电离真空变送器检测装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种电离真空变送器检测装置，包括依次连接的氮气源、稳压室、校准室、被测电离真空变送器；所述稳压室还分别与第一机械泵、电容薄膜真空计连接；所述校准室还与监测电离真空计连接；所述校准室、磁悬浮分子泵、电阻真空计、分子泵、第二机械泵依次连接；所述被测电离真空变送器还分别与电源、电压表连接。本发明专利技术无需使用真空仪表，直接获取电离真空变送器在对应环境参数下的电压值，简化了电离真空变送器的校准工作；通过电离真空变送器的输出电压与对应的真空度之间的关系，对不确定度进行了评定，确保了校验的准确性和有效性。确保了校验的准确性和有效性。确保了校验的准确性和有效性。

【技术实现步骤摘要】
电离真空变送器检测装置及方法


[0001]本专利技术涉及一种电离真空变送器检测装置及方法，属于电离真空变送器校准


技术介绍

[0002]真空变送器是指将压力变量转换为可传送的标准化输出信号的仪表。电离真空变送器原理基于待测气体的压力与气体电离产生的电流呈正比关系，输出信号一般为电压信号，主要应用于高真空和超高真空测量。变送器可通过与显示器连接来显示真空压力，也可通过输出电压信号至PLC系统实现自动化控制，克服了传统的真空规管必须和显示器连接才能读取真空压力的缺陷，有效地降低了安装，设置和集成的复杂性。广泛用于半导体、电子元件、真空炉、冷冻干燥、真空冶炼、真空镀膜等各种制造设备的高真空系统的压力测量和控制。
[0003]目前电离真空变送器都是和真空仪表配套进行校准，单独的电离真空变送器还无法进行量值溯源，而很多真空系统的仪表都是无法拆卸的，导致电离真空变送器的校准工作很不方便。

技术实现思路

[0004]本专利技术的目的是提供一种电离真空变送器检测装置及方法，无需使用真空仪表，直接获取电离真空变送器在对应环境参数本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
1.一种电离真空变送器检测装置，其特征在于：包括依次连接的氮气源(1)、稳压室(3)、校准室(8)、被测电离真空变送器(20)；所述稳压室(1)还分别与第一机械泵(5)、电容薄膜真空计(6)连接；所述校准室(8)还与监测电离真空计(10)连接；所述校准室(8)、磁悬浮分子泵(11)、电阻真空计(13)、分子泵(14)、第二机械泵(17)依次连接；所述被测电离真空变送器(20)还分别与电源(21)、电压表连接。2.如权利要求1所述的电离真空变送器检测装置，其特征在于：所述电压表为数字多用表(22)。3.如权利要求2所述的电离真空变送器检测装置，其特征在于：所述第一机械泵(5)与稳压室(3)之间设有第一手动阀门(4)；所述磁悬浮分子泵(11)与分子泵(14)之间设有第二手动阀门(12)；所述分子泵(14)与第二机械泵(17)之间设有第三手动阀门(16)；所述校准室(8)与被测电离真空变送器(20)之间设有第四手动阀门(19)。4.如权利要求3所述的电离真空变送器检测装置，其特征在于：所述氮气源(1)与稳压室(3)之间设有第一针阀(2)；所述稳压室(3)与校准室(8)之间设有第二针阀(7)。5.一种电离真空变送器检测方法，其特征在于：采用权利要求4所述电离真空变送器检测装置，包括以下步骤：第一步：通过控制第一机械泵、第二机械泵、分子泵、磁悬浮分子泵，让校准室内压力小于1
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‑6Pa，即小于被测量程下限的1％；第二步：通过稳压室向校准室提供设定压力的真空度；第三步：测量电离真空变送器在对应真空度下的输出电压；第四步：对输出电压测值的不确定度进行分析。6.如权利要求5所述的电离真空变送器检测方法，其特征在于：所述第一步包括：S1、打开被校变送器(20)与校准室间(8)的第四手动阀门(19)，启动第二机械泵(17)和第三手动阀门(16)、第二手动阀门(12)，对校准室(8)进行粗抽；S2、抽到电阻真空计(13)示值小于等于10Pa时，启动分子泵(14)，待分子泵(14)满转时，启动磁悬浮分子泵(11)；所述第二步包括：S3、启动第一机械泵(5)，打开第一手动阀门(4)，排空稳压室(3)内的气体；待电容薄膜真空计(6)示值小于10Pa时，关闭第一手动阀门(4)，打开氮气源(1)，调节第一针阀(2)，使稳压室(3)压力稳定在2000Pa；所述第三步包括：S4、待监控电离真空计(10)示值小于等于1
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‑6Pa时，调节第二针阀(7)，使校准室压力由低到高逐个建立所需要的校准点，分别记录磁悬浮转子真空计(18)示值和数字多用表(22)示值；10
‑4Pa～10
‑1P...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘贝贝，张忠立，刘燚，周宇仁，金愿，
申请(专利权)人：上海市计量测试技术研究院，
类型：发明
国别省市：