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本发明涉及一种电离真空变送器检测装置，包括依次连接的氮气源、稳压室、校准室、被测电离真空变送器；所述稳压室还分别与第一机械泵、电容薄膜真空计连接；所述校准室还与监测电离真空计连接；所述校准室、磁悬浮分子泵、电阻真空计、分子泵、第二机械泵依次...
该专利属于上海市计量测试技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过上海市计量测试技术研究院授权不得商用。

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