自动蓝宝石晶圆量测系统，包括无尘密封室，设于所述无尘密封室内部一端的机械手，设于所述无尘密封室内部另一端的搬运架，以及设于所述无尘密封室内部一侧的测量机构；所述测量机构包括安装于所述密封室内部的机架，安装于所述机架上表面的...
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